နည်းပညာနှင့် ဖြေရှင်းချက်များ

ပါဝါမြင့်သော ချစ်ပ်များနှင့် မော်ဂျူးများ၏ အပူပိုင်းပိတ်ဆို့မှုသည် မကြာခဏ “လျှပ်ကူးနိုင်မှု လုံလောက်သည်” ဖြစ်သော်လည်း လျှပ်ကူးမှုနှင့် အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှုတို့သည် တညီတညွတ်တည်း ရှိမရှိ၊ စိန်ပေါင်းစုများသည် အပူလျှပ်ကူးနိုင်မှုကို မြှင့်တင်ပေးပြီး မြင့်မားသော စိန်ထုထည်အပိုင်းအစများမှတစ်ဆင့် CTE ကို မြှင့်တင်ကာ ဘုံလမ်းကြောင်းသုံးခုဖြစ်သည့် စိန်-ကြေးနီ၊ စိန်-အလူမီနီယမ်နှင့် စိန်-SiC တို့ဖြစ်သည်။ ပုံမှန်စွမ်းဆောင်ရည်အပိုင်းအခြားများအပေါ်အခြေခံ၍ ဤဆောင်းပါးသည် ရွေးချယ်မှုနယ်နိမိတ်များ၊ အက်ပ်လီကေးရှင်းအခြေအနေများနှင့် မိတ်ဆက်စစ်ဆေးရေးဂိတ်များကို ရှင်းပြထားသည်။

အခန်းတစ်ပိုင်းရွေးချယ်မှုတွင် တကယ့်မေးခွန်းမှာ “ကြွေထည် သို့မဟုတ် quartz” မဟုတ်ဘဲ၊ လက်ရှိအပူချိန်၊ သံချေးတက်မှု၊ လျှပ်စစ်နှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များအောက်တွင် အမှုန်အမွှားများ၊ တစ်သက်တာနှင့် ကုန်ကျစရိတ်များကို ပေါင်းစပ်ထိန်းချုပ်နိုင်သည့် အရာဖြစ်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် semiconductor အဆင့်မြင့် ကြွေထည်များနှင့် quartz အတွက် စုစည်းထားသော ရွေးချယ်မှုမူဘောင်ကို တည်ဆောက်ပြီး၊ ၎င်းတို့၏ အခန်းကဏ္ဍ ခွဲထုတ်မှု၊ လေးဖက်မြင် အကဲဖြတ်မှု ချဉ်းကပ်မှု၊ ပျက်ကွက်မှု၊ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်မှုနှင့် ဝယ်ယူမှုများအတွက် လမ်းကြောင်းများကို ရှင်းပြပြီး အစုလိုက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်နှင့် ဂရပ်ဖိုက် + CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းအကြား ရှင်းလင်းသောမျဉ်းကို ရေးဆွဲထားသည်။

Solid SiC သည် "ပိုစျေးကြီးသော coating အစားထိုး" မဟုတ်ဘဲ မျက်နှာပြင်မပါသော၊ ပလာစမာခံနိုင်ရည်ရှိသော နှင့် အလွန်ရှည်လျားသော သက်တမ်းကြာရှည်သည့် အခြေအနေများအတွက် အခြားသော နည်းပညာလမ်းကြောင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤဆောင်းပါးတွင် ၎င်း၏ အက်ပလီကေးရှင်းနယ်နိမိတ်များကို ထွင်းထုခြင်းနှင့် သန့်စင်မှုမြင့်မားသောအသုံးပြုမှု၊ TCO သည် ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် နှိုင်းယှဉ်ခြင်းနှင့် နိဒါန်းအတွက် စိစစ်ခြင်းအမှတ်များကို ရှင်းပြထားသည်။ စာကြောင်းတစ်ကြောင်းသည် အပေါ်ယံပိုင်းကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် အမှုန်အမွှားများကို အာရုံကွင်းများနှင့် ဆင်တူသောနေရာများပေါ်တွင် တက်လာသည့်အခါ ပြဿနာသည် "သန့်ရှင်းမှုမလုံလောက်ခြင်း" သို့မဟုတ် "မကောင်းတဲ့အမြောက်အမြား" သာ မကဘဲ ပစ္စည်းပုံစံသည် ပတ်ဝန်းကျင်နှင့် ကိုက်ညီမှုရှိမရှိ၊

Coated အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်သက်တာလုံးအတွက် အပြည့်အဝ ဖယ်ရှားပစ်ရန် မလိုအပ်ပါ။ ဤဆောင်းပါးတွင် CVD SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများသည် သန့်ရှင်းရေးနှင့် အသစ်ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ရန် သင့်လျော်သည့်အခါ၊ ၎င်းတို့ကို လက်ခံရန် နှင့် အစားထိုး cadence ကို အပြည့်အဝ-lifecycle mindset ဖြင့် စီမံခန့်ခွဲနည်း—အထွက်နှုန်းနှင့် ကုန်ကျစရိတ်ကို ပိုမိုယုံကြည်စိတ်ချစွာ ချိန်ခွင်လျှာညီအောင် ကူညီပေးသော အထွက်နှုန်းနှင့် ကုန်ကျစရိတ်ကို ပိုမိုယုံကြည်စိတ်ချစွာ ကူညီပေးပါသည်။ လိုင်းပေါ်ရှိ susceptors များ၏ တကယ့်ကုန်ကျစရိတ်၊ preheat rings နှင့် အလားတူသော အစိတ်အပိုင်းများသည် ဝယ်ယူသည့် windows စျေးနှုန်းသာမက အမှုန်အမွှားများကိုပါ လဲလှယ်နိုင်စေပါသည်။