Solid Silicon Carbide

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide သည် plasma etching equipment ၊ solid silicon carbide (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) etching equipment တွင် အစိတ်အပိုင်းများ ပါဝင်သည်။အာရုံစိုက်ကွင်းများဓာတ်ငွေ့ရေချိုးခန်းခေါင်း၊ ဗန်း၊ အစွန်းကွင်းစသည်ဖြင့်၊ အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) ၏ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် လျှပ်ကူးနိုင်မှုနည်းပါးခြင်းကြောင့် ကလိုရင်းနှင့် ဖလိုရင်းပါရှိသော ဖလိုရင်းပါရှိသော etching gases သည် ပလာစမာ သတ္တုတူးဆွယ်သည့်ကိရိယာအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အစိတ်အပိုင်းများ။

ဥပမာအားဖြင့်၊ focus ring သည် wafer အပြင်ဘက်တွင်ရှိသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး wafer နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့မှုတွင်၊ ring မှ ဖြတ်သွားသော plasma ကို အာရုံစိုက်ရန် ဗို့အားကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် wafer ပေါ်ရှိ ပလာစမာကို အာရုံစူးစိုက်နိုင်စေရန်၊ လုပ်ဆောင်ခြင်း။ ရိုးရာ focus ring ကို ဆီလီကွန် သို့မဟုတ် ပြုလုပ်ထားသည်။quartz၊ လျှပ်ကူးနိုင်သော ဆီလီကွန်သည် အာရုံစူးစိုက်သည့် လက်စွပ်ပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့်၊ ၎င်းသည် ဆီလီကွန် wafers များ၏ conductivity နှင့် နီးစပ်သော်လည်း၊ ဖလိုရင်းပါရှိသော ပလာစမာတွင် ဖလိုရင်းပါရှိသော etching resistance နည်းပါးသည်၊ မကြာခဏ အသုံးပြုလေ့ရှိသော စက်အစိတ်အပိုင်းပစ္စည်းများသည် အချိန်အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ ပြင်းထန်လိမ့်မည်၊ သံချေးတက်ခြင်းဖြစ်စဉ်၊ ၎င်း၏ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို ပြင်းပြင်းထန်ထန် လျှော့ချသည်။

Solid SiC Focus Ringအလုပ်အခြေခံ：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။

နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။
ကုသိုလ်ကံ	နှင့်	CVD SiC
သိပ်သည်းဆ (g/cm³)	2.33	3.21
တီးဝိုင်းကွာဟချက် (eV)	1.12	2.3
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (W/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^စာ-၆/℃)	2.6	4
Elastic modulus (Gpa)	150	440
မာကျောမှု (Gpa)	11.4	24.5
ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် ချေးတက်ခြင်း။	ဆင်းရဲတယ်။	မြတ်သော

VeTek Semiconductor သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် SiC focusing rings ကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်အစိုင်အခဲများကို ပေးဆောင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက်အာရုံစိုက်ကွင်းများသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှု၊ ဓာတုခုခံမှု၊ အပူစီးကူးမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် အိုင်းယွန်း etching ခံနိုင်ရည်တို့၌ ရိုးရာဆီလီကွန်ထက် သာလွန်သည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ ပါဝင်သည်။:

ခြစ်ရာနှုန်းကို လျှော့ချရန်အတွက် သိပ်သည်းဆမြင့်မားသည်။

မြင့်မားသော bandgap နှင့်အတူအလွန်ကောင်းမွန်သော insulation ။

မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့်အပူချဲ့ထွင်မှု၏နိမ့်သောကိန်း။

သာလွန်သောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာသက်ရောက်မှုခံနိုင်ရည်နှင့် elasticity ။

မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်နှင့် သံချေးတက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အသုံးပြုပြီး ထုတ်လုပ်ထားပါတယ်။ပလာစမာ- မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအငွေ့များ စုပုံခြင်း (PECVD)နည်းပညာများ၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် etching လုပ်ငန်းစဉ်များ တိုးလာနေသော တောင်းဆိုမှုများကို ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။ အထူးသဖြင့် ၎င်းတို့သည် ပိုမိုမြင့်မားသော ပလာစမာပါဝါနှင့် စွမ်းအင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။capacitively coupled ပလာစမာ (CCP)စနစ်များ။

VeTek Semiconductor ၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုပေးစွမ်းသည်။ သာလွန်အရည်အသွေးနှင့် ထိရောက်မှုတို့အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC အစိတ်အပိုင်းများကို ရွေးချယ်ပါ။

View as

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော CVD SiC ကုန်ကြမ်း

CVD မှပြင်ဆင်သော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော CVD SiC ကုန်ကြမ်းသည် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအငွေ့များသယ်ယူပို့ဆောင်ခြင်းဖြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအတွက် အကောင်းဆုံးအရင်းအမြစ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ VeTek Semiconductor မှ ပံ့ပိုးပေးသော High purity CVD SiC ကုန်ကြမ်း၏ သိပ်သည်းဆသည် Si နှင့် C ပါရှိသော ဓာတ်ငွေ့များ အလိုအလျောက် လောင်ကျွမ်းစေသော အမှုန်အမွှားများထက် ပိုမိုမြင့်မားပြီး ၎င်းသည် သီးခြား sintering furnace မလိုအပ်ဘဲ အဆက်မပြတ် ရေငွေ့ပျံနှုန်းနီးပါးရှိသည်။ ၎င်းသည် အလွန်အရည်အသွေးမြင့်မားသော SiC တစ်ခုတည်းသော crystals များကို ကြီးထွားစေနိုင်သည်။ မင်းရဲ့စုံစမ်းမေးမြန်းမှုကို စောင့်မျှော်နေပါတယ်။

ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >> စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ >>

Solid SiC wafer သယ်ဆောင်သူ

VeTek Semiconductor ၏အစိုင်အခဲ SiC wafer carrier သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ချေးခံနိုင်ရည်ရှိသောပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး သန့်စင်မှုမြင့်မားသော wafer အမျိုးအစားအားလုံးအတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း wafer သယ်ဆောင်ရောင်းချသူဖြစ်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ထားသည်။

ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >> စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ >>

Solid SiC Disc ပုံစံ Shower Head ၊

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်သူဖြစ်ပြီး Solid SiC Disc-shaped Shower Head ကို ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူ ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ Disc ပုံသဏ္ဍာန် Shower Head ကို CVD မီးဖို၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည့် တုံ့ပြန်မှုဓာတ်ငွေ့ ဖြန့်ဖြူးမှုသေချာစေရန် CVD လုပ်ငန်းစဉ်ကဲ့သို့သော ပါးလွှာသောဖလင်များထုတ်လုပ်ရာတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။

ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >> စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ >>

SiC တံဆိပ်ခတ်ခြင်းအပိုင်း

အဆင့်မြင့် SiC Sealing Part ထုတ်ကုန်ထုတ်လုပ်သူနှင့် တရုတ်နိုင်ငံတွင် စက်ရုံတစ်ခုအနေဖြင့်။ VeTek Semiconducto SiC တံဆိပ်ခတ်ခြင်းအပိုင်းသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် တံဆိပ်ခတ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းနှင့် အခြားသော ပြင်းထန်သောအပူချိန်နှင့် ဖိအားမြင့်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးများသည်။ သင်၏ နောက်ထပ် တိုင်ပင်ဆွေးနွေးမှုကို ကြိုဆိုပါသည်။

ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >> စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ >>

Silicon Carbide Shower Head ၊

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Shower Head ထုတ်ကုန်များကို ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ SiC Shower Head သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ဓာတုတည်ငြိမ်မှု၊ အပူစီးကူးမှုနှင့် ကောင်းမွန်သောဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုစွမ်းဆောင်ရည်၊ တူညီသောဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုကို ရရှိပြီး ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ ၎င်းကို ဓာတုအငွေ့ပြန်သွင်းခြင်း (CVD) သို့မဟုတ် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (PVD) လုပ်ငန်းစဉ်များကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအပူချိန်လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည်။ နောက်ထပ် တိုင်ပင်ဆွေးနွေးမှုကို ကြိုဆိုပါတယ်။

ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >> စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ >>

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်တံဆိပ်ကွင်း

တရုတ်နိုင်ငံရှိ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် Silicon Carbide Seal Ring ထုတ်ကုန်ထုတ်လုပ်သူနှင့် စက်ရုံတစ်ခုအနေဖြင့် VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring ကို ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအားနှင့် အပူစီးကူးနိုင်သောကြောင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။ CVD၊ PVD နှင့် plasma etching ကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များပါ၀င်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးသင့်လျော်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အဓိကပစ္စည်းရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။ သင်၏နောက်ထပ်စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများကိုကြိုဆိုပါသည်။

ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >> စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ >>

တရုတ်နိုင်ငံရှိပရော်ဖက်ရှင်နယ် Solid Silicon Carbide ထုတ်လုပ်သူနှင့်ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူတစ် ဦး အနေဖြင့်ကျွန်ုပ်တို့၏ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင်၏ဒေသဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်စိတ်ကြိုက် 0 န်ဆောင်မှုများလိုအပ်ပါသလား။

QR ကုဒ်

ကြှနျုပျတို့အကွောငျး

ထုတ်ကုန်များ

ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျ

ဖုန်း
+86-579-87223657
+86-18069220752
ဖက်စ်
+86-579-87223657
အီးမေး
anny@veteksemi.com
လိပ်စာ
Wangda လမ်း၊ Ziyang လမ်း၊ Wuyi ကောင်တီ၊ Jinhua မြို့၊ Zhejiang ပြည်နယ်၊ တရုတ်နိုင်ငံ

ဝဘ်မီနူး

ထုတ်ကုန်ရှာဖွေမှု

ဘာသာစကား

မီနူးမှ ထွက်ပါ။

Solid Silicon Carbide

ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ ပါဝင်သည်။:

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော CVD SiC ကုန်ကြမ်း

Solid SiC wafer သယ်ဆောင်သူ

Solid SiC Disc ပုံစံ Shower Head ၊

SiC တံဆိပ်ခတ်ခြင်းအပိုင်း

Silicon Carbide Shower Head ၊

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်တံဆိပ်ကွင်း

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

QR ကုဒ်

ကြှနျုပျတို့အကွောငျး

ထုတ်ကုန်များ

ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျ

ဖုန်း

ဖက်စ်

အီးမေး

လိပ်စာ