Alumina ကြွေထည် ceramic cowuum chuck

Alumina Ceramic Ceramic Chuck သည် Semiconductor အပြောင်းအလဲနဲ့အတွက် Epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် wafer ကိုင်ဆောင်သူဖြစ်သည်။ ၎င်းသည်ကျယ်ပြန့်သောနေရာများတည်ငြိမ်စေရန်နှင့် epitaxial အလွှာများ၏စည်းစိမ်ဥစ်စာကြီးထွားမှုအတွက်အဓိကကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းကိုကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အဖြစ် Epitaxial ပစ္စည်းကိရိယာများတွင်အသုံးပြုသည်MOCVDနှင့်lpcvd.

Vetek Semiconductor alumina ကြွေထည်သည် Semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှု၏ကြိတ်ဆုံနှင့်ကြိတ်ဆုံနှင့်ကြိတ်ဆုံပူများ၌အရေးပါသောအခန်းကဏ် plays မှပါ 0 င်သည်။ ဤရွေ့ကားအဆင့်များတိတိကျကျ၏အထူလျှော့ချခြင်းပါဝင်သည်wafer အလွှာsemiconductor device များ၏ထိရောက်မှုနှင့်ဘဝကိုတိုးတက်စေရန်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောချစ်ပ်အပူလွန်ကျူးခြင်းကိုမြှင့်တင်ရန်။

မျိုးစုံ wafer အရွယ်အစားနှင့်သဟဇာတVetek Semiconductor alumina ကြွေထည်သည်ကျယ်ပြန့်သော Vacna CHUCK ကို 3, 4, 4, 6, 6, 8, 8 လက်မအပါအ 0 င် Wafer အရွယ်အစားအမျိုးမျိုးကိုထောက်ပံ့ရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ ဤအလိုက်အလိုက်လိုက်လျောညီထွေလာနိုင်မှုသည်၎င်းကိုမတူကွဲပြားသော 0 တ်စုံအရွယ်အစားများအပေါ်တသမတ်တည်းနှင့်ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်အမျိုးမျိုးအတွက်သင့်လျော်သည်။

သာလွန်ပစ္စည်းများဖွဲ့စည်းမှု: Alumina ကြွေထည် ceramic cowuck chuck ၏အောက်ခြေကို Ultra-Cerren 99.9999% Alumina (al) ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်₂O₃) ဓာတုလက်နက်တိုက်ခိုက်မှုနှင့်အပူတည်ငြိမ်မှုကိုအလွန်ကောင်းမွန်သောခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ အဆိုပါ Chuck မျက်နှာပြင်ကိုစိမ်၏လုပ်ဖြစ်ပါတယ်ဆီလီကွန်ကာလက် (SIC)။ အဆိုပါ poroous ကြွေထည်ပစ္စည်းတွင်သိပ်သည်းမှုနှင့်ယူနီဖောင်းဖွဲ့စည်းပုံရှိသည်။ ၎င်းသည်၎င်း၏ကြာရှည်ခံမှုနှင့်စွမ်းဆောင်ရည်ကိုတိုးတက်စေသည်။

အကျိုးကျေးဇူးများporous ကြွေနည်းပညာ：

ပစ္စည်းသန့်ရှင်းရေးနှင့်ကြာရှည်ခံမှု- 99.99% စင်ခတ်သန့်စင်စင်ကြယ်သော Alumina Ceramina, ကျွန်ုပ်တို့၏ Alumina Ceramic Cowuck သည်ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာတိုက်ခိုက်မှုကိုခုခံတွန်းလှန်နိုင်ပြီးအလွန်ကောင်းမွန်သောအပူထုတ်လုပ်မှုအတွက်အကောင်းဆုံးဖြစ်စေသည်။

အကောင်းဆုံး porosity နှင့်လေ permeability: အညီအမျှဖြန့်ဝေထားသောမိုက်ကယ်ဖျက်သိုလှောင်ရုံများသည်အလွန်ကောင်းမွန်သောလေကြောင်း permeability နှင့် Uniforning Advection Force ကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။

တိုးမြှင့်ပြားနှင့်အပြိုင်တိုးမြှင့်: မိုက်ခရိုဆန်ဒီအယ်လ်နာနာကြွေထည် cowuce လေဟာနယ် Chuck သည်အလွန်ကောင်းမွန်သောပျော့ပျောင်းသောကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန်အလွန်ကောင်းမွန်သောအပြိုင်နှင့်အပြိုင်ရှိသည်။

စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုစွမ်းရည်: Veteksemi သည် 3 မီလီမီတာမှ 10 မီလီမီတာအထိအထူနှင့်အတူပတ်ပတ်လည်, စတုရန်း, ဤစိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်းသည်ကျွန်ုပ်တို့၏ Alumina ကြွေထည် cowucic chuck သည်မတူညီသော semiconductor ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များ၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်ရန်နှင့်သင်၏စံပြရွေးချယ်မှုသည်သေချာသည်။

Vetek Semiconductor သည် Semiconductor Industry အတွက်အဆင့်မြင့်နည်းပညာနှင့်ထုတ်ကုန်ဖြေရှင်းနည်းများကိုထောက်ပံ့ရန်ကတိက 0 တ်ပြုထားသည်။

အပေြာင်း၏ဓာတုပုံသေနည်းAlumina ကြွေထည်：

က semiconductorAlumina ကြွေထည် cowuum chuck စျေးဆိုင်: