ထုတ်ကုန်များ

ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များ

VeTek Semiconductor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းနယ်ပယ်တွင် သင်၏ဆန်းသစ်သောမိတ်ဖက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကျယ်ပြန့်သော semiconductor-grade Silicon Carbide Ceramics ပစ္စည်းပေါင်းစပ်မှု၊ အစိတ်အပိုင်းထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်နှင့် အက်ပလီကေးရှင်းအင်ဂျင်နီယာဝန်ဆောင်မှုများဖြင့် သင့်အား သိသာထင်ရှားသောစိန်ခေါ်မှုများကို ကျော်လွှားနိုင်ရန် ကျွန်ုပ်တို့ကူညီပေးနိုင်ပါသည်။ အင်ဂျင်နီယာနည်းပညာဆိုင်ရာ Silicon Carbide Ceramics များသည် ၎င်းတို့၏ထူးခြားသောပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကြောင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ VeTek Semiconductor ၏ အလွန်သန့်စင်သော ဆီလီကွန်ကာဘိုင် ကြွေထည်များကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် ပြုပြင်ခြင်း သံသရာတစ်ခုလုံးတွင် မကြာခဏ အသုံးပြုပါသည်။


ကွဲပြားမှုနှင့် LPCVD လုပ်ငန်းစဉ်များ

VeTek Semiconductor သည် batch diffusion နှင့် LPCVD လိုအပ်ချက်များအပါအဝင် အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးသည်-

● Baffles & ကိုင်ဆောင်သူများ

● ထိုးဆေး

● Liners & လုပ်ငန်းစဉ်ပြွန်များ

● Silicon Carbide Cantilever Paddles

● Wafer လှေများနှင့် ခြေနင်းများ

လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ

Plasma etch processing ၏ ကြမ်းတမ်းမှုများအတွက် ပြုပြင်ဖန်တီးထားသော မြင့်မားသောသန့်ရှင်းသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ညစ်ညမ်းမှုနှင့် အချိန်ဇယားဆွဲမထားဘဲ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်း အပါအဝင်၊

● အာရုံစူးစိုက်ကွင်း

● Nozzles များ

● ဒိုင်းများ

● Showerheads

● Windows / Lids

● အခြားစိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများ


လျင်မြန်သော အပူအအေး စီမံဆောင်ရွက်ပေးခြင်းနှင့် လျှပ်စစ်ဓာတ် လုပ်ငန်းစဉ် အစိတ်အပိုင်းများ

VeTek Semiconductor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အပူချိန်မြင့်သော အပူအအေးလုပ်ဆောင်ခြင်းဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများအတွက် အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေသော အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ဤအပလီကေးရှင်းများသည် RTP၊ Epi လုပ်ငန်းစဉ်များ၊ ပျံ့နှံ့မှု၊ ဓာတ်တိုးမှု၊ နှင့် annealing တို့ကို လွှမ်းခြုံထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ နည်းပညာဆိုင်ရာ ကြွေထည်များသည် အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်နိုင်စေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ VeTek Semiconductor ၏ အစိတ်အပိုင်းများနှင့်အတူ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သူများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှု၏ အလုံးစုံအောင်မြင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးကာ ထိရောက်ပြီး အရည်အသွေးမြင့်သော အပူဖြင့်လုပ်ဆောင်ခြင်းကို ရရှိနိုင်ပါသည်။

● Diffusers များ

● Insulators များ

● လက်ခံသူများ

● အခြားသော စိတ်ကြိုက် အပူပိုင်း အစိတ်အပိုင်းများ


ကုန်ပစ္စည်းအမျိုးအစားများ

Silicon Carbide Cantilever Paddle SiC Cantilever Paddle SiC Process Tube SiC လုပ်ငန်းစဉ် Tubes SiC Diffusion Furnace Tube Silicon Carbide လုပ်ငန်းစဉ် Tube Silicon Carbide wafer Carrier SiC ဒေါင်လိုက် wafer လှေ High purity SiC wafer boat carrier SiC အလျားလိုက် wafer လှေ SiC Wafer Boat SiC horizontals quare wafer လှေ SiC Wafer Boat SiC LPCVD wafer လှေ Silicon Carbide Wafer Boat for Horizontal Furnace SiC ရေပြင်ညီပန်းကန်လှေ SiC Ceramic Seal Ring SiC Ceramic Seal Ring


အဓိကအင်္ဂါရပ်များ

● အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- SiC ပါဝင်မှု >99.96%, အခမဲ့ ဆီလီကွန် <0.1%, သတ္တုညစ်ညမ်းမှုကို လျော့နည်းစေသည်။

● အထူးကောင်းမွန်သော အပူချိန်မြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်- အလုပ်အပူချိန် 1600°C အထိ (oxidizing) / 1700°C (လျှော့ချခြင်း)။

● လျင်မြန်သောအပူလည်ပတ်မှုအောက်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်အတွက် သာလွန်သောအပူရှော့တိုက်ခြင်းခံနိုင်ရည်နှင့်အနိမ့်အပူချဲ့ထွင်မှု။

● မြင့်မားသောစက်မှုစွမ်းအား (ဖိသိပ်မှု >600 MPa) နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ပလာစမာများအပေါ် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ အားနည်းမှု။

● ဖြန့်ကျက်ခြင်း/LPCVD၊ etch၊ RTP နှင့် epi လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ထုတ်ကုန်အကွာအဝေး — wafer လှေများမှ အာရုံစိုက်ကွင်းများနှင့် စိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများအထိ။

● တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းနှင့် အမှုန်ထုတ်လုပ်မှုကို လျှော့ချပေးကာ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုအကြိမ်ရေ နည်းပါးစေပြီး အထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးသည်။


ကုန်ပစ္စည်းသတ်မှတ်ချက်များ

Recrystalized Silicon Carbide ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ

ပစ္စည်းဥစ္စာ ရိုးရိုးတန်ဖိုး
အလုပ်အပူချိန် (°C) 1600°C (အောက်စီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်)
SiC/SiC အကြောင်းအရာ > 99.96%
Si / Free Si အကြောင်းအရာ < 0.1%
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု 2.60-2.70 g/cm³
ထင်ရှားသော porosity < 16%
Compression ခွန်အား > 600 MPa
အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ 80-90 MPa (20°C)
ပူပြင်းသော ကွေးညွှတ်ခွန်အား 90-100 MPa (1400°C)
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C 4.70 × 10⁻⁶/°C
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C 23 W/m·K
Elastic modulus 240 GPa
အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။


အသုံးချမှု

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ကွဲပြားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်၊ VeTek သည် ပစ်မှတ်ထားသော Silicon Carbide Ceramics ထုတ်ကုန်များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အောက်ဖော်ပြပါဇယားသည် ၎င်းတို့အား အဓိကအသုံးချသည့်နေရာများအလိုက် အမျိုးအစားခွဲခြားထားသည်။

လျှောက်လွှာအကွက် ရိုးရိုးထုတ်ကုန်များ လျှောက်လွှာဖော်ပြချက်
ပျံ့နှံ့ခြင်းနှင့် LPCVD SiC wafer လှေများ, cantilever paddles, လုပ်ငန်းစဉ်ပြွန်၊ liners ၊ injectors ၊baffles & ကိုင်ဆောင်သူများ အသုတ်ပျံ့ခြင်းနှင့် LPCVD မီးဖိုများအတွက် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော SiC အစိတ်အပိုင်းများ၊ 1600-1700 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ၊ ညစ်ညမ်းမှုနည်းသော အပူဒဏ်နှင့် ဓာတုဗေဒခံနိုင်ရည် အလွန်ကောင်းမွန်သည်။
Plasma Eetch လုပ်ငန်းစဉ် အာရုံကွင်း, နော်ဇယ်များဒိုင်းများ၊ ရေချိုးခေါင်းများ၊ ပြတင်းပေါက်/အဖုံးများ၊ စိတ်ကြိုက် ထွင်းထုထားသော အစိတ်အပိုင်းများ Plasma etch ပတ်၀န်းကျင်အတွက် ပြုပြင်ထားသော သန့်စင်မြင့် SiC အစိတ်အပိုင်းများ။ အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လုပ်မှုကို လျှော့ချရန်နှင့် အချိန်ဇယားမဆွဲဘဲ ထိန်းသိမ်းခြင်း၊ သာလွန်သော ပလာစမာ ခုခံမှု။
RTP / Epitaxial / အပူပိုင်းလုပ်ဆောင်ခြင်း လက်ခံသူများ, diffusers များ, insulators များ, စိတ်ကြိုက်အပူအစိတ်အပိုင်းများ RTP၊ epi၊ ပျံ့နှံ့မှု၊ ဓာတ်တိုးမှုနှင့် annealing အတွက်အစိတ်အပိုင်းများ; အပူဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိပြီး တသမတ်တည်း အပူချိန်မြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထုတ်ပေးနိုင်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။
SiC Crystal Growth (PVT) မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC အမှုန့်၊7N CVD SiC ကုန်ကြမ်းမျိုးစေ့ချိတ်ဆက်ခြင်းဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ အလွန်သန့်စင်သော SiC အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းများနှင့် PVT SiC တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုအတွက် ပံ့ပိုးပေးသည့် အစိတ်အပိုင်းများ၊ အထွက်နှုန်းနှင့် ပုံဆောင်ခဲအရည်အသွေးကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။
Wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် သယ်ဆောင်ခြင်း ဒေါင်လိုက်/ရေပြင်ညီ SiC wafer လှေများ, ဆီလီကွန်ကက်ဆက်လှေများ, ခြေနင်းများ, တံဆိပ်ကွင်းများ အပူချိန်မြင့်မားသော လုပ်ဆောင်မှုအတွင်း တိကျသော သယ်ဆောင်သူများနှင့် တံဆိပ်ခတ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများသည် အပူတူညီမှု၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ညစ်ညမ်းမှုအနည်းဆုံးကို ပေးဆောင်သည်။

အသေးစိတ်ဖြစ်စဉ်နှင့်ကိုက်ညီသော ဖြေရှင်းနည်းများအတွက်၊ ကျေးဇူးပြု၍ ဖတ်ရှုပါ။Oxidation နှင့် Diffusion မီးဖိုဆက်စပ်စာမျက်နှာများ။


တရုတ်နိုင်ငံတွင် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် Silicon Carbide Ceramics ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏ ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင့်ဒေသ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ လိုအပ်သည်ဖြစ်စေ တရုတ်တွင်ပြုလုပ်သော အဆင့်မြင့်ပြီး တာရှည်ခံသော Silicon Carbide Ceramics များကို သင်ဝယ်ယူလိုပါက၊ကျွန်တော်တို့ကို မက်ဆေ့ချ်ထားခဲ့ပါ။.


ထုတ်ကုန်များ
View as  
 
SiC Crystal Growth အတွက် High Purity SiC Powder

SiC Crystal Growth အတွက် High Purity SiC Powder

VeTek Semiconductor သည် အထွက်နှုန်းမြင့်မားသော SiC Crystal Growth (PVT လုပ်ငန်းစဉ်)၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း အလွှာထုတ်လုပ်မှုနှင့် အဆင့်မြင့် လုပ်ဆောင်နိုင်သော ကြွေထည်များအတွက် အထူးပြုလုပ်ထားသော ပရီမီယံအဆင့် High Purity Silicon Carbide (SiC) Powder ကို ပေးဆောင်ပါသည်။ အလွန်သန့်ရှင်းသော သန့်စင်မှုနည်းပညာဖြင့် စီမံဆောင်ရွက်ထားသော ကျွန်ုပ်တို့၏ မြင့်မားသော သန့်စင်သော SiC ကုန်ကြမ်းသည် လွန်စွာနိမ့်သော ခြေရာခံသတ္တုအဆင့်များ၊ မျိုးပွားနိုင်သော sublimation စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တင်းကျပ်သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းဆိုင်ရာ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် အလွန်တသမတ်တည်း လိုက်လျောညီထွေရှိသော တစ်ပိုင်းမှတစ်သုတ် အရည်အသွေးကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
7N High-Purity CVD SiC ကုန်ကြမ်း

7N High-Purity CVD SiC ကုန်ကြမ်း

မူလရင်းမြစ်ပစ္စည်း၏ အရည်အသွေးသည် SiC တစ်ခုတည်း ပုံဆောင်ခဲများ ထုတ်လုပ်မှုတွင် wafer အထွက်နှုန်းကို ကန့်သတ်သည့် အဓိကအချက်ဖြစ်သည်။ VETEK ၏ 7N High-Purity CVD SiC Bulk သည် Physical Vapor Transport (PVT) အတွက် အထူးပြုလုပ်ထားသော သမားရိုးကျအမှုန့်များအတွက် သိပ်သည်းဆမြင့်သော polycrystalline အခြားရွေးချယ်စရာကို ပေးစွမ်းပါသည်။ အစုလိုက် CVD ဖောင်ကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သာမန်ကြီးထွားမှုဆိုင်ရာ ချို့ယွင်းချက်များကို ဖယ်ရှားပြီး မီးဖိုအတွင်း သွင်းအားကို သိသိသာသာ တိုးတက်စေသည်။ မင်းရဲ့စုံစမ်းမေးမြန်းမှုကို စောင့်မျှော်နေပါတယ်။
Silicon Carbide မျိုးစေ့ Crystal Bonduum Hot-Press-Pressace

Silicon Carbide မျိုးစေ့ Crystal Bonduum Hot-Press-Pressace

SIC Gene Bonding Technology သည် Crystal Compunching ကိုအကျိုးသက်ရောက်စေသောအဓိကဖြစ်စဉ်များအနက်မှတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဆွေမျိုးဆက်နွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းမီးရှို့ဖျက်ဆီးထားသောချို့ယွင်းချက်အမျိုးမျိုးကိုထိထိရောက်ရောက်လျှော့ချနိုင်သည်။
ဆီလီကွန်ကက်ဆက်လှေ

ဆီလီကွန်ကက်ဆက်လှေ

Veteksemicon မှဆီလီကွန် Cassette Safette Semiconductor မီးဖိုချောင်သုံးရာများအတွက်အထူးသဖြင့်အပူချိန်မြင့်မားသော Semiconductor မီးဖိုချောင်သုံးကိရိယာများအတွက်အထူးသဖြင့်အပူချိန်မြင့်မားသော Semiconductor မီးဖိုချောင်သုံးကိရိယာများအတွက်အထူးသဖြင့်တီထွင်ထုတ်လုပ်နိုင်ခဲ့သည်။ Ultra-high-high-high-high-high-high-high-high-high-high-high-high-high-himpressactive စံချိန်စံညွှန်းများနှင့်ပြီးဆုံးသွားသောအခါ Silicon ၏ဂုဏ်သတ္တိများနှင့်နီးကပ်စွာကိုက်ညီသောအပူတည်ငြိမ်မှုရှိသော inert unert ပလက်ဖောင်းကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။ ဤညှိနှိုင်းမှုသည်အပူရှိန်စိတ်ဖိစီးမှုကိုလျော့နည်းစေသည်
silicon carbide wafer အပြောင်းအလဲနဲ့

silicon carbide wafer အပြောင်းအလဲနဲ့

Veteksemicon မှ Silicon Carbide Cantilever သည် Semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုတွင်အဆင့်မြင့်သောကျယ်ပြန့်သောထုတ်လုပ်မှုအတွက်အင်ဂျင်နီယာဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SIC, ၎င်းသည်ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှု, ဤအင်္ဂါရပ်များသည်မိတ္တူကူးခြင်း, တိုင်ပင်ဆွေးနွေးရန်လှိုက်လှဲစွာကြိုဆိုပါသည်။
ဆီလီကွန် carbide စက်ရုပ်လက်မောင်း

ဆီလီကွန် carbide စက်ရုပ်လက်မောင်း

ကျွန်ုပ်တို့၏ဆီလီကွန်ကာဘန်း (SIC) စက်ရုပ်လက်မောင်းကိုအဆင့်မြင့်သော Semiconductor Troachuring တွင်စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားစွာကိုင်တွယ်ရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ သန့်ရှင်းရေးအတွက်မြင့်မားသော silicon carbide ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောစက်ရုပ်လက်မောင်းသည်အပူချိန်မြင့်မားသောအပူချိန်, Plasma Corrosion နှင့် Chemical Contraction တို့အားထူးခြားမှုကိုကာကွယ်ပေးသည်။ ၎င်း၏ခြွင်းချက်စက်မှုစွမ်းအားနှင့်ရှုထောင့်တည်ငြိမ်မှုကိုညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကိုလျှော့ချနိုင်သော်လည်း၎င်းသည် MocvD, EgitxAxy, ion ion implantation နှင့်အခြားအရေးပါသော wafer ကိုင်တွယ်သည့်အပလီကေးရှင်းအတွက်အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုပြုလုပ်နိုင်သည်။ သင့်ရဲ့မေးမြန်းစုံစမ်းလိုသည်များကိုကြိုဆိုပါတယ်
တရုတ်နိုင်ငံရှိ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များ ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏ ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင့်ဒေသ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရန် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ လိုအပ်သည်ဖြစ်စေ သို့မဟုတ် တရုတ်နိုင်ငံမှ ထုတ်လုပ်သော အဆင့်မြင့်ပြီး တာရှည်ခံသည့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များ ကို ဝယ်ယူလိုပါက ကျွန်ုပ်တို့ထံ မက်ဆေ့ချ် ထားခဲ့နိုင်ပါသည်။
X
သင့်အား ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြည့်ရှုမှုအတွေ့အကြုံကို ပေးဆောင်ရန်၊ ဆိုက်အသွားအလာကို ပိုင်းခြားစိတ်ဖြာပြီး အကြောင်းအရာကို ပုဂ္ဂိုလ်ရေးသီးသန့်ပြုလုပ်ရန် ကျွန်ုပ်တို့သည် ကွတ်ကီးများကို အသုံးပြုပါသည်။ ဤဆိုက်ကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ cookies အသုံးပြုမှုကို သင်သဘောတူပါသည်။ကိုယ်ရေးအချက်အလက်မူဝါဒ