Silicon Carbide (SiC) Ceramic Wafer Boat ဆိုတာ ဘာလဲ။

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ အပူချိန်မြင့်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် wafers များကို ကိုင်တွယ်ခြင်း၊ ပံ့ပိုးပေးခြင်းနှင့် အပူပေးခြင်းတို့သည် အထူးပံ့ပိုးပေးသည့် အစိတ်အပိုင်းဖြစ်သည့် wafer boat ပေါ်တွင် အားကိုးပါသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်အပူချိန်မြင့်တက်လာပြီး သန့်ရှင်းမှုနှင့် အမှုန်အမွှားထိန်းချုပ်မှုလိုအပ်ချက်များ တိုးလာသည်နှင့်အမျှ သမားရိုးကျ quartz wafer လှေများသည် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းတိုတောင်းခြင်း၊ ပုံပျက်နှုန်းမြင့်မားခြင်းနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်အားနည်းခြင်းစသည့် ပြဿနာများကို တဖြည်းဖြည်း ထုတ်ဖော်ပြသပါသည်။ဆီလီကွန်ကာဘိုင် (SiC) ကြွေထည်ဝါဖာလှေများဤအခြေအနေတွင် ပေါ်ထွက်လာပြီး တန်ဖိုးကြီး အပူပိုင်း စီမံဆောင်ရွက်ပေးသည့် ပစ္စည်းများတွင် အဓိက သယ်ဆောင်သူ ဖြစ်လာသည်။

Silicon carbide (SiC) သည် မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ အပူစီးကူးမှုနှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုတည်ငြိမ်မှုတို့ကို ပေါင်းစပ်ထားသည့် အင်ဂျင်နီယာ ကြွေထည်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ SiC ကြွေထည်များသည် အပူချိန်မြင့်မားစွာ ကြိတ်ချေခြင်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသော သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိရုံသာမက oxidizing နှင့် သံချေးတက်သော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် တည်ငြိမ်ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် အရွယ်အစားကိုလည်း ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ရလဒ်အနေဖြင့် wafer သင်္ဘောပုံစံအဖြစ် ဖန်တီးသောအခါ၊ ၎င်းသည် အပူချိန် 1100°C အထက်တွင် လည်ပတ်နေသော အပူချိန် 1100°C အထက်တွင် လည်ပတ်နေသော အပူချိန်မြင့်မားသော လုပ်ငန်းစဉ်များဖြစ်သည့် ပျံ့နှံ့မှု၊ ပျော့ပျောင်းမှုနှင့် ဓာတ်တိုးခြင်းကဲ့သို့သော မြင့်မားသော အပူချိန်လုပ်ငန်းစဉ်များကို စိတ်ချယုံကြည်စွာ ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။

wafer လှေများ၏ ဖွဲ့စည်းပုံကို အများအားဖြင့် အလွှာပေါင်းစုံ၊ အပြိုင်ဇယားကွက်ဖွဲ့စည်းမှုဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး wafers အများအပြား သို့မဟုတ် ရာပေါင်းများစွာကို တပြိုင်နက်တည်း ကိုင်ဆောင်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ SiC ကြွေထည်များ ၏ အားသာချက်များသည် အပူချိန်မြင့်သော အရှိန်မြှင့်ခြင်းနှင့် ချဉ်းကပ်လမ်းဆင်းခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ၎င်းတို့အား အပူပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် microcracking ဖြစ်နိုင်ခြေနည်းစေသည်။ ထို့အပြင်၊ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် သတ္တုညစ်ညမ်းမှုကို တင်းကြပ်စွာထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို သိသိသာသာလျှော့ချနိုင်သည်။ ၎င်းသည် ပါဝါစက်ပစ္စည်းများ၊ SiC MOSFETs၊ MEMS နှင့် အခြားထုတ်ကုန်များထုတ်လုပ်ခြင်းကဲ့သို့သော သန့်ရှင်းမှုအတွက် အလွန်အထိခိုက်မခံသော လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ၎င်းတို့ကို အလွန်သင့်လျော်စေသည်။

ရိုးရာ quartz wafer လှေများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ဝါဖာလှေများသည် ပုံမှန်အားဖြင့် အပူချိန်မြင့်မားပြီး မကြာခဏ အပူရှိန် စက်ဘီးစီးလေ့ရှိသော အခြေအနေအောက်တွင် ၃-၅ ဆ ပိုရှည်ပါသည်။ ၎င်းတို့၏ မြင့်မားသော တောင့်တင်းမှုနှင့် ပုံပျက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းသည် အထွက်နှုန်းကို တိုးတက်စေရန် ကူညီပေးသည့် တည်ငြိမ်သော wafer ချိန်ညှိမှုကို ပိုမိုရရှိစေသည်။ ပို၍အရေးကြီးသည်မှာ၊ SiC ပစ္စည်းများသည် မကြာခဏ အပူနှင့် အအေးစက်ဝန်းအတွင်း သေးငယ်သော အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုများကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး wafer အနားသတ်များ ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် အမှုန်အမွှားများကြွေကျခြင်းကို လျှော့ချပေးပါသည်။

ထုတ်လုပ်မှုအပိုင်းတွင်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဆပ်ပြာလှေများကို တုံ့ပြန်မှု sintering (RBSiC)၊ သိပ်သည်းသော sintering (SSiC) သို့မဟုတ် ဖိအား-ကူညီပေးသော sintering ဖြင့် ထုတ်လုပ်ပါသည်။ အချို့သောအဆင့်မြင့်ထုတ်ကုန်များသည် wafer အဆင့်တိကျမှုလိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီရန် တိကျသော CNC စက်နှင့် မျက်နှာပြင်ပွတ်ခြင်းကို အသုံးပြုပါသည်။ ဖော်မြူလာထိန်းချုပ်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှုစီမံခန့်ခွဲမှုနှင့် မတူညီသောထုတ်လုပ်သူများကြားရှိ သန့်စင်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် နည်းပညာဆိုင်ရာ ကွဲပြားမှုများသည် wafer လှေများ၏ နောက်ဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။

စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးများတွင်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်ဝါဖာလှေများသည် ရိုးရာဆီလီကွန်ပစ္စည်းများမှ တတိယမျိုးဆက် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများအထိ အပူပိုင်းလုပ်ဆောင်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အဆင့်မြင့်စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူများအတွက် ဦးစားပေးရွေးချယ်မှုဖြစ်လာပါသည်။ ၎င်းတို့သည် ဒေါင်လိုက်ပြွန်မီးဖိုများနှင့် အလျားလိုက် ဓာတ်တိုးမီးဖိုများကဲ့သို့သော အမျိုးမျိုးသောအပူလုပ်ဆောင်ခြင်းကိရိယာများအတွက်သာ သင့်လျော်သည်သာမက၊ အပူချိန်မြင့်သော၊ အလွန်အဆိပ်ပြင်းသော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ၎င်းတို့၏ တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုလည်း လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် ကိုက်ညီမှုနှင့် စက်ပစ္စည်းစွမ်းရည်အတွက် ခိုင်မာသောအာမခံချက်ပေးပါသည်။

ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ဝါဖာလှေများ တဖြည်းဖြည်း လူကြိုက်များလာခြင်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းကိရိယာများ၏ အဓိကပံ့ပိုးမှုအစိတ်အပိုင်းများကို ထိုးဖောက်ဝင်ရောက်လာသော အဆင့်မြင့်ကြွေထည်ပစ္စည်းများ၏ အရှိန်အဟုန်ကို အမှတ်အသားပြုပါသည်။ သမားရိုးကျ quartz ပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက၊ မြင့်မားသော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှု၊ ဖွဲ့စည်းပုံ တောင့်တင်းမှုနှင့် အပူပင်ပန်းနွမ်းနယ်မှုတို့တွင် ၎င်းတို့၏ အားသာချက်များသည် ပိုမိုမြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ပိုမိုတင်းကြပ်သော လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်များအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပစ္စည်းအခြေခံကို ပေးစွမ်းသည်။ လက်ရှိတွင်၊ 6 လက်မနှင့် 8 လက်မအရွယ် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ဝါဖာလှေများကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းရှိ ပါဝါစက်ပစ္စည်းများ၏ အစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှုအပူကုသမှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုလျက်ရှိသည်။ 12 လက်မ သတ်မှတ်ချက်ကို အဆင့်မြင့် လုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် အဆင့်မြင့် ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများတွင် တဖြည်းဖြည်း မိတ်ဆက်လာကာ စက်ပစ္စည်းနှင့် ပစ္စည်းပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှု၏ နောက်အဆင့်အတွက် အရေးကြီးသော ဦးတည်ချက်တစ်ခု ဖြစ်လာပါသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ 2-4 လက်မ wafer လှေများသည် သုတေသနပလက်ဖောင်းများနှင့် LED အလွှာလုပ်ဆောင်ခြင်း နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အတည်ပြုခြင်းကဲ့သို့သော တိကျသောလုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများတွင် ဆက်လက်ပါဝင်နေပါသည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်ဝါဖာလှေများသည် တည်ငြိမ်မှု၊ အရွယ်အစား ထိန်းချုပ်မှုနှင့် ဆပ်ပြာစွမ်းရည်တို့တွင် ပိုမိုကောင်းမွန်သော အားသာချက်များကို သရုပ်ပြမည်ဖြစ်ပြီး ဆက်စပ်ကြွေထည်ပစ္စည်းများ နည်းပညာ၏ စဉ်ဆက်မပြတ် ပြောင်းလဲတိုးတက်မှုကို မောင်းနှင်ပေးမည်ဖြစ်သည်။