ဝဘ်မီနူး

ထုတ်ကုန်ရှာဖွေမှု

ဘာသာစကား

သတင်း
ထုတ်ကုန်များ

တည်ငြိမ်သော Epitaxy ရလဒ်များအတွက် ASM Essential အတွက် SiC coated graphite susceptor ကို အဘယ်အရာက ဖြစ်စေသနည်း။

2026-05-11 0 ငါ့ကို မက်ဆေ့ချ် ထားခဲ့ပါ။

ဆောင်းပါးအကျဉ်းချုပ်

A ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorepitaxy စနစ်အတွင်းရှိ အစားထိုးအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုမျှသာ မဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် အပူပိုင်းတူညီမှု၊ wafer သန့်ရှင်းမှု၊ အပေါ်ယံပိုင်း တာရှည်ခံမှု၊ အခန်းတွင်း တည်ငြိမ်မှုနှင့် ရေရှည်ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်တို့ကို လွှမ်းမိုးသည့် လုပ်ငန်းစဉ်-အရေးပါသော သယ်ဆောင်သူဖြစ်သည်။ ASM epitaxial ကိရိယာများနှင့်အလုပ်လုပ်သောအင်ဂျင်နီယာများနှင့် ၀ ယ် ၀ ယ်အဖွဲ့များအတွက်၊ စစ်မှန်သောစိန်ခေါ်မှုသည်ဆင်တူသော susceptor ကိုရှာဖွေခြင်းနှင့်ပတ်သက်ပြီးရှားပါးသည်။ ပိုမိုခက်ခဲသောမေးခွန်းမှာ susceptor သည် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်စွာနေနိုင်သည်၊ အဆိပ်သင့်သောဓာတ်ငွေ့များကိုခုခံနိုင်သည်၊ အမှုန်အန္တရာယ်ကိုထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး၊ အပူချိန်မြင့်သောစက်ဝန်းများတောင်းဆိုနေသည့်အချိန်များတွင် ထပ်ခါတလဲလဲနိုင်သော wafer စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်မလား။

ဤဆောင်းပါးသည် ဝယ်သူများအကဲဖြတ်နိုင်ပုံကို ရှင်းပြထားသည်။ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorလက်တွေ့ထုတ်လုပ်မှု ရှုထောင့်မှ ၎င်းသည် အပေါ်ယံအခွံခွာခြင်း၊ ညစ်ညမ်းခြင်း၊ အပူပျံ့ခြင်း၊ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းတိုခြင်း၊ အတိုင်းအတာမတူညီခြင်းနှင့် မတည်ငြိမ်သော လုပ်ငန်းစဉ်အထွက်များကဲ့သို့သော နာကျင်မှုအချက်များ ပါဝင်သည်။ မဝယ်ယူမီ စစ်ဆေးရမည့်အရာ၊ နည်းပညာဆိုင်ရာ သတ်မှတ်ချက်များကို နှိုင်းယှဉ်နည်းနှင့် SiC၊ GaN၊ ဆီလီကွန်အခြေခံ၊ RF နှင့် ပါဝါစက်ပစ္စည်း epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အစိတ်အပိုင်းကို အသုံးပြုသည့်အခါ ယုံကြည်စိတ်ချရသော ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်တစ်ဦးသည် အဘယ်ကြောင့် အရေးကြီးကြောင်း ဆွေးနွေးသည်။

မာတိကာ

ဆောင်းပါးကောက်ကြောင်း

  1. တစ်ဦး၏အခန်းကဏ္ဍကိုနားလည်ပါ။ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorမြင့်မားသောအပူချိန် epitaxy တွင်။
  2. ညစ်ညမ်းမှု၊ အပေါ်ယံပိုင်း ချို့ယွင်းမှု၊ အပူမတည်ငြိမ်မှု၊ နှင့် စက်ရပ်ချိန်တို့ အပါအဝင် ဝယ်သူ၏ နာကျင်မှုကို ခွဲခြားသတ်မှတ်ပါ။
  3. သန့်စင်မြင့်ဂရပ်ဖိုက်နှင့် သိပ်သည်းသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာအပါအဝင် ပစ္စည်းဖွဲ့စည်းပုံကို ပြန်လည်သုံးသပ်ပါ။
  4. အပေါ်ယံအထူ၊ မျက်နှာပြင်အချောထည်၊ အတိုင်းအတာတိကျမှုနှင့် စစ်ဆေးရေးစံနှုန်းများကဲ့သို့သော နည်းပညာဆိုင်ရာအချက်များအား နှိုင်းယှဉ်ပါ။
  5. Susceptor အရည်အသွေးကို wafer တူညီမှု၊ စက်ကိရိယာများ လိုက်ဖက်ညီမှု၊ ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းတို့နှင့် ချိတ်ဆက်ပါ။
  6. အင်ဂျင်နီယာများနှင့် ဝယ်ယူရေးအဖွဲ့များအတွက် လက်တွေ့ကျသော ပေးသွင်းသူ အကဲဖြတ်ခြင်းစာရင်းကို ပေးဆောင်ပါ။
  7. ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သူများနှင့် စက်ပစ္စည်းပြုပြင်ထိန်းသိမ်းရေးအဖွဲ့များမှ ဘုံမေးခွန်းများကို ဖြေဆိုပါ။

ASM Epitaxy စက်ပစ္စည်းတွင် ဤအစိတ်အပိုင်းသည် အဘယ်ကြောင့်အရေးကြီးသနည်း။

SiC coated graphite susceptor for ASM

epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ susceptor သည် wafer ကိုနေရာ၌ကိုင်ထားသည်ထက်ပိုမိုလုပ်ဆောင်သည်။ ၎င်းသည် wafer၊ အပူစက်ကွင်း၊ ဓာတ်ပြုသောဓာတ်ငွေ့ပတ်ဝန်းကျင်နှင့် စက်ပစ္စည်းပလပ်ဖောင်းကြားရှိ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာကြားခံအဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။ တစ်ချိန်မှာASM အတွက် SiC coated graphite susceptorကောင်းစွာလုပ်ဆောင်သည်၊ wafer သည် ပိုမိုတည်ငြိမ်သောအပူလွှဲပြောင်းမှုကိုရရှိသည်၊ အခန်းပတ်ဝန်းကျင်သည် ပိုမိုသန့်ရှင်းနေမည်ဖြစ်ပြီး လုပ်ငန်းစဉ်သည် အနှောင့်အယှက်အနည်းငယ်ဖြင့် လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။

ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများစွာတွင်၊ အင်ဂျင်နီယာများသည် susceptor ပြဿနာများကို သွယ်ဝိုက်၍ပင် သတိပြုမိလာသည်။ ပထမနိမိတ်သည် သိသိသာသာ ပျက်စီးနေသည့် အစိတ်အပိုင်း မဟုတ်ပေ။ ၎င်းသည် wafer-to-wafer ကွဲလွဲမှု၊ ပုံမှန်မဟုတ်သော အမှုန်အမွှားများ၊ လွင့်မျောနေသော ဖလင်အထူ၊ ခံနိုင်ရည်ကွဲလွဲမှု သို့မဟုတ် မျှော်လင့်ထားသည်ထက် ပိုတိုသော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု စက်ဝန်းအဖြစ် ပေါ်လာနိုင်သည်။ အစိတ်အပိုင်းသည် သိသိသာသာကွဲအက်ခြင်း၊ အခွံခွာခြင်း သို့မဟုတ် မျက်နှာပြင်တိုက်စားမှုကို ပြသသည့်အခါ၊ လုပ်ငန်းစဉ်သည် ထပ်ခါတလဲလဲ မတည်မငြိမ်ဖြစ်နေပြီဖြစ်သည်။

ထို့ကြောင့် ဝယ်ယူမှုဆုံးဖြတ်ချက်သည် စျေးနှုန်း သို့မဟုတ် အမြင်တူခြင်းအပေါ်သာ အာရုံစိုက်သင့်သည်။ အရည်အချင်းပြည့်မီသူASM အတွက် SiC coated graphite susceptorASM စက်ပစ္စည်းဖွဲ့စည်းပုံနှင့်ကိုက်ညီရမည်၊ ထပ်ခါတလဲလဲအပူစက်ဘီးစီးခြင်းရှင်သန်ရန်၊ လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များကိုခုခံရန်နှင့်တောင်းဆိုနေသော epitaxial အခြေအနေများအောက်တွင်သန့်ရှင်းသောမျက်နှာပြင်ကိုထိန်းသိမ်းထားရပါမည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက်၊ စက်ရပ်ခြင်းကို ဖြစ်စေသော ကုန်ကျစရိတ်နည်းသော အစိတ်အပိုင်းသည် အဆုံးတွင် ကုန်ကျစရိတ်နည်းပါးသည်။

အဓိကဝယ်သူစိုးရိမ်မှု

susceptor ၏အစစ်အမှန်တန်ဖိုးကို ပုံပန်းသဏ္ဍာန်တစ်ခုတည်းတင်မဟုတ်ဘဲ ထုတ်လုပ်မှုတည်ငြိမ်မှု၊ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း၊ ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်ရေးနှင့် ကိုက်ညီမှုရှိမရှိဖြင့် တိုင်းတာသည်။

ဝယ်သူများသည် သာမန် Susceptors များနှင့် ကြုံတွေ့ရလေ့ရှိသော ပြဿနာများ။

ဝယ်သူအများအပြားသည် ထုတ်လုပ်မှုပြဿနာကို ကြုံတွေ့ပြီးမှသာ ပေးသွင်းသူများထံ ဆက်သွယ်ကြသည်။ ၎င်းတို့၏ယခင် susceptor သည် အစပိုင်းတွင် လက်ခံနိုင်ဖွယ်ရှိသည်ဟု ထင်ရသော်လည်း အပူနှင့် အအေးပေးသည့် သံသရာများစွာပြီးနောက် မအောင်မြင်ပါ။ အဖြစ်များဆုံး ပြဿနာများသည် အပေါ်ယံအရည်အသွေး၊ ဂရပ်ဖိုက် သန့်ရှင်းမှု၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တိကျမှု၊ သို့မဟုတ် ဖောက်သည်၏ လုပ်ငန်းစဉ် ပတ်ဝန်းကျင်ကို နားလည်မှု မလုံလောက်ခြင်းနှင့် ဆက်စပ်နေပါသည်။

အရည်အသွေးညံ့ဖျင်းသော စုပ်ယူကိရိယာသည် ကွင်းဆက်တုံ့ပြန်မှုကို ဖန်တီးနိုင်သည်။ အပေါ်ယံအလုံအလောက်မသိပ်သည်းပါက အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များသည် ဂရပ်ဖိုက်အခြေစိုက်စခန်းကို တိုက်ခိုက်နိုင်သည်။ အပေါ်ယံ ကပ်ငြိမှု အားနည်းပါက၊ အပူစက်ဘီးစီးခြင်းသည် microcracks သို့မဟုတ် peeling ကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ အတိုင်းအတာများကို ကောင်းစွာမထိန်းချုပ်ပါက၊ အစိတ်အပိုင်းသည် ကိရိယာထဲတွင် မှန်ကန်စွာမထိုင်နိုင်ပါ။ မျက်နှာပြင် မျက်နှာပြင်သည် ကြမ်းတမ်းလွန်းသည် သို့မဟုတ် မညီညာပါက၊ လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း အမှုန်အမွှားအန္တရာယ်များ တိုးလာနိုင်သည်။

  • အမှုန်အမွှားညစ်ညမ်းမှု-လျော့ရဲသောအပေါ်ယံပိုင်း၊ မျက်နှာပြင်ချွတ်ယွင်းချက်များ သို့မဟုတ် ထိတွေ့ထားသော ဂရပ်ဖိုက်များသည် အခန်းထဲသို့ မလိုလားအပ်သော အမှုန်အမွှားများကို ထည့်သွင်းပေးနိုင်ပါသည်။
  • တိုတောင်းသောဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း-အားနည်းသော coating adhesion သည် အရွယ်မတိုင်မီ ကွဲအက်ခြင်း၊ အခွံခွာခြင်း သို့မဟုတ် သံချေးတက်ခြင်းတို့ကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။
  • အပူဓာတ် တူညီမှုမရှိခြင်း-ညံ့ဖျင်းသော ပစ္စည်း၏ ညီညွတ်မှု သို့မဟုတ် တိကျသော ဂျီသြမေတြီသည် wafer တစ်လျှောက် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို နှောင့်ယှက်နိုင်သည်။
  • စက်ပစ္စည်းမတူညီမှု-အသေးစား သေးငယ်သော အမှားအယွင်းများသည် တပ်ဆင်ရန် အခက်အခဲ သို့မဟုတ် မတည်မငြိမ် wafer ပံ့ပိုးမှုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။
  • မမျှော်လင့်ထားသော စက်ရပ်ချိန်-မကြာခဏ အစားထိုးခြင်းသည် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု ဖိအားကို တိုးစေပြီး စက်ပစ္စည်း ရရှိနိုင်မှုကို လျော့နည်းစေသည်။
  • မရှင်းလင်းသော ပေးသွင်းသူ ဆက်သွယ်မှု-အချို့သော ပေးသွင်းသူများသည် လုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများ၊ wafer အရွယ်အစား၊ စက်ကိရိယာပုံစံ သို့မဟုတ် အပေါ်ယံပိုင်းလိုအပ်ချက်များအကြောင်း လုံလောက်စွာမတောင်းဆိုဘဲ အထွေထွေထုတ်ကုန်ကို ရောင်းချကြသည်။

ရွေးချယ်တဲ့အခါASM အတွက် SiC coated graphite susceptorအမိန့်မချမီ ဤနာကျင်စရာအချက်များကို ဆွေးနွေးသင့်သည်။ လေးနက်သော ပေးသွင်းသူတစ်ဦးသည် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှု၊ ဖုံးအုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၊ စစ်ဆေးရေးနည်းလမ်းများနှင့် ဖောက်သည်၏အစစ်အမှန်ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်နှင့် ကိုက်ညီသည့်နည်းလမ်းဖြင့် စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်မှုများအကြောင်း ပြောဆိုနိုင်ရပါမည်။

ယုံကြည်စိတ်ချရသော SiC Coated Graphite Susceptor ကို မည်သည့်အရာဖြင့် ပြုလုပ်သင့်သနည်း။

အားကိုးတကြီးASM အတွက် SiC coated graphite susceptorများသောအားဖြင့် သန့်ရှင်းသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာကို သိပ်သည်းသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသည်။ ဂရပ်ဖိုက်အခြေစိုက်စခန်းသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ၊ အပူပိုင်းစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ ပံ့ပိုးမှုတို့ကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် ဂရပ်ဖိုက်မျက်နှာပြင်ကို အပူချိန်မြင့်မားသော ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။

ဂရပ်ဖိုက်သည် အားလုံးတူညီသောကြောင့် အခြေခံပစ္စည်းသည် အရေးကြီးသည်။ semiconductor-grade susceptor သည် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ တည်ငြိမ်သိပ်သည်းမှု၊ ကောင်းမွန်သောဖွဲ့စည်းပုံနှင့် တသမတ်တည်းရှိသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအမူအကျင့်များ လိုအပ်ပါသည်။ ဂရပ်ဖိုက်တွင် အညစ်အကြေးများ အလွန်အကျွံပါဝင်နေပါက သို့မဟုတ် အတွင်းပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံ မညီညာပါက၊ ၎င်းသည် အပေါ်ယံအရည်အသွေးနှင့် ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုကို ထိခိုက်စေနိုင်သည်။

coating သည် ထပ်တူအရေးကြီးပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့် SiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် သိပ်သည်း၊ စဉ်ဆက်မပြတ်၊ ကောင်းမွန်စွာ ချည်နှောင်ထားပြီး ထပ်ခါတလဲလဲ အပူစက်ဘီးစီးခြင်းအတွက် သင့်လျော်သင့်သည်။ လက်တွေ့အသုံးပြုရာတွင်၊ အပေါ်ယံလွှာသည် ပြင်းထန်သောဖြစ်စဉ်ဓာတ်ငွေ့များမှ တိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး wafer ပတ်ဝန်းကျင်သို့ အမှုန်များဝင်ရောက်နိုင်ခြေကို လျှော့ချပေးရပါမည်။ အပေါ်ယံမျက်နှာပြင်ကိုလည်း ဂရုတစိုက်ထိန်းချုပ်ရန်လိုသည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုနှင့် ဒေသဆိုင်ရာချို့ယွင်းချက်များသည် သန့်ရှင်းမှုနှင့် ထပ်တလဲလဲဖြစ်နိုင်မှုကို လွှမ်းမိုးနိုင်သောကြောင့် ဖြစ်သည်။

WuYi TianYao Advanced Material Tech.Co.,Ltd.ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဖောက်သည်များသည် ပုံသဏ္ဍာန်ဂရပ်ဖိုက်အပိုင်းကို ဝယ်ယူရုံသာမဟုတ်ကြောင်း နားလည်သည်။ ၎င်းတို့သည် ပိုမိုသန့်ရှင်းသော epitaxial ကြီးထွားမှု၊ ပိုမိုခန့်မှန်းနိုင်သော လုပ်ငန်းစဉ်ရလဒ်များနှင့် ပိုမိုကြာရှည်သော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကြားကာလများကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်သည့် ထိန်းချုပ်ထားသော ပစ္စည်းဖြေရှင်းချက်ကို ရှာဖွေနေပါသည်။

မှာယူခြင်းမပြုမီ မည်သည့်နည်းပညာဆိုင်ရာအချက်များအား နှိုင်းယှဉ်သင့်သနည်း။

မဝယ်ခင်၊ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorဝယ်ယူသူများသည် ကုန်ပစ္စည်းအမည်နှင့် ဈေးနှုန်းထက် ပိုနှိုင်းယှဉ်သင့်သည်။ အောက်ဖော်ပြပါဇယားသည် ပေးသွင်းသူအကဲဖြတ်မှုတွင် အများအားဖြင့် အရေးအကြီးဆုံးအချက်များအကြောင်း လက်တွေ့ကျသောအမြင်ကိုပေးသည်။

အကဲဖြတ်အချက် ဘာကြောင့် အရေးကြီးတာလဲ။ ဝယ်သူများမေးသင့်သည်များ
ASM စက်ပစ္စည်းများနှင့် ကိုက်ညီမှုရှိသည်။ susceptor သည် တပ်ဆင်မှုအနေအထား၊ wafer ပံ့ပိုးမှုဖွဲ့စည်းပုံ၊ အပေါက်ဒီဇိုင်းနှင့် စက်ပစ္စည်းမျက်နှာပြင်နှင့် ကိုက်ညီရပါမည်။ ပေးသွင်းသူသည် ပုံများ၊ နမူနာများ၊ သို့မဟုတ် ကိရိယာလိုအပ်ချက်များနှင့်အညီ အတိုင်းအတာများကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသလား။
Graphite substrate သန့်ရှင်းမှု High-purity graphite သည် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးပြီး တည်ငြိမ်သော coating ဖွဲ့စည်းမှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ ဘယ်ဂရပ်ဖိုက်အဆင့်ကို အသုံးပြုပြီး ပစ္စည်းရဲ့ ညီညွတ်မှုကို ဘယ်လိုထိန်းချုပ်မလဲ။
SiC အပေါ်ယံပိုင်းသိပ်သည်းဆ သိပ်သည်းသောအလွှာသည် ဂရပ်ဖိုက်များကို အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် အပူချိန်မြင့်မားစွာ တိုက်စားခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။ ပေးသွင်းသူသည် အပေါ်ယံအဆက်ပြတ်မှု၊ အပေါက်များနှင့် မျက်နှာပြင်ချို့ယွင်းချက်များကို မည်သို့ထိန်းချုပ်သနည်း။
အပေါ်ယံအထူ သင့်လျော်သောအထူသည် ဂျီသြမေတြီ သို့မဟုတ် အပူစွမ်းဆောင်ရည်ကို မထိခိုက်စေဘဲ တာရှည်ခံမှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်အရ အပေါ်ယံအထူကို ချိန်ညှိနိုင်ပါသလား။
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်း။ ထိန်းချုပ်ထားသော မျက်နှာပြင်အချောထည်သည် အမှုန်အမွှားအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးပြီး သန့်စင်သော wafer လုပ်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ လိုအပ်ချိန်တွင် ပွတ်တိုက်ခြင်း သို့မဟုတ် အပိုမျက်နှာပြင် ကုသမှုကို ရနိုင်ပါသလား။
အပူစက်ဘီးစီးခြင်းကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ အပိုင်းသည် ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် ကျွတ်ခြင်းမရှိဘဲ ထပ်ခါတလဲလဲ အပူပေးခြင်းနှင့် အအေးခံခြင်းကို ခံနိုင်ရမည်။ ပေးသွင်းသူသည် အပူချိန်မြင့်သော epitaxy အပလီကေးရှင်းများနှင့် ပက်သက်၍ အဘယ်အတွေ့အကြုံရှိသနည်း။
စစ်ဆေးရေးလုပ်ငန်းစဉ် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစစ်ဆေးခြင်းသည် အတိုင်းအတာ သို့မဟုတ် အပေါ်ယံပိုင်းချို့ယွင်းချက်များရှိသည့် အစိတ်အပိုင်းများကို လက်ခံရရှိနိုင်ခြေကို လျော့နည်းစေသည်။ အသွင်အပြင်၊ အတိုင်းအတာ၊ အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် နောက်ဆုံးအရည်အသွေးစစ်ဆေးမှုများကို ပို့ဆောင်ခြင်းမပြုမီ လုပ်ဆောင်ခဲ့ပါသလား။

ပရော်ဖက်ရှင်နယ်အကဲဖြတ်မှုတစ်ခုသည် အဆိုပါအချက်များအား လက်တွေ့လုပ်ငန်းစဉ်ပန်းတိုင်များနှင့် ချိတ်ဆက်သင့်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ SiC homoepitaxy ကိုအသုံးပြုသည့်ဖောက်သည်တစ်ဦးသည် အပူချိန်မြင့်မားသောချေးခံနိုင်ရည်နှင့် တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းအပေါ် ပိုမိုအလေးပေးလုပ်ဆောင်နိုင်ပါသည်။ GaN-on-Si ကို အာရုံစိုက်သော ဖောက်သည်သည် အပူပိုင်းညီညွတ်မှုနှင့် အမှုန်အမွှားထိန်းချုပ်မှုတို့ကို နက်ရှိုင်းစွာ ဂရုစိုက်ပေမည်။ မှန်တယ်။ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorcatalog wording တင်မကဘဲ process reality အရ ရွေးချယ်သင့်ပါတယ်။

၎င်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုနှင့် Wafer အရည်အသွေးကို မည်သို့တိုးတက်စေသနည်း။

Epitaxy သည် သေးငယ်သောပြောင်းလဲမှုများအတွက် အာရုံခံစားနိုင်သည် ။ အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှု၊ ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု၊ မျက်နှာပြင်အခြေအနေ၊ wafer ထိုင်ခုံနှင့် အခန်းသန့်ရှင်းမှုသည် နောက်ဆုံးအလွှာအရည်အသွေးကို လွှမ်းမိုးနိုင်သည်။ Aတည်တကျASM အတွက် SiC coated graphite susceptorအင်ဂျင်နီယာများနေ့စဥ်မတိုက်လိုသော ပြောင်းလဲမှုများကို လျှော့ချပေးသည်။

ပထမဦးစွာ အပူပိုင်းတူညီမှုသည် အဓိက စိုးရိမ်စရာဖြစ်သည်။ susceptor တွင်ဖွဲ့စည်းပုံမညီဘဲ၊ စက်ချိန်တိကျမှုညံ့ဖျင်းခြင်း သို့မဟုတ် အပေါ်ယံမညီမညာဖြစ်နေပါက အပူလွှဲပြောင်းမှု မတည်မငြိမ်ဖြစ်လာနိုင်သည်။ ထိုမတည်ငြိမ်မှုသည် wafer တစ်လျှောက် သို့မဟုတ် အသုတ်မှ တစ်သုတ်အထိ ကွဲပြားမှုအဖြစ် ပေါ်လာနိုင်သည်။ ဂရုတစိုက်ထုတ်လုပ်ထားသော susceptor သည် အင်ဂျင်နီယာများအား လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်များကို ပိုမိုယုံကြည်စိတ်ချစွာ ထိန်းသိမ်းနိုင်စေရန် ပိုမိုခန့်မှန်းနိုင်သော အပူစက်ကွင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။

ဒုတိယ၊ အပေါ်ယံပိုင်း သမာဓိရှိမှုသည် သန့်ရှင်းမှုကို တိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။ အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ ထိတွေ့ထားသော ဂရပ်ဖိုက်များ၊ မိုက်ခရိုအက်ကွဲများ၊ အခွံခွာသောနေရာများ၊ သို့မဟုတ် အားနည်းသောအပေါ်ယံပိုင်းဇုန်များသည် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို တိုးမြင့်စေနိုင်သည်။ သိပ်သည်းပြီး ကောင်းမွန်စွာ တွယ်ဆက်ထားသော SiC coating သည် မျက်နှာပြင် ပျက်စီးခြင်းကြောင့် ဖြစ်ရသည့် အမှုန်အမွှားများ ဖြစ်ပေါ်မှုကို လျှော့ချပေးကာ ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံကို ကာကွယ်ပေးသည်။

တတိယ၊ အတိုင်းအတာတိကျမှုသည် ထပ်ခါတလဲလဲနိုင်သော wafer နေရာချထားမှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ wafer သည် မှန်ကန်စွာမထိုင်ပါက သို့မဟုတ် susceptor သည် စက်ကိရိယာမျက်နှာပြင်နှင့် မကိုက်ညီပါက၊ ပစ္စည်းကိုယ်တိုင်က လက်ခံနိုင်သော်လည်း လုပ်ငန်းစဉ်သည် မတည်မငြိမ်ဖြစ်သွားနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့် ASM နှင့်ပတ်သက်သော အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် တိကျသော စက်ကိရိယာနှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံပုံတူပွားမှုသည် အရေးကြီးပါသည်။

နောက်ဆုံးအနေနဲ့၊ တာရှည်ခံမှုက လျှို့ဝှက်ထားတဲ့ ကုန်ကျစရိတ်ကို သက်သာစေပါတယ်။ ကြာရှည်ခံသောအပိုင်းသည် အစားထိုးအကြိမ်ရေ၊ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုအစီအစဉ်ဖိအား၊ အခန်းရပ်နားချိန်နှင့် အရေးပေါ်ဝယ်ယူမှုများကို လျှော့ချနိုင်သည်။ စက်ရုံများစွာအတွက်၊ စျေးအကြီးဆုံး susceptor သည် အမြင့်ဆုံး quotation ရှိသောတစ်ခုမဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် ထုတ်လုပ်စဉ်အတွင်း ပျက်ကွက်ပြီး ကိရိယာကို အော့ဖ်လိုင်းဖြစ်စေရန် တွန်းအားပေးသည့်အရာဖြစ်သည်။

ဝယ်ယူရေးအဖွဲ့များသည် ပေးသွင်းသူများနှင့် မည်သို့အတည်ပြုသင့်သနည်း။

၀ယ်လိုအားအဖွဲ့များသည် မတူညီသော ပေးသွင်းသူများထံမှ အလားတူ ကိုးကားချက်များကို လက်ခံရရှိလေ့ရှိသော်လည်း ကိုးကားမှုတစ်ခုစီ၏နောက်ကွယ်တွင် အမှန်တကယ်တန်ဖိုးသည် အလွန်ကွာခြားနိုင်ပါသည်။ လေးနက်သောပေးသွင်းသူသည် ဝယ်ယူသူအား နည်းပညာဆိုင်ရာဆွေးနွေးမှုမရှိဘဲ စံအပိုင်းတစ်ခုသို့ အလျင်စလိုမလုပ်ဘဲ လျှောက်လွှာအခြေအနေများကို ရှင်းလင်းရန် ကူညီပေးသင့်သည်။

အမိန့်တစ်ခုကို အတည်ပြုခြင်းမပြုမီASM အတွက် SiC coated graphite susceptorဝယ်ယူသူများသည် အောက်ပါအခြေခံအချက်အလက်များကို ပြင်ဆင်သင့်သည်-

  • ASM စက်ကိရိယာ မော်ဒယ် သို့မဟုတ် လိုက်ဖက်ညီသော ပလပ်ဖောင်း အချက်အလက်
  • Wafer အရွယ်အစားနှင့် wafer ပံ့ပိုးမှုလိုအပ်ချက်များ
  • မူရင်းအပိုင်းပုံဆွဲခြင်း၊ နမူနာ သို့မဟုတ် သော့အတိုင်းအတာများ ရရှိနိုင်ပါက
  • လည်ပတ်နေသော အပူချိန်အကွာအဝေးနှင့် ဓာတ်ငွေ့ပတ်ဝန်းကျင်
  • မျှော်လင့်ထားသော အပေါ်ယံအထူ သို့မဟုတ် မျက်နှာပြင် ပြီးစီးမှု လိုအပ်ချက်များ
  • ပွန်းပဲ့ခြင်း၊ အမှုန်အမွှားများ၊ သံချေးတက်ခြင်း သို့မဟုတ် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းတိုခြင်းကဲ့သို့သော လက်ရှိနာကျင်မှုအချက်များ
  • လိုအပ်သော စစ်ဆေးရေးစာရွက်စာတမ်းများ၊ ထုပ်ပိုးမှုမျှော်လင့်ချက်များနှင့် ပေးပို့မှုအချိန်ဇယား

ဤအသေးစိတ်အချက်များသည် ဝယ်သူသည် စံအစားထိုးမှု၊ စိတ်ကြိုက်ဂျီသြမေတြီ၊ တိကျသောအပေါ်ယံပိုင်းအထူ သို့မဟုတ် ပိုမိုလုပ်ဆောင်မှုဆိုင်ရာဖြေရှင်းချက် လိုအပ်သည်ဆိုသည်ကို ပေးသွင်းသူနားလည်စေရန် ကူညီပေးပါသည်။ တန်ဖိုးမြင့် epitaxy စနစ်များအတွက်၊ ဤအစောပိုင်းဆက်သွယ်မှုသည် တန်ဖိုးကြီးသောအမှားများကို တားဆီးနိုင်သည်။

ယုံကြည်စိတ်ချရသော ပေးသွင်းသူတစ်ဦးသည် စက်ပစ္စည်း၏တိကျမှု၊ အပေါ်ယံအရည်အသွေး၊ မျက်နှာပြင်အခြေအနေ၊ ထုပ်ပိုးမှုကာကွယ်မှုနှင့် နောက်ဆုံးစစ်ဆေးခြင်းတို့ကို မည်သို့ထိန်းချုပ်ကြောင်း ရှင်းပြနိုင်သင့်သည်။ ဝယ်သူသည် စက်ရုံသို့ ချက်ချင်းမသွားရောက်နိုင်သောအခါတွင် ရှင်းလင်းသော နည်းပညာဆိုင်ရာ ဆက်သွယ်မှုသည် ပို၍အရေးကြီးလာသည်။

ဤ Susceptor သည် မည်သည့်နေရာတွင် အသုံးများသနည်း။

A ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorမြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ထိန်းချုပ်ထားသောဓာတ်ငွေ့အခြေအနေများအောက်တွင် wafers တည်ငြိမ်သောပံ့ပိုးမှုလိုအပ်သည့် epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်အဓိကအားဖြင့်အသုံးပြုသည်။ သန့်ရှင်းပြီး ထပ်တလဲလဲ ကြီးထွားနိုင်သော ပတ်ဝန်းကျင်ကို တောင်းဆိုသည့် အဆင့်မြင့် semiconductor ပစ္စည်းများနှင့် စက်ပစ္စည်းများအတွက် အထူးသင့်လျော်ပါသည်။

လျှောက်လွှာဧရိယာ ရိုးရိုးထုတ်လုပ်မှု လိုအပ်ချက် Susceptor လိုအပ်ချက်
SiC ပါဝါ ကိရိယာများ ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းအလွှာအတွက် အပူချိန်မြင့်သော epitaxial ကြီးထွားမှု။ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် အပေါ်ယံတည်ငြိမ်မှု။
GaN epitaxy RF၊ ပါဝါနှင့် optoelectronic အပလီကေးရှင်းများတွင် အသုံးပြုသည့် ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကြီးထွားမှုအတွက် ပံ့ပိုးမှု။ သန့်ရှင်းသော မျက်နှာပြင်၊ တည်ငြိမ်သော wafer ပံ့ပိုးမှု၊ နှင့် ထိန်းချုပ်ထားသော အပူအအေး အပြုအမူ။
ဆီလီကွန်အခြေခံ ပါဝါကိရိယာများ အဆင့်မြင့် ပါဝါအစိတ်အပိုင်းများနှင့် ဆက်စပ်စက်ပစ္စည်းဖွဲ့စည်းပုံများအတွက် Epitaxial အလွှာများ။ အတိုင်းအတာ တိကျမှု၊ တူညီသော အပူပေးခြင်းနှင့် အမှုန်အမွှားအန္တရာယ် နည်းပါးသည်။
RF စက်ထုတ်လုပ်ရေး ကြိမ်နှုန်းမြင့် စက်စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် တည်ငြိမ်သော epitaxial အရည်အသွေး။ ထပ်တလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်သော လုပ်ငန်းစဉ်ပံ့ပိုးမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော မျက်နှာပြင်ကာကွယ်မှု။
သုတေသနနှင့် စမ်းသပ်ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု၊ ဟင်းချက်ချက်အတည်ပြုချက်နှင့် အသေးစားအသုတ်ပစ္စည်းစမ်းသပ်ခြင်း။ စိတ်ကြိုက်ပြောင်းလဲနိုင်မှု နှင့် အားကိုးရသော နည်းပညာပံ့ပိုးမှု။

တူညီသောအစိတ်အပိုင်းအမည်သည် မတူညီသောအပလီကေးရှင်းအခြေအနေများတွင် ပေါ်လာနိုင်သော်လည်း အတိအကျလိုအပ်ချက်များသည် တူညီမည်မဟုတ်ပါ။ ပမာဏမြင့်မားသော ထုတ်လုပ်မှုကို လုပ်ဆောင်နေသည့် စက်ရုံသည် တစ်သက်တာနှင့် လိုက်လျောညီထွေရှိမှုကို အများဆုံး အာရုံစိုက်နိုင်သည်။ သုတေသနအဖွဲ့တစ်ခုသည် လိုက်လျောညီထွေရှိသော စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်မှု လိုအပ်နိုင်သည်။ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းရေးအဖွဲ့သည် လျင်မြန်စွာ အစားထိုးခြင်းနှင့် တိကျမှန်ကန်မှုကို ဦးစားပေးလုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ ထို့ကြောင့် ပေးသွင်းသူ ဆက်သွယ်ရေးသည် စစ်မှန်သော လုပ်ငန်းစဉ်ပတ်ဝန်းကျင်ဖြင့် အမြဲစတင်သင့်ပါသည်။

သုံးစွဲသူများသည် နေ့စဉ်လုပ်ငန်းဆောင်တာတွင် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို မည်သို့တိုးချဲ့နိုင်မည်နည်း။

ကောင်းကောင်းလုပ်ထားတယ်။ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorမှန်ကန်စွာ ကိုင်တွယ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း အစိတ်အပိုင်းများသည် ညစ်ညမ်းမှု၊ ထိခိုက်မှု၊ ရုတ်တရက် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများနှင့် မှားယွင်းသော သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများကို အာရုံခံစားနိုင်သည်။ ကောင်းမွန်သော လည်ပတ်မှုအလေ့အထများသည် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးစေပြီး လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကို ကာကွယ်ပေးပါသည်။

  • သန့်ရှင်းသော လက်အိတ်များဖြင့် ကိုင်တွယ်ပါဆီများ၊ ဖုန်မှုန့်များ သို့မဟုတ် အခြားညစ်ညမ်းပစ္စည်းများကို လွှဲပြောင်းပေးနိုင်သော လက်နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့ခြင်းကို ရှောင်ကြဉ်ပါ။
  • စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ထိခိုက်မှုကို ရှောင်ကြဉ်ပါအပေါ်ယံအလွှာသည် မာကျောသော်လည်း ချွန်ထက်သော တိုက်မိခြင်း သို့မဟုတ် မသင့်လျော်သော အစုအပုံလိုက်ခြင်းသည် ဒေသဆိုင်ရာ ပျက်စီးမှုကို ဖြစ်စေနိုင်သေးသည်။
  • မတပ်ဆင်မီ စစ်ဆေးပါ-မြင်နိုင်သော အက်ကွဲခြင်း၊ အခွံခွာခြင်း၊ ကွဲထွက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပုံမှန်မဟုတ်သော မျက်နှာပြင်အမှတ်အသားများကို စစ်ဆေးပါ။
  • အတည်ပြုထားသော သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများကို လိုက်နာပါ-အပေါ်ယံ သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်အတွက် မသင့်လျော်သော ပြင်းထန်သော သန့်ရှင်းရေးအဆင့်များကို မသုံးပါနှင့်။
  • အပူဒဏ်ကို ထိန်းချုပ်ရန်ရုတ်တရက် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများသည် အပေါ်ယံလွှာနှင့် အလွှာမျက်နှာပြင်တွင် ဖိစီးမှုကို တိုးစေနိုင်သည်။
  • ဝန်ဆောင်မှု လည်ပတ်မှု မှတ်တမ်း-အသုံးပြုမှုမှတ်တမ်းကို ခြေရာခံခြင်းက အစားထိုးမည့်အချိန်ကို ခန့်မှန်းစေပြီး အရေးပေါ်စက်ရပ်ချိန်ကို ရှောင်ရှားရန် ကူညီပေးသည်။
  • ဂရုတစိုက်သိမ်းဆည်းပါတပ်ဆင်ခြင်းမပြုမီ မျက်နှာပြင်ပျက်စီးခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် အကာအကွယ်ထုပ်ပိုးခြင်းနှင့် သန့်ရှင်းသောသိုလှောင်မှုအခြေအနေများကို အသုံးပြုပါ။

ပုံမှန်မဟုတ်သော ချို့ယွင်းချက်ပေါ်လာသောအခါ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းရေးအဖွဲ့များသည် ပေးသွင်းသူနှင့် ဆက်သွယ်သင့်သည်။ ပျက်စီးနေသောနေရာများ၊ လုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများ၊ လည်ပတ်မှုမှတ်တမ်းနှင့် သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများ၏ ဓာတ်ပုံများသည် လည်ပတ်မှု၊ အပေါ်ယံရွေးချယ်မှု၊ အခန်းအခြေအနေ သို့မဟုတ် အစိတ်အပိုင်းဒီဇိုင်းနှင့် ဆက်စပ်မှုရှိမရှိ ခွဲခြားသတ်မှတ်ရာတွင် ကူညီပေးနိုင်ပါသည်။

အမြဲမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ

ASM အတွက် SiC coated graphite susceptor ဆိုတာ ဘာလဲ။

၎င်းသည် ASM epitaxial ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံ wafer carrier ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် အပူတည်ငြိမ်မှု၊ ဓာတုဗေဒခံနိုင်ရည်နှင့် သန့်စင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများကို ထိန်းသိမ်းထားရန် ကူညီပေးစဉ်တွင် အပူချိန်မြင့်သော epitaxy အတွင်း wafer များကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။

SiC coating သည် epitaxy တွင် အသုံးဝင်သည် ။

ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာသည် မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ဓာတုတည်ငြိမ်မှုနှင့် ပြင်းထန်သော အပူချိန်မြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ၎င်းသည် ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံကို ကာကွယ်ပေးပြီး မျက်နှာပြင်ပျက်စီးခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချပေးသည်။

အရည်အသွေးညံ့ဖျင်းသော ခံနိုင်ရည်ရှိသော လက္ခဏာများကား အဘယ်နည်း။

အဖြစ်များသောသတိပေးလက္ခဏာများမှာ အပေါ်ယံအခွံခွာခြင်း၊ ကွဲအက်ခြင်း၊ ထိတွေ့ထားသော ဂရပ်ဖိုက်များ၊ အလွန်အကျွံအမှုန်အမွှားများ၊ ပုံမှန်မဟုတ်သော wafer အမှတ်အသားများ၊ မတည်မငြိမ်ဖလင်များ တူညီခြင်း၊ မကြာခဏ အစားထိုးခြင်းနှင့် တပ်ဆင်မှု မကိုက်ညီခြင်းတို့ ပါဝင်သည်။

မတူညီသော ASM စက်ကိရိယာလိုအပ်ချက်များအတွက် susceptor ကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသလား။

ကိစ္စတော်တော်များများမှာ ဟုတ်ပါတယ်။ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်းတွင် သုံးစွဲသူ၏ပုံများ၊ နမူနာများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများပေါ် မူတည်၍ အတိုင်းအတာ၊ အပေါ်ယံအထူ၊ မျက်နှာပြင်ကုသမှု၊ wafer အိတ်ဆောင်ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် မျက်နှာပြင်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ ပါဝင်နိုင်သည်။

ဝယ်ယူသူများသည် ပေးသွင်းသူများကို မည်သို့ နှိုင်းယှဉ်သင့်သနည်း။

ဝယ်ယူသူများသည် ပစ္စည်း၏သန့်ရှင်းမှု၊ အပေါ်ယံအရည်အသွေး၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာတိကျမှု၊ စစ်ဆေးနိုင်စွမ်း၊ အသုံးချမှုအတွေ့အကြုံ၊ ဆက်သွယ်ရေးအရည်အသွေးနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်နာကျင်မှုအချက်များ နားလည်နိုင်စွမ်းတို့ကို နှိုင်းယှဉ်သင့်သည်။

အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ဈေးနှုန်းသည် တစ်ခုတည်းသော အဆုံးအဖြတ်ပေးသည့် အချက်မဟုတ်သင့်ပါ။

အချိန်ကုန်ခြင်း၊ အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းခြင်း၊ အထွက်နှုန်း ဆုံးရှုံးမှု သို့မဟုတ် မကြာခဏ အစားထိုးပါက ကုန်ကျစရိတ်နည်းသော ခံထိန်းကိရိယာသည် စျေးကြီးသည်။ ပိုကောင်းတဲ့မေးခွန်းကတော့ အပိုင်းက အချိန်ကြာလာတာနဲ့အမျှ တည်ငြိမ်တဲ့ထုတ်လုပ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်မှာလား။

quotation မတောင်းဆိုမီ မည်သည့်အချက်အလက်ကို ပေးသင့်သနည်း။

ဝယ်ယူသူများသည် စက်ပစ္စည်းပုံစံ၊ wafer အရွယ်အစား၊ ပုံများ သို့မဟုတ် နမူနာများ၊ လည်ပတ်မှုအပူချိန်၊ လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့ပတ်ဝန်းကျင်၊ အပေါ်ယံပိုင်းမျှော်လင့်ချက်များ၊ အရေအတွက်၊ စစ်ဆေးရေးလိုအပ်ချက်များနှင့် ယခင်အစိတ်အပိုင်းများမှ သိရှိထားသော ချို့ယွင်းမှုပြဿနာများကို ပေးဆောင်ရပါမည်။

Supplier ကို မရွေးချယ်မီ ဝယ်သူများ သတိထားသင့်သည်များ

တစ်ဦးကိုရွေးချယ်ခြင်း။ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorဝယ်ယူသည့်ဆုံးဖြတ်ချက်ကဲ့သို့ နည်းပညာပိုင်းဆိုင်ရာ ဆုံးဖြတ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ မှန်ကန်သောအပိုင်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်စေရန်၊ wafer အရည်အသွေးကိုကာကွယ်ရန်၊ စက်ရပ်ချိန်ကို လျှော့ချရန်နှင့် ပိုမိုခန့်မှန်းနိုင်သော ထုတ်လုပ်မှုအစီအစဉ်များကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။ မှားယွင်းသောအပိုင်းသည် ကနဦးစျေးနှုန်းကွာခြားချက်ထက် များစွာကြီးမားသော လျှို့ဝှက်ဆုံးရှုံးမှုများကို ဖန်တီးနိုင်သည်။

ဝယ်သူများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကို နားလည်နိုင်သော၊ လက်တွေ့ကျသောမေးခွန်းများမေးခြင်း၊ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်းကို ပံ့ပိုးပေးခြင်း၊ အပေါ်ယံအရည်အသွေးကို ထိန်းချုပ်ကာ ပြတ်သားသော နည်းပညာဆိုင်ရာ ဆက်သွယ်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ပေးသွင်းသူတစ်ဦးကို ရှာဖွေသင့်သည်။ အပေါ်ယံပိုင်း ချို့ယွင်းမှု၊ အမှုန်အမွှားပြဿနာများ၊ အပူမတည်ငြိမ်မှု သို့မဟုတ် မကြာခဏ အစားထိုးမှု ကြုံတွေ့နေရသည့် အသင်းများအတွက်၊ ပိုမိုကောင်းမွန်သော အင်ဂျင်ပါဝါ susceptor သည် epitaxy လုပ်ငန်းအသွားအလာအတွင်း အဓိပ္ပါယ်ရှိသော တိုးတက်မှုအချက်ဖြစ်လာနိုင်သည်။

WuYi TianYao Advanced Material Tech.Co.,Ltd. ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအပလီကေးရှင်းများအတွက် အားကိုးထိုက်သော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် အကာအရံဖြေရှင်းနည်းများ လိုအပ်သော သုံးစွဲသူများအတွက် ပစ္စည်းကို အဓိကထား ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အကဲဖြတ်နေရင်၊ASM အတွက် SiC coated graphite susceptorအစားထိုးရွေးချယ်စရာများကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း၊ သို့မဟုတ် ထပ်တလဲလဲလုပ်ဆောင်နေသည့် နာကျင်ကိုက်ခဲမှုများကို ဖြေရှင်းရန် ကြိုးစားခြင်း၊ သင်၏စက်ပစ္စည်းလိုအပ်ချက်များ၊ ပုံဆွဲခြင်း၊ နမူနာများနှင့် ထုတ်လုပ်မှုပန်းတိုင်များကို ဆွေးနွေးရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

တည်ငြိမ်သော၊ သဟဇာတဖြစ်ပြီး လုပ်ငန်းစဉ်-အဆင်သင့်ရှိရန် လိုအပ်ပါသည်။ASM အတွက် SiC coated graphite susceptor? သင်၏လျှောက်လွှာအသေးစိတ်ကို ကျွန်ုပ်တို့အဖွဲ့နှင့် မျှဝေပါ။ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျနည်းပညာဆိုင်ရာ ဆွေးနွေးမှု၊ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်မှု ပံ့ပိုးမှုနှင့် ကိုးကားမှုအကူအညီအတွက်။

အရင် :

အပူချိန်မြင့်သော Semiconductor Processing အတွက် CVD TaC Coating အဖုံးကို အဘယ်အရာက ယုံကြည်နိုင်သနည်း။

နောက်တစ်ခု :

-

ဆက်စပ်သတင်း
ငါ့ကို မက်ဆေ့ချ် ထားခဲ့ပါ။
ထုတ်ကုန်အသစ်များ
veeco mocvd providence
veeco mocvd providenceပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
pecvd graphite လှေ
pecvd graphite လှေပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
Monocrystalline သည် Crucible ဆွဲသည်။
Monocrystalline သည် Crucible ဆွဲသည်။ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော Quartz ရေချိုး
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော Quartz ရေချိုးပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
Pyrolytic Graphite coatite ဒြပ်စင်
Pyrolytic Graphite coatite ဒြပ်စင်ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
SiC Crystal Growth အတွက် Tantalum Carbide (TaC) ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော Porous Graphite
SiC Crystal Growth အတွက် Tantalum Carbide (TaC) ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော Porous Graphiteပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
သတင်းအကြံပြုချက်များ
CVD TAC Coating ဆိုတာဘာလဲ။ - Veteksemi
CVD TAC Coating ဆိုတာဘာလဲ။ - Veteksemiပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
Silicon carbide(SiC) PVT Crystal Growth သည် Tantalum Carbide Coatings(TaC) မပါဘဲ အဘယ်ကြောင့် မလုပ်နိုင်သနည်း။
Silicon carbide(SiC) PVT Crystal Growth သည် Tantalum Carbide Coatings(TaC) မပါဘဲ အဘယ်ကြောင့် မလုပ်နိုင်သနည်း။ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
ဘာကြောင့် SIC ExpitAxial တိုးတက်မှုအတွက်အဓိကအဓိကအကြောင်းအရာကိုအဘယ်ကြောင့်ဖုံးအုပ်ထားသနည်း။
ဘာကြောင့် SIC ExpitAxial တိုးတက်မှုအတွက်အဓိကအဓိကအကြောင်းအရာကိုအဘယ်ကြောင့်ဖုံးအုပ်ထားသနည်း။ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
Quartz Thermos ပုံးကဘာလဲ။
Quartz Thermos ပုံးကဘာလဲ။ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
ကမ္ဘာပေါ်ရှိထိပ်ဆုံး 3 ခုမြောက်ရုပ်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူများ
ကမ္ဘာပေါ်ရှိထိပ်ဆုံး 3 ခုမြောက်ရုပ်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူများပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
SiC နှင့် TaC အပေါ်ယံပိုင်း- အပူချိန်မြင့်မားသော ပါဝါတစ်ပိုင်းလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် Graphite Susceptors အတွက် Ultimate Shield
SiC နှင့် TaC အပေါ်ယံပိုင်း- အပူချိန်မြင့်မားသော ပါဝါတစ်ပိုင်းလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် Graphite Susceptors အတွက် Ultimate Shieldပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >>
X
သင့်အား ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြည့်ရှုမှုအတွေ့အကြုံကို ပေးဆောင်ရန်၊ ဆိုက်အသွားအလာကို ပိုင်းခြားစိတ်ဖြာပြီး အကြောင်းအရာကို ပုဂ္ဂိုလ်ရေးသီးသန့်ပြုလုပ်ရန် ကျွန်ုပ်တို့သည် ကွတ်ကီးများကို အသုံးပြုပါသည်။ ဤဆိုက်ကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ cookies အသုံးပြုမှုကို သင်သဘောတူပါသည်။ ကိုယ်ရေးအချက်အလက်မူဝါဒ
ငြင်းပယ်ပါ။ လက်ခံပါတယ်။