porus sic ကြွေထည် chucks

Veteksemicon မှပေးသော porous ser cramic ceramic cramic chucks ကိုသန့်ရှင်းသော silicon carbide (SIC Carbide) မှပြုလုပ်သည်။ အဆက်အသွယ်မဟုတ်သော, အမှုန်ကင်းစင်ကိုင်တွယ်ခြင်းသည်အလွန်အရေးကြီးသည်။

ⅰ။ အဓိကပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများနှင့်စွမ်းဆောင်ရည်အကျိုးကျေးဇူးများ

1 ။ အလွန်အစွမ်းထက်တဲ့အပူဓာတ်ပြုခြင်းနှင့်အပူချိန်ခုခံ

ဆီလီကွန်ကာလက်သည်မြင့်မားသောအပူစီးကူးခြင်း (120-200 W / M / M / M / M / M / Most) ကိုခံနိုင်ရည်ရှိပြီး 1600 ဒီဂရီ C ရောင်ခြည်,

အခန်းကဏ်:: ယူနီဖောင်းအပူဖြန့်ဖြူးမှုကိုသေချာစေရန်, Wafer Warpage ကိုလျှော့ချခြင်း,

2

SIC ၏သိပ်သည်းခြင်းဆိုင်ရာမိုက်ခရိုဒွန်ရေးဆွဲခြင်းသည် Chuck Monelical Hardness (> 2000 HV) နှင့်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြာရှည်ခံမှုများကိုပေးသည်။

အခန်းကဏ်:: ရှုထောင်တည်ငြိမ်မှုနှင့်မျက်နှာပြင်တိကျမှုကိုထိန်းသိမ်းထားစဉ် Chuck ၏သက်တမ်းကိုကြာရှည်စွာတာ 0 န်ရှိသည်။

3 ။ ယူနီဖောင်းဖုန်စုပ်ဖြန့်ဖြူးမှုအတွက်ထိန်းချုပ်ထားသော porosity

ကြွေထည်၏အစကတည်းကညှိနှိုင်းထားသော poramic ဖွဲ့စည်းပုံသည်သေးငယ်သောအမှုန်ညစ်ညမ်းမှုနှင့်အတူလုံခြုံသောညစ်ညမ်းမှုနှင့်အတူလုံခြုံသောနေရာချထားရေးကိုဖုံးအုပ်ထားသည့်မျက်နှာပြင်ကို ဖြတ်. မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိဓာတ်လှေကားစုပ်ယူမှုကိုပြုလုပ်နိုင်သည်။

အခန်းကဏ်: - သန့်ရှင်းရေးရာသွယ်ဝိုက်မှုကိုတိုးမြှင့်ပေးပြီးပျက်စီးယိုယွင်းနေသောအခမဲ့ဖြစ်သည်။

4 ။ အလွန်ကောင်းမွန်တဲ့ဓာတုခုခံ

CIC's corertness သည်ဓာတ်ငွေ့များနှင့်ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်ရှိဓာတ်အားပေးစက်ရုံများနှင့်ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်ကိုကာကွယ်ရန် chuck ကို degradation မှကာကွယ်ပေးသည်။

အခန်းကဏ်: - အချိန်အကြာင်းနှင့်သန့်ရှင်းရေးကြိမ်နှုန်းကိုလျှော့ချပါ,

ⅱ။ Veteksemicon ၏စိတ်ကြိုက်နှင့်ပံ့ပိုးမှု 0 န်ဆောင်မှုများ

Veteksemicon တွင်ကျွန်ုပ်တို့သည် Semiconductor ထုတ်လုပ်သူများ၏တောင်းဆိုချက်များကိုအတိအကျဖြည့်ဆည်းရန်အပြည့်စုံ 0 န်ဆောင်မှုများ၏ရောင်စဉ်ကိုကျွန်ုပ်တို့ပေးသည်။

●စိတ်တိုင်းကျဂျီသွမေတြီနှင့်အထွေထွေအရွယ်အစားဒီဇိုင်းဖြေ - သင့်ရဲ့ပစ္စည်းကိရိယာများသတ်မှတ်ချက်များနှင့်လေဟာနယ်လိုအပ်ချက်များအတွက်စိတ်ကြိုက်အရွယ်အစားအမျိုးမျိုး,

●လျင်မြန်သော turnaround ရှေ့ပြေးပုံစံ: R & D နှင့်ရှေ့ပြေးလိုင်းများအတွက်တိုတောင်းသောအချိန်များနှင့် MOQ ထုတ်လုပ်ခြင်းအထောက်အပံ့။

●အရောင်းအ 0 ယ်ဆောင်ရန်ယုံကြည်စိတ်ချရသောဖြေ - LifeCycle စောင့်ကြည့်လေ့လာရေးလမ်းညွှန်ချက်မှာရေရှည်စွမ်းဆောင်ရည်တည်ငြိမ်မှုနှင့်နည်းပညာအထောက်အပံ့များကိုကျွန်ုပ်တို့အာမခံထားသည်။

ⅲ။ လျှောက်လွှာများ

●● acting and plasma processing ပစ္စည်းကိရိယာများ

●အင်း ion implantation နှင့် annealing အခန်းများ

● Chenitical Schoicalical Polishing (CMP) စနစ်များ

● Metrology နှင့်စစ်ဆေးရေးပလက်ဖောင်းများ

●သန့်ရှင်းခန်းဝန်းကျင်ရှိလေဟာနယ်ကိုင်ဆောင်ခြင်းနှင့် clamping စနစ်များ

Vekekemeicon ထုတ်ကုန်များဆိုင်ခန်း -