ရွေးချယ်ရေးလမ်းညွှန်

Coated အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်သက်တာလုံးအတွက် အပြည့်အဝ ဖယ်ရှားပစ်ရန် မလိုအပ်ပါ။ ဤဆောင်းပါးတွင် CVD SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများသည် သန့်ရှင်းရေးနှင့် အသစ်ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ရန် သင့်လျော်သည့်အခါ၊ ၎င်းတို့ကို လက်ခံရန် နှင့် အစားထိုး cadence ကို အပြည့်အဝ-lifecycle mindset ဖြင့် စီမံခန့်ခွဲနည်း—အထွက်နှုန်းနှင့် ကုန်ကျစရိတ်ကို ပိုမိုယုံကြည်စိတ်ချစွာ ချိန်ခွင်လျှာညီအောင် ကူညီပေးသော အထွက်နှုန်းနှင့် ကုန်ကျစရိတ်ကို ပိုမိုယုံကြည်စိတ်ချစွာ ကူညီပေးပါသည်။ လိုင်းပေါ်ရှိ susceptors များ၏ တကယ့်ကုန်ကျစရိတ်၊ preheat rings နှင့် အလားတူသော အစိတ်အပိုင်းများသည် ဝယ်ယူသည့် windows စျေးနှုန်းသာမက အမှုန်အမွှားများကိုပါ လဲလှယ်နိုင်စေပါသည်။

ပစ္စည်းကို ရွေးချယ်ပြီးနောက်၊ ကိရိယာပေါ်ရှိ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ဆုံးဖြတ်လေ့ရှိသည့်အရာမှာ အထူတူညီမှု၊ အမှုန်အဆင့်နှင့် သန့်စင်မှုကဲ့သို့သော ပမာဏတိုင်းတာနိုင်သော မက်ထရစ်များဖြစ်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် လက်ခံမှုနှင့်အသုံးပြုမှုတွင် CVD SiC coating ၏အဓိကအရည်အသွေးအတိုင်းအတာများကိုစုစည်းပြီး "သတ်မှတ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီမှုများ" မှ "အစီရင်ခံစာကိုစစ်ဆေးနိုင်ပြီး အန္တရာယ်ကိုကြိုတင်ခန့်မှန်းနိုင်သည်။

ဤဆောင်းပါးသည် CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်း၊ TaC အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် Solid SiC ၏ အက်ပလီကေးရှင်းနယ်နိမိတ်များနှင့် အပူချိန်၊ လေထုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အမျိုးအစားအလိုက်၊ epitaxy နှင့် etching engineers များအား ရွေးချယ်စဉ်အတွင်း လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်များကို အမြန်ချိန်ညှိရန် ကူညီပေးပြီး အမှုန်အမွှားများနှင့် တစ်သက်တာအန္တရာယ်များကို ရှောင်ရှားကာ ပစ္စည်း-အခြေအနေမညီပါ။

Aixtron G10၊ Veeco၊ ASM susceptors နှင့် preheat rings အတွက် လိုက်ဖက်ညီမှုနှင့် အစားထိုးဖြေရှင်းချက်။ 1:1 ပုံဆွဲခြင်းအခြေခံ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း၊ ပုံမှန်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် အမြန်ပို့ဆောင်ခြင်း၊ စိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် 3-6 ပတ်၊ စစ်ဆေးခြင်းအစီရင်ခံစာများနှင့် နမူနာအကဲဖြတ်ခြင်းများ ပံ့ပိုးပေးပါသည်။