QR ကုဒ်
ကြှနျုပျတို့အကွောငျး
ထုတ်ကုန်များ
ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျ


ဖက်စ်
+86-579-87223657

အီးမေး

လိပ်စာ
Wangda လမ်း၊ Ziyang လမ်း၊ Wuyi ကောင်တီ၊ Jinhua မြို့၊ Zhejiang ပြည်နယ်၊ တရုတ်နိုင်ငံ
VeTek Semiconductor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းနယ်ပယ်တွင် သင်၏ဆန်းသစ်သောမိတ်ဖက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကျယ်ပြန့်သော semiconductor-grade Silicon Carbide Ceramics ပစ္စည်းပေါင်းစပ်မှု၊ အစိတ်အပိုင်းထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်နှင့် အက်ပလီကေးရှင်းအင်ဂျင်နီယာဝန်ဆောင်မှုများဖြင့် သင့်အား သိသာထင်ရှားသောစိန်ခေါ်မှုများကို ကျော်လွှားနိုင်ရန် ကျွန်ုပ်တို့ကူညီပေးနိုင်ပါသည်။ အင်ဂျင်နီယာနည်းပညာဆိုင်ရာ Silicon Carbide Ceramics များသည် ၎င်းတို့၏ထူးခြားသောပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကြောင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ VeTek Semiconductor ၏ အလွန်သန့်စင်သော ဆီလီကွန်ကာဘိုင် ကြွေထည်များကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် ပြုပြင်ခြင်း သံသရာတစ်ခုလုံးတွင် မကြာခဏ အသုံးပြုပါသည်။
VeTek Semiconductor သည် batch diffusion နှင့် LPCVD လိုအပ်ချက်များအပါအဝင် အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးသည်-
● Baffles & ကိုင်ဆောင်သူများ
● ထိုးဆေး
● Liners & လုပ်ငန်းစဉ်ပြွန်များ
● Silicon Carbide Cantilever Paddles
● Wafer လှေများနှင့် ခြေနင်းများ
Plasma etch processing ၏ ကြမ်းတမ်းမှုများအတွက် ပြုပြင်ဖန်တီးထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ညစ်ညမ်းမှုနှင့် အချိန်ဇယားဆွဲမထားဘဲ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်း အပါအဝင်၊
● အာရုံစူးစိုက်ကွင်း
● Nozzles များ
● ဒိုင်းများ
● Showerheads
● Windows / Lids
● အခြားစိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများ
VeTek Semiconductor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အပူချိန်မြင့်သော အပူအအေးလုပ်ဆောင်ခြင်းဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေသော အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ဤအပလီကေးရှင်းများသည် RTP၊ Epi လုပ်ငန်းစဉ်များ၊ ပျံ့နှံ့မှု၊ ဓာတ်တိုးမှု၊ နှင့် annealing တို့ကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ နည်းပညာဆိုင်ရာ ကြွေထည်များသည် အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်နိုင်စေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ VeTek Semiconductor ၏ အစိတ်အပိုင်းများနှင့်အတူ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သူများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှု၏ အလုံးစုံအောင်မြင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးကာ ထိရောက်ပြီး အရည်အသွေးမြင့်သော အပူဖြင့်လုပ်ဆောင်ခြင်းကို ရရှိနိုင်ပါသည်။
● Diffusers များ
● Insulators များ
● လက်ခံသူများ
● အခြားသော စိတ်ကြိုက် အပူပိုင်း အစိတ်အပိုင်းများ
SiC Cantilever Paddle
SiC လုပ်ငန်းစဉ် Tubes
Silicon Carbide လုပ်ငန်းစဉ် Tube
SiC ဒေါင်လိုက် wafer လှေ
SiC အလျားလိုက် wafer လှေ
SiC horizontals quare wafer လှေ
SiC LPCVD wafer လှေ
SiC ရေပြင်ညီပန်းကန်လှေ
SiC Ceramic Seal Ring
● အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- SiC ပါဝင်မှု >99.96%, အခမဲ့ ဆီလီကွန် <0.1%, သတ္တုညစ်ညမ်းမှုကို လျော့နည်းစေသည်။
● အထူးကောင်းမွန်သော အပူချိန်မြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်- အလုပ်အပူချိန် 1600°C အထိ (oxidizing) / 1700°C (လျှော့ချခြင်း)။
● လျင်မြန်သောအပူလည်ပတ်မှုအောက်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်အတွက် သာလွန်သောအပူရှော့တိုက်ခြင်းခံနိုင်ရည်နှင့်အနိမ့်အပူချဲ့ထွင်မှု။
● မြင့်မားသောစက်မှုစွမ်းအား (ဖိသိပ်မှု >600 MPa) နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ပလာစမာများအပေါ် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ အားနည်းမှု။
● ဖြန့်ကျက်ခြင်း/LPCVD၊ etch၊ RTP နှင့် epi လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ထုတ်ကုန်အကွာအဝေး — wafer လှေများမှ အာရုံစိုက်ကွင်းများနှင့် စိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများအထိ။
● တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းနှင့် အမှုန်ထုတ်လုပ်မှုကို လျှော့ချပေးကာ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုအကြိမ်ရေ နည်းပါးစေပြီး အထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးသည်။
Recrystalized Silicon Carbide ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ
| ပစ္စည်းဥစ္စာ | ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
| အလုပ်အပူချိန် (°C) | 1600°C (အောက်စီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်) |
| SiC/SiC အကြောင်းအရာ | > 99.96% |
| Si / Free Si အကြောင်းအရာ | < 0.1% |
| အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | 2.60-2.70 g/cm³ |
| ထင်ရှားသော porosity | < 16% |
| Compression ခွန်အား | > 600 MPa |
| အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ | 80-90 MPa (20°C) |
| ပူပြင်းသော ကွေးညွှတ်ခွန်အား | 90-100 MPa (1400°C) |
| အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C | 4.70 × 10⁻⁶/°C |
| အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C | 23 W/m·K |
| Elastic modulus | 240 GPa |
| အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် | အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။ |
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ကွဲပြားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်၊ VeTek သည် ပစ်မှတ်ထားသော Silicon Carbide Ceramics ထုတ်ကုန်များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အောက်ဖော်ပြပါဇယားသည် ၎င်းတို့အား အဓိကအသုံးချသည့်နေရာများအလိုက် အမျိုးအစားခွဲခြားထားသည်။
| လျှောက်လွှာအကွက် | ရိုးရိုးထုတ်ကုန်များ | လျှောက်လွှာဖော်ပြချက် |
| ပျံ့နှံ့ခြင်းနှင့် LPCVD | SiC wafer လှေများ, cantilever paddles, လုပ်ငန်းစဉ်ပြွန်၊ liners ၊ injectors ၊baffles & ကိုင်ဆောင်သူများ | အသုတ်ပျံ့ခြင်းနှင့် LPCVD မီးဖိုများအတွက် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော SiC အစိတ်အပိုင်းများ၊ 1600-1700 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ၊ ညစ်ညမ်းမှုနည်းသော အပူဒဏ်နှင့် ဓာတုဗေဒခံနိုင်ရည် အလွန်ကောင်းမွန်သည်။ |
| Plasma Eetch လုပ်ငန်းစဉ် | အာရုံကွင်း, နော်ဇယ်များဒိုင်းများ၊ ရေချိုးခေါင်းများ၊ ပြတင်းပေါက်/အဖုံးများ၊ စိတ်ကြိုက် ထွင်းထုထားသော အစိတ်အပိုင်းများ | Plasma etch ပတ်၀န်းကျင်အတွက် ပြုပြင်ထားသော သန့်စင်မြင့် SiC အစိတ်အပိုင်းများ။ အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လုပ်မှုကို လျှော့ချရန်နှင့် အချိန်ဇယားမဆွဲဘဲ ထိန်းသိမ်းခြင်း၊ သာလွန်သော ပလာစမာ ခုခံမှု။ |
| RTP / Epitaxial / အပူပိုင်းလုပ်ဆောင်ခြင်း | လက်ခံသူများ, diffusers များ, insulators များ, စိတ်ကြိုက်အပူအစိတ်အပိုင်းများ | RTP၊ epi၊ ပျံ့နှံ့မှု၊ ဓာတ်တိုးမှုနှင့် annealing အတွက်အစိတ်အပိုင်းများ; အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိပြီး တသမတ်တည်း အပူချိန်မြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထုတ်ပေးနိုင်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ |
| SiC Crystal Growth (PVT) | မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC အမှုန့်၊7N CVD SiC ကုန်ကြမ်းမျိုးစေ့ချိတ်ဆက်ခြင်းဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ | အလွန်သန့်စင်သော SiC အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းများနှင့် PVT SiC တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအတွက် ပံ့ပိုးပေးသည့် အစိတ်အပိုင်းများ၊ အထွက်နှုန်းနှင့် ပုံဆောင်ခဲအရည်အသွေးကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။ |
| Wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် သယ်ဆောင်ခြင်း | ဒေါင်လိုက်/ရေပြင်ညီ SiC wafer လှေများ, ဆီလီကွန်ကက်ဆက်လှေများ, ခြေနင်းများ, တံဆိပ်ကွင်းများ | အပူချိန်မြင့်မားသော လုပ်ဆောင်မှုအတွင်း တိကျသော သယ်ဆောင်သူများနှင့် တံဆိပ်ခတ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများသည် အပူတူညီမှု၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ညစ်ညမ်းမှုအနည်းဆုံးကို ပေးဆောင်သည်။ |
အသေးစိတ်ဖြစ်စဉ်နှင့်ကိုက်ညီသော ဖြေရှင်းနည်းများအတွက်၊ ကျေးဇူးပြု၍ ဖတ်ရှုပါ။Oxidation နှင့် Diffusion မီးဖိုဆက်စပ်စာမျက်နှာများ။
တရုတ်နိုင်ငံတွင် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် Silicon Carbide Ceramics ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏ ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင့်ဒေသ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ လိုအပ်သည်ဖြစ်စေ တရုတ်တွင်ပြုလုပ်သော အဆင့်မြင့်ပြီး တာရှည်ခံသော Silicon Carbide Ceramics များကို သင်ဝယ်ယူလိုပါက၊ကျွန်တော်တို့ကို မက်ဆေ့ချ်ထားခဲ့ပါ။.