အဘယ်ကြောင့် wafer dicing လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းမိတ်ဆက်ပေးသနည်း။

စဉ်အတွင်း dicing ရေသို့co₂မိတ်ဆက်ပေးခြင်းညှစ်ဖြတ်တောက်ခြင်းသည် Commic Charge Buildup နှင့်ညစ်ညမ်းမှုနိမ့်ကျမှုကိုနှိမ်နင်းရန်ထိရောက်သောလုပ်ငန်းစဉ်အတိုင်းအတာဖြစ်သည်။

1 ။ static တာဝန်ခံ buildup ကိုဖိနှိပ်

စဉ်တွင်းwafer dicingမြန်နှုန်းမြင့်လှည့်ထားသောစိန်ဓါးသည်ဖိအားမြင့်မားသောဖိအား (DI) ရေဂျက်လေယာဉ်များဖြတ်တောက်ခြင်း, ဓါးနှင့်အကြားပြင်းထန်သောပွတ်တိုက်မှုများအကြားပြင်းထန်သောပွတ်တိုက်မှုသည် static charge အမြောက်အများကိုထုတ်ပေးသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်ဒိုင်ရေသည်မြန်နှုန်းမြင့်မှုန်ရေမွှားနှင့်သက်ရောက်မှုအောက်တွင်အနည်းငယ်အိုင်းရစ်မှုနှင့်အိုင်းယွန်းအနည်းငယ်ကိုထုတ်လုပ်သည်။ ဆီလီကွန်ကိုယ်နှိုက်သည်စွဲချက်တင်ခံရသည့်အတွက်ဤစွဲချက်ကိုအချိန်မီမဆေးကုသမှုကိုမပြုလုပ်ပါက Voltage သည် 500 V သို့မဟုတ်ထို့ထက်ပိုသောလျှပ်စစ်ဆေးရုံ (ELD) အထိမြင့်တက်နိုင်သည်။

ESD သည်သတ္တုအပြန်အလှန်ဆက်သွယ်မှုကိုချိုးဖောက်ရုံသာမက interlayer dielectrics ကိုပျက်စီးစေရုံသာမက interlayer dielectrics ကိုပျက်စီးစေနိုင်သည်။ ပြင်းထန်သောဖြစ်ရပ်များတွင်၎င်းသည်ဆင်းရဲသောဝါယာကြိုးနှောင်ကြိုးသို့မဟုတ်နှောင်ကြိုးကိုနှောင်ကြိုးသို့မဟုတ်နှောင်ကြိုးကဲ့သို့သော Bond Pad ပြ issues နာများကိုဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။

ကာဗွန်ဒိုင်အောက်ဆိုက် (Co₂) သည်ရေတွင်ပျော်ဝင်သောအခါကာဗွန်ဒိုင်ယန်အက်စစ် (H₂co₃) ကိုပြုလုပ်သည်။ ဤသည်သိသိသာသာ dicing ရေ၏စီးဆင်းမှုကိုသိသိသာသာတိုးပွားစေပြီး၎င်း၏တော်လှန်ရေးကိုလျော့နည်းစေသည်။ ပိုမိုမြင့်မားသောစီးကူးမှုသည်တည်ငြိမ်သောကောက်ခံမှုကိုမြေပေါ်သို့စီးဆင်းနေသောရေစီးဆင်းမှုကိုလျင်မြန်စွာပြုလုပ်ရန်ခွင့်ပြုထားသည်။

ထို့အပြင်Co₂သည်အားနည်းသောအီလက်ထရောနစ်ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။ စွမ်းအင်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်co₂⁺နှင့်o⁻ကဲ့သို့သောတရားစွဲဆိုမှုမျိုးစိတ်များကိုဖွဲ့စည်းရန် ionized လုပ်နိုင်သည်။ ဤအိုင်းယွန်းများသည် wafer မျက်နှာပြင်နှင့်လေကြောင်းချီလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေလေကိုလျှော့ချနိုင်သည်။

2 ။ ညစ်ညမ်းမှုကိုလျှော့ချခြင်းနှင့် wafer မျက်နှာပြင်ကာကွယ်ခြင်း

Wafer Dicing သည်ဆီလီကွန်ဖုန်မှုန့်များစွာကိုထုတ်ပေးသည်။ ဤကောင်းမွန်သောအမှုန်များသည်အလွယ်တကူစွဲချက်တင်ပြီးအိတ်ဆောင်သို့မဟုတ်ပစ္စည်းကိရိယာမျက်နှာပြင်များကိုလိုက်နာပြီးအမှုန်ညစ်ညမ်းမှုကိုဖြစ်ပေါ်စေသည်။ အေးမြသောရေသည်အနည်းငယ် alkaline ဖြစ်ပြီးသတ္တုဟိုက်ဒရိုဆိုဒ်များကိုဖွဲ့စည်းရန် (FE, NI နှင့် CR တို့အကြားဖြန့်ချိခြင်း, ဤမိုးရွာသွန်းမှုများသည်များသောအားဖြင့် phat အရည်အသွေးကိုဆိုးကျိုးသက်ရောက်စေခြင်း,

Co₂ကိုမိတ်ဆက်ပြီးနောက်, တစ်ဖက်တွင်အားသွင်းခြင်းခံရခြင်းကိုဖုန်မှုန့်နှင့်ပျော့ပျောင်းသောမျက်နှာပြင်အကြားလျှပ်စစ်ဓာတ်အားကိုအားနည်းစေသည်။ အခြားတစ်ဖက်တွင်, co₂သဘာဝဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုသည်အမှုန်များကို dicing Zone မှဖယ်ထုတ်လိုက်သောအမှုန်များကိုစွန့်ခွာရန်ကူညီသည်။

ဖျက်သိမ်းလိုက်သော COUT မှဖွဲ့စည်းထားသောအက်ဆစ်ဓာတ်သတ္တုများသည်သတ္တုအိုင်းယွန်းများကိုရေအားလျှပ်စစ်စီမံကိန်းများပြောင်းလဲခြင်းကိုဖိနှိပ်သည်။

တစ်ချိန်တည်းမှာပင်Co₂သည် inert ဖြစ်သည်။ Dicing ဒေသတွင်အချို့သောအကာအကွယ်ဝန်းကျင်တစ်ခုတည်ဆောက်ခြင်းအားဖြင့်၎င်းသည်ဆီလီကွန်ဖုန်မှုန့်နှင့်အောက်စီဂျင်အကြားတိုက်ရိုက်ဆက်သွယ်မှုကိုလျှော့ချနိုင်ပြီးဖုန်ဓာတ်တိုးခြင်း, ဤသည်ကသန့်ရှင်းသောဖြတ်တောက်ခြင်းပတ် 0 န်းကျင်နှင့်ပိုမိုတည်ငြိမ်သောလုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများကိုထိန်းသိမ်းထားသည်။

co₂မိတ်ဆက်ပေးသည့်အရာသည် dicing ရေထဲသို့မိတ်ဆက်ခြင်းကိုမိတ်ဆက်ခြင်းသည်ငြိမ်သက်ခြင်းနှင့် ESD အန္တရာယ်ကိုထိထိရောက်ရောက်ထိန်းချုပ်နိုင်စွမ်းသာမကဖုန်မှုန့်နှင့်သတ္တုညစ်ညမ်းမှုကိုသိသိသာသာလျော့နည်းစေသည်။