Ceramic Electrostatic Chuck

Semiconductor Production Processing, အထူးသဖြင့် Wafer processing processing ကိုလေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ပြုလုပ်သည်, 

အချို့သောအန္တရာယ်များ။ Clamping Point တွင်အင်အားစုများကိုအာရုံစိုက်သည့်အခါရလွယ်သော silicon wafers များသည်သေးငယ်သောအပိုင်းအစများကိုသွန်းလောင်းနိုင်ပြီး Wafer ထုတ်လုပ်မှုကိုအကြီးအကျယ်ပျက်စီးစေနိုင်သည်။

ဤကိစ္စတွင် Ceramic Electrostatic Chuck သည်ပိုမိုကောင်းမွန်သောရွေးချယ်မှုဖြစ်လာသည်။ Electrostatic Force သည် Wafer ပေါ်တွင်အညီအမျှလုပ်သည်။

သက်ဆိုင်ရာသုတေသနစာတမ်းများအရ Cowic Electrostatic Chuck သည်အခြားလျှပ်စစ်အားဖြင့် chuck များထက် ပိုမို. ပိုမိုကောင်းမွန်စွာစုတ်ပြဲခြင်းရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်, Ceramic Electrostatic Chuck သည်အိမ်မွေးတိရစ္ဆာန်ရုပ်ရှင်လျှော်မှု Chuck ထက် ပိုမို. ပိုမိုပြင်းထန်စွာစုတ်ပြဲခြင်းရှိသည်။

cow cerams Chuck သည်များသောအားဖြင့်အပူခံနိုင်ရည်မြင့်မားသောခုခံကာကွယ်မှု, Porous Ceramic Chuck သည်အပူချိန်များအတွင်းဓာတုဗေဒဓါတ်ငွေ့နှင့်ပလာစမာ actching များကြောင့်ကြွေပိုးကိုပျက်စီးမှု မှစတင်. ကြွေမှုန့်ကိုလျော့နည်းစေသည်။

အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှု: ကြွေထည်ပစ္စည်းများမြင့်မားသောအပူချိန်နှင့်တည်ငြိမ်သောအပူရှိန်ဂုဏ်သတ္တိများသည် alumina ကြွေထည်ပစ္စည်းများအားအပူချိန်ကိုထိရောက်စွာထိန်းချုပ်ရန် Elerina ကြွေပိုးကိုအားဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သည်။

လေဟာနယ်လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင်: Ceramic Electrostatic Chuck သည်လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်အတွက်အထူးသဖြင့်ဖိအားနည်းခြင်းနှင့်မြင့်မားသောခဲယဉ်းသောလုပ်ငန်းစဉ်များတွင်သင့်လျော်သည်။

အနိမ့်အမှုန်မျိုးဆက်: por Sic Ceramic e-Chuck သည်ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်ရှိပြီး၎င်းသည်ပျော့ပျောင်းနေစဉ်အတွင်းအမှုန်ညစ်ညမ်းမှုကိုလျှော့ချနိုင်ပြီးထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းကိုတိုးတက်စေသည်။

လျှောက်လွှာ - အဓိကအားဖြင့် Semiconductor ထုတ်လုပ်ခြင်း, ဖြုတ်ိမ်နိုင်သောကြွေထည်ကုန်ထုတ်လုပ်ခြင်း, ဖြုတ်ိမ်နိုင်သော ceramic electrostatic chuck တွင်အသုံးပြုသည်။ ပင့်ကွေးထုတ်လုပ်မှု၏အရည်အသွေးကိုပြုပြင်ခြင်းနှင့်တိုးတက်အောင်လုပ်ခြင်းသည်နဂိုအတိုင်းရှိကြောင်းသေချာပါစေ။

က semiconductorကြွေထည် E-Chuck ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်များ -