silicon nitride

1 ။ အလွန်အစွမ်းထက်တဲ့ဓာတုတည်ငြိမ်မှု

Silicon Nitride ကြွေထည်များသည်အလွန်ကောင်းမွန်သောဓာတုဗေဒဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုရှိပြီးခိုင်မာသောအက်ဆစ်များ, Semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်လေ့ကျင့်နိုင်သောဓာတုပစ္စည်းများနှင့်ဆက်ဆံရန်လိုအပ်လေ့ရှိသည်။

2 ။ အလွန်အစွမ်းထက်တဲ့စက်မှုဂုဏ်သတ္တိများ

ဆီလီကွန်နိုက်ထရစ်ကြွေထည်များသည်မြင့်မားသောခဲယဉ်းခြင်း, ဤစက်ပစ္စည်းသည်၎င်းကို Semiconductor ပစ္စည်းကိရိယာများရှိဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံနှင့်လုပ်ငန်းစဉ်အစိတ်အပိုင်းများအတွက်ပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့်အလွန်သင့်လျော်သည်။

3 ။ မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ငြိမ်မှု

Silicon Nitride ကြွေထည်များသည်အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်တည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီးအရည်ပျော်စေရန်နှင့်အပူချိန်မြင့်တက်ခြင်းနှင့်အပူချိန်မြင့်တက်ခြင်းနှင့်အပူချိန်မြင့်တက်ခြင်းနှင့်ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့်ကိုင်တွယ်ခြင်းတို့ကိုတားဆီးနိုင်သည်။ ၎င်းသည်အပူချိန်မြင့်မားသောလုပ်ငန်းစဉ်စက်ကိရိယာများထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် Grippers, Prist Pramber Components နှင့်စသည်တို့နှင့်သက်ဆိုင်သည်။

4 ။ အစွမ်းထက်တဲ့ insulator ကို insulator ကို

insulating ဂုဏ်သတ္တိများသည် Semiconductor Device ထုတ်လုပ်မှုတွင်အရေးပါသည်။ Silicon Nitride ကြွေထည်များသည်ကောင်းမွန်သော insulating property များရှိသည်။

5 ။ အပူစီးကူးခြင်းနှင့်အပူစီးကူးခြင်း

Silicon Nitride ကြွေထည်များသည်အပူစီးဆင်းမှုမြင့်မားမှုရှိပြီးစက်ပစ္စည်းမှနေရောင်ခြည်စွမ်းအင်သုံးအပူကိုထိရောက်စွာလုပ်ဆောင်နိုင်ပြီးစက်ပစ္စည်း၏အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကိုဆက်လက်ထိန်းသိမ်းထားရန်ကူညီနိုင်သည်။ ၎င်းသည် semiconductor device များ၏စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောလည်ပတ်မှုအတွက်အရေးပါသည်။

1 ။ electrostatic chucks နှင့် chamber အစိတ်အပိုင်းများ

ဆီလီကွန်နိုက်ထရစ်ကြွေထည်များကိုလျှပ်စစ်စွမ်းအားသန့်စင်ခြင်းနှင့်အပူချိန်မြင့်မားခြင်းကြောင့်စူပါမီကော်ဒေးထုတ်လုပ်မှုတွင်လျှပ်စစ်ဓာတ်အားဖြည့်တင်းခြင်းနှင့် lecemrostor ထုတ်လုပ်မှုအတွက်ပစ္စည်းအဖြစ်အသုံးပြုလေ့ရှိသည်။ လျှပ်စစ်ဓာတ်အားဖြည့်တင်းမှုများသည်အုတ်မြစ်သို့မဟုတ်အလွှာများကိုတည်ငြိမ်စေရန်နှင့်အလွှာများကိုတည်ငြိမ်စေရန်အသုံးပြုသည်။

2 ။ ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးပြားများနှင့်ရောင်ပြန်

Silicon Nitride ကြွေထည်များကိုဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့်ရောင်ပြန်ဟပ်များရှိ Semiconductor ပစ္စည်းကိရိယာများထုတ်လုပ်ရာတွင်လည်းအသုံးပြုသည်။ ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုပြားများသည်တုန့်ပြန်မှုသို့မဟုတ်အကာအကွယ်ပေးထားသောဓာတ်ငွေ့များကိုတုန့်ပြန်ထားသည့်ဓာတ်ငွေ့များကိုတုန့်ပြန်ခြင်းသို့မဟုတ်အကာအကွယ်ပေးသည့်ဓာတ်ငွေ့များကိုတုန့်ပြန်ဖြန့်ဝေရန်အသုံးပြုသည်။

3 ။ ကိုင်ဆောင်သူများနှင့်အပူအစိတ်အပိုင်းများ

ဆီလီကွန်နိုက်ထရစ်ကြွေထည်များကို semiconductor ထုတ်လုပ်သည့်ပစ္စည်းကိရိယာများတွင်ကိုင်ဆောင်သူများနှင့်အပူစီမံခန့်ခွဲမှုအစိတ်အပိုင်းများအဖြစ်မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိသည်။ ဤရွေ့ကားအစိတ်အပိုင်းများမှာကောင်းမွန်တဲ့စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအစွမ်းသတ္တိရှိပြီးတည်ငြိမ်မှုနှင့်အပူလုပ်ငန်းများအတွက်တိကျမှန်ကန်မှုကိုသေချာစေရန်ခုခံခြင်းနှင့်အပူစီးကူးခြင်းတို့လိုအပ်သည်။

4 ။ ဓာတုစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ polishing (cmp) pads

Silicon Nitride ကြွေထည်သည်ဓာတုဗေဒင်သီးနှံများ (CMP) ဖြစ်စဉ်တွင် PAD ပစ္စည်းအဖြစ်ကျယ်ပြန့်စွာအသုံးပြုသည်။ ၎င်းသည်အလွန်ကောင်းမွန်သောပြားချပ်ချပ်များရှိပြီးခံနိုင်ရည်ရှိရန်နှင့် Semiconductor Wafer မျက်နှာပြင်၏ရင်ပြင်နှင့်တိကျသောသေချာစေရန် polishing ဖြစ်စဉ်တွင်တည်ငြိမ်သောအထောက်အပံ့ပေးနိုင်သည်။