ထုတ်ကုန်များ

VETEK CVD Silicon Carbide (SiC) Coated Graphite RTP RTA Carrier သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုတွင် အသုံးပြုသည့် လျင်မြန်သော အပူအစီအစဥ် (RTP) နှင့် လျင်မြန်သော အပူလျော့ခြင်း (RTA) စနစ်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ သိပ်သည်းသော CVD SiC coating ဖြင့် သန့်စင်ထားသော high-purity isostatic graphite ဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားသောကြောင့် ထူးထူးခြားခြား အပူတည်ငြိမ်မှု၊ အပူချိန် တူညီမှု၊ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုဒဏ်ခံနိုင်မှုနှင့် အလွန်နိမ့်သော အမှုန်အမွှားများကို ပေးစွမ်းသည်။ ထပ်ခါတလဲလဲ လျင်မြန်သောအပူနှင့် အအေးပေးစက်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ဖြင့် စီမံထားသောကြောင့် ကယ်ရီယာသည် ယုံကြည်စိတ်ချရသော wafer ပံ့ပိုးမှုနှင့် ဆီလီကွန် wafer လိမ်းကျံခြင်းနှင့် အခြားသော အပူချိန်မြင့်သော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ အသုံးပြုမှုများအတွက် တည်ငြိမ်သော လုပ်ငန်းစဉ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေသည်။

VETEK CVD TaC Coated Susceptor သည် အလွန်သန့်ရှင်းသော isostatic ဂရပ်ဖိုက်အလွှာတစ်ခုအား ထူထပ်သော CVD tantalum carbide (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့် ပေါင်းစပ်ထားကာ အထူးအပူတည်ငြိမ်မှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် အမှုန်အမွှားများထုတ်လုပ်ရန် လိုအပ်သော semiconductor epitaxy ကို ပေးဆောင်ရန်။ SiC၊ GaN နှင့် AlN epitaxial ကြီးထွားမှုအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး ၎င်းသည် ညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချပေးကာ wafer အပူချိန်တူညီမှုကို မြှင့်တင်ပေးပြီး အပူချိန်မြင့်သော MOCVD နှင့် CVD လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အစိတ်အပိုင်းဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။

VeTek Semiconductor မှ CVD SiC coated RTP susceptor သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတစ်လျှောက်တွင်အသုံးပြုသည့် လျင်မြန်သောအပူလည်ပတ်ခြင်း (RTP) နှင့် လျင်မြန်သောအပူခံခြင်း (RTA) ပစ္စည်းများကို ဆောင်ရွက်ပေးပါသည်။ အလွှာအား အလွန်သိပ်သည်းသော CVD ဆီလီကွန်ကာဘိုင် (SiC) အလွှာတွင် ထည့်သွင်းထားသည့် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော မြင့်မားသော isostatic graphite မှ စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ဤတည်ဆောက်မှုသည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု၊ ပြင်းထန်သော ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ အားနည်းမှုနှင့် အပူချိန်မြင့်သော စက်ဘီးစီးခြင်းတွင် စဉ်ဆက်မပြတ် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထုတ်ပေးသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုဆိုင်ရာအသုံးချပရိုဂရမ်များတောင်းဆိုမှုအတွက်၊ VETEK သုံးချပ်ပါဂရပ်ဖိုက် crucible သည် လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်သော တည်ငြိမ်မှု၊ သန့်ရှင်းမှုနှင့် အပူမျှတမှုကို ပေးဆောင်သည်။ အဆင့်မြင့်မားသော isostatic ဂရပ်ဖိုက်များ—ရွေးချယ်နိုင်သော SiC, TaC, သို့မဟုတ် PyC အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်—၎င်း၏ခွဲထွက်ဒီဇိုင်းသည် အဆင်ပြေစေရန်အတွက်သာ မဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် အပူရှိန်ဖိအားကို တက်ကြွစွာ လျှော့ချပေးကာ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု ပိုမြန်စေကာ လည်ပတ်ပြီးနောက် စက်ဝန်းကို ဆက်လက်လုပ်ဆောင်စေသည်။

VETEK PG (Pyrolytic Graphite) Coated Ring သည် တူညီသောအပူဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် တည်ငြိမ်သောအပူချိန်များကို ညှိနှိုင်းမရနိုင်သည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအပူစက်ကွင်းနှင့် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် ရည်ရွယ်တည်ဆောက်ထားသည်။ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံဖြင့် စတင်ပြီး သိပ်သည်းသော Pyrolytic Graphite အလွှာဖြင့် ပြီးပါက၊ ဤအစိတ်အပိုင်းသည် ထူးခြားသောအပူစီးကူးမှုကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ပြင်းထန်သောအပူရှော့ခ်ဖြစ်သည်အထိ ရပ်တည်နိုင်ပြီး ပြင်းထန်သောအပူချိန်တွင် တာရှည်အပြေးအလွှားတွင် ၎င်း၏အတိုင်းအတာကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။ ဤကွင်းများကို ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမီးဖိုများ၊ အပူချိန်မြင့်မီးဖိုများနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများအတွက် အပူစက်ကွင်းများ တွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုထားသည်—တိကျသောအပူချိန်ထိန်းချုပ်သည့်နေရာတိုင်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်ထပ်တလဲလဲဖြစ်နိုင်မှုနှင့် နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို တိုက်ရိုက်မောင်းနှင်ပေးသည်ကို သင်တွေ့ရပါမည်။

သိုလှောင်ခန်းအတွင်း မညီမညာသော ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု သို့မဟုတ် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုကို ကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းဖူးပါက VETEK CVD SiC Coated Graphite Shower Head သည် ၎င်းကိုဖြေရှင်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ၎င်းသည် အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် လွယ်ကူသော စက်ပစ္စည်းအတွက် သန့်စင်မှုမြင့်မားသော isostatic ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် စတင်သည်၊ ထို့နောက် မျက်နှာပြင်ကို ဖုံးအုပ်ထားသည့် သိပ်သည်းသော CVD Silicon Carbide (SiC) အပေါ်ယံလွှာကို ရရှိပြီး အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များ (HCl သို့မဟုတ် NF₃ ကဲ့သို့) အဆိပ်သင့်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးသည်။ ရလဒ်မှာ wafer တစ်လျှောက် တစ်ပြေးညီ စီးဆင်းမှုကို ပေးဆောင်သည့် ဓာတ်ငွေ့ ဖြန့်ဖြူးမှုပန်းကန်ပြား၊ အပူချိန်မြင့်သော အီပီတာစီကို ကိုင်တွယ်ကာ သပ်ရပ်သော ဂရပ်ဖိုက် သို့မဟုတ် quartz ထက် အဆပေါင်းများစွာ ကြာရှည်သည် - ၎င်းသည် CVD၊ PECVD၊ MOCVD၊ ဆီလီကွန် epitaxy နှင့် SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။ ဓာတ်ပေါင်းဖိုနှစ်ခု အတိအကျတူညီခြင်းမရှိသောကြောင့် စိတ်ကြိုက်အပေါက်ပုံစံများနှင့် အရွယ်အစားများကိုလည်း ပေးဆောင်ထားပါသည်။