Tantalum Carbide Coatings များသည် PVT အပူပိုင်းအကွက်ကို မည်သို့တည်ငြိမ်စေသနည်း။

ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) PVT ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ အပူစက်ကွင်း၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် တူညီမှုသည် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှုန်း၊ ချို့ယွင်းချက်သိပ်သည်းဆနှင့် ပစ္စည်းတူညီမှုကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်သည်။ စနစ်နယ်နိမိတ်အနေဖြင့်၊ အပူ-စက်ကွင်း အစိတ်အပိုင်းများသည် အပူချိန်မြင့်မားသောအခြေအနေများအောက်တွင် အနည်းငယ်အတက်အကျများကို သိသိသာသာချဲ့ထွင်ကာ မျက်နှာပြင်အပူချိန်ကိုပြသပြီး ကြီးထွားမှုမျက်နှာပြင်တွင် မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေသည်။ အပူပိုင်းနယ်နိမိတ်အခြေအနေများကို စံသတ်မှတ်ခြင်းအားဖြင့်၊ တန်တလမ်ကာဘိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းသည် အပူစက်ကွင်းကို ထိန်းညှိပေးပြီး အရည်အသွေးမြင့်မားသောပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားလာစေရန်အတွက် အဓိကနည်းပညာတစ်ခုဖြစ်လာသည်။

1. မဖုံးအုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် အခြားအပေါ်ယံအလွှာများ၏ အပူ-အကွက် နာကျင်မှုအမှတ်များ-

၎င်း၏ မျက်နှာပြင်သွင်ပြင်လက္ခဏာများသည် မွေးရာပါ မသေချာမရေရာမှုများရှိသည်။ အပူဓာတ်ထုတ်လွှတ်မှုသည် မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုနှင့် ဓာတ်တိုးမှုဒီဂရီကြောင့် သက်ရောက်မှုရှိပြီး ± 15% အထိ အတက်အကျများကာ အပူချိန် 20 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်ထက် ကျော်လွန်ကာ ဒေသဆိုင်ရာအပူ-စက်ကွင်းအပူချိန်ကွာခြားမှုများကြောင့် crystal ကြီးထွားမှုကြားခံအား မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေသည်။

အခြားအလွှာများ၏ချို့ယွင်းချက်များ

PVD အပေါ်ယံပိုင်းသည် ညံ့ဖျင်းသော အထူတူညီမှု (±10%) အထိ ကွဲလွဲမှုများကြောင့် အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် ဖြန့်ဖြူးမှု မညီညာခြင်းနှင့် အပူစက်ကွင်းအတွင်းရှိ ဒေသန္တရ အပူစက်များ ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ပလာစမာ-ဖျန်းသောအလွှာများသည် အပူစီးကူးနိုင်မှု (±8 W/m·K) တွင် ကြီးမားသောအတက်အကျများကိုပြသသည်၊ တည်ငြိမ်သောအပူချိန် gradient ကိုဖွဲ့စည်းရန်မဖြစ်နိုင်ပါ။ သမားရိုးကျ ကာဗွန်အခြေခံအလွှာများတွင် အပူချဲ့ထွင်ခြင်း၏ မတည်ငြိမ်သော ကိန်းဂဏာန်းများ ပါ၀င်ပြီး အပူစက်ဘီးစီးပြီးနောက် ကွဲအက်တတ်ကာ အပူစက်ကွင်း၏ သမာဓိကို ပျက်စီးစေသည်။

2. တည်ငြိမ်ပြီး ထိန်းချုပ်နိုင်သော သာမိုရူပဂုဏ်သတ္တိများအားဖြင့်၊ တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာများသည် ရှုပ်ထွေးသောနယ်နိမိတ်များကို စံသတ်မှတ်ပေးသည်။ ၎င်းတို့၏ အဓိကလက္ခဏာများမှာ အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်။

အဓိက Thermophysical ဂုဏ်သတ္တိများ

3 Crystal Growth လုပ်ငန်းစဉ်အပေါ် တိုက်ရိုက်သက်ရောက်မှု

တည်ငြိမ်သောအပူနယ်နိမိတ်အခြေအနေများသည် မျိုးပွားနိုင်သောနှင့် တိကျစွာထိန်းချုပ်နိုင်သော ကြီးထွားမှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ဆောင်ကြဉ်းပေးသည်၊ အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါတို့၌ ရောင်ပြန်ဟပ်သည်-

မြှင့်တင်ထားသော အပူ-စက်ကွင်းပုံတူခြင်း တိကျမှု-

အပေါ်ယံပိုင်းသည် ကောင်းစွာသတ်မှတ်ထားသော နယ်နိမိတ်ဘောင်များကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊၊ တွက်ချက်မှုဆိုင်ရာ သရုပ်ပြမှုရလဒ်များကို လက်တွေ့ဘဝနှင့် ပိုမိုနီးကပ်စွာ ကိုက်ညီစေရန်၊ လုပ်ငန်းစဉ်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း လည်ပတ်မှုများကို သိသိသာသာတိုစေပါသည်။

တိုးတက်သောတိုးတက်မှု-မျက်နှာပြင်ပုံသဏ္ဍာန်-

Uniform heat flux သည် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းဆီသို့ အနည်းငယ်ခုံးသွားသည့် စံပြကြီးထွား-မျက်နှာပြင်ပုံစံကို ထိန်းသိမ်းရန် ကူညီပေးသည်၊၊ ၎င်းသည် dislocation သိပ်သည်းဆနည်းသော crystals များရရှိရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။

ပိုမိုကောင်းမွန်သော လုပ်ငန်းစဉ် ထပ်တလဲလဲနိုင်မှု-

မတူညီသော ကြီးထွားမှုအစီအစဥ်များကြား အပူစက်ကွင်းစတင်သည့်အခြေအနေ၏ ညီညွတ်မှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပြီး အပူ-စက်ကွင်းမတည်ငြိမ်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ပုံဆောင်ခဲအရည်အသွေးအတက်အကျများကို လျှော့ချသည်။

4. နိဂုံး

၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်ပြီး တည်ငြိမ်သော အပူချိန်ဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများအားဖြင့် တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာများသည် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ မျက်နှာပြင်ကို "မပြောင်းလဲနိုင်သော" မှ "ကိန်းသေ" အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲပေးပါသည်။ ၎င်းတို့သည် PVT ပုံဆောင်ခဲ-ကြီးထွားမှုစနစ်များအတွက် ကြိုတင်မှန်းဆနိုင်သော၊ ထပ်တလဲလဲနိုင်သော၊ တူညီသောအပူနယ်နိမိတ်အခြေအနေများကို ပေးဆောင်ပြီး အပူချိန်မြင့်မားပြီး တည်ငြိမ်သော ဆီလီကွန်ကာဘိုဒ်ပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားလာမှုကို သေချာစေရန်အတွက် အဓိကနည်းပညာအဆင့်တစ်ခုဖြစ်သည်။

နောက်ဆောင်းပါးတွင်၊ လွန်ကဲသောအပူစက်ဘီးစီးခြင်းအောက်တွင် tantalum carbide coatings များသည် မည်ကဲ့သို့ရေရှည်ဝန်ဆောင်မှုရရှိသည်ကို ပိုင်းခြားစိတ်ဖြာပြီး အင်တာဖေ့စ်အင်ဂျင်နီယာကို အာရုံစိုက်ပါမည်။ အပေါ်ယံပိုင်း၏ အပူချိန်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများဆိုင်ရာ အသေးစိတ်စမ်းသပ်မှုအစီရင်ခံစာများ လိုအပ်ပါက ၎င်းတို့ကို တရားဝင်ဝဘ်ဆိုဒ်၏ နည်းပညာချန်နယ်မှတဆင့် ဝင်ရောက်ကြည့်ရှုနိုင်ပါသည်။