ကျောက်တံတားဆိုတာဘာလဲ။

Quartz Boat သည် Semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်အသုံးပြုသောသော့ခတ်ထားသောအစိတ်အပိုင်းဖြစ်သည်။ အဓိကအားဖြင့်ပျံ့နှံ့ခြင်း, ၎င်း၏အလွန်ကောင်းသောအပူတည်ငြိမ်မှု, ညစ်ညမ်းမှုလက္ခဏာများနှင့်ချေးခုခံတွန်းလှန်ခြင်းက၎င်းသည် semiconductor industry တွင်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောပစ္စည်းများဖြစ်စေနိုင်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည်ကျောက်တုံးလှေနှင့် pecvd graphite boat အကြားပစ္စည်း, ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ, ခွဲခြားခြင်း,

Ⅰ။ Quartz လှေ၏ပစ္စည်း

Quartz Carrier ၏အဓိကအစိတ်အပိုင်းမှာမြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုက် (Sio₂) နှင့်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် 99.99% (semiconductor တန်း) သို့ရောက်ရှိရန်လိုအပ်သည်။ ဤမြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောလင်းယုန်ရုပ်ပစ္စည်းသည် Semiconductor ထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း Semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်အညစ်အကြေးများကိုမိတ်ဆက်ပေးလိမ့်မည်မဟုတ်ကြောင်း,

ပြင်ဆင်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အရ Quartz ပစ္စည်းများသည်အမျိုးအစားနှစ်မျိုးခွဲခြားနိုင်သည်။

●သဘာဝ quartz: Crystal purification မှမြင့်မားသော hydroxyls အကြောင်းအရာ (100-200 ppm), ကုန်ကျစရိတ်နိမ့်ခြင်း,

●ဒြပ်ဆင် Quartz: အနိမ့် hydroxyl (<1 ppm), ပိုမိုကောင်းမွန်သောတည်ငြိမ်မှု (<1 ppm) နှင့်အပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်အပူချိန်မြင့်မားသောဖြစ်စဉ်များနှင့်အတူ),

ထို့အပြင်အချို့သောကျောက်တန်းလှေများသည် Titanium (Ti) သို့မဟုတ် Aluminum (Aluminum) ကဲ့သို့သောသတ္တုများကိုပြုပြင်ပြောင်းလဲမှုများပြုလုပ်ရန်သို့မဟုတ်ခရမ်းလွန်ဖြစ်စဉ်များ၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်အလင်းဖြတ်တောက်ခြင်းကိုပြုပြင်ရန်အတွက်သတ္တုများဖြင့်သတ္တုများဖြင့်ပြုလုပ်သည်။

Ⅱ။ Quartz လှေများ၏အဓိကရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများကဘာလဲ။

●မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံ: Quartz ၏အရည်ပျော်မှုသည် 1713 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိမြင့်မားပြီး 1200 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင်အချိန်ကြာမြင့်စွာအလုပ်လုပ်နိုင်ပြီး 1500 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင်တိုတောင်းသောအချိန်တို 1500 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

●အပူတိုးချဲ့ကိန်းနိမ့်: အပူတိုးချဲ့ကိန်းသည် 0.55 × 10 ° / ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်သာရှိသည်။ ဤအလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်ရှုထောင့်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေပြီးအပူစိတ်ဖိစီးမှုကြောင့်ကွဲအက်ခြင်းကိုရှောင်ရှားသည်။

●ဓာတုဗေဒအနေဖြင့်: Hydrofluoric acid (hf) နှင့်ပူဖော့စဖော 0 န်အက်ဆစ် မှလွဲ. Quartz သည်ခိုင်မာသောအက်စစ်အက်ဆစ်များ,

●လျှပ်စစ်ပစ္စည်းများ: Plasma လုပ်ငန်းစဉ်၏လျှပ်စစ်လယ်ကွင်းဖြန့်ဖြူးမှုကို 0 င်ရောက်စွက်ဖက်ခြင်းကိုရှောင်ရှားခြင်းသည် 10 · cm အထိမြင့်တက်မှုရှိသည်။

●အလင်းအစဉ်အလာဖြေ - UltraViolet တွင်အနီအောက်ရောင်ခြည်တပ်ထားသောတီးဝိုင်း (> 90%) တွင်အနီအောက်ရောင်ခြည်ဖြင့်တပ်မက်ခြင်း (ထိုကဲ့သို့သောခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်ကုသမှု) အတွက်သင့်တော်သည်။

iii ။ Quartz လှေများ၏ခွဲခြား

ကွဲပြားသောဒီဇိုင်းဖွဲ့စည်းပုံနှင့်အသုံးပြုမှုအခြေအနေများအရ Quartz လှေများကိုအောက်ပါအမျိုးအစားခွဲခြားနိုင်သည်။

●အလျားလိုက် Quartz လှေ

ဓာတ်တိုးခြင်း, ပျံ့နှံ့ခြင်း, Annealing နှင့်အခြားဖြစ်စဉ်များအတွက်အသုံးပြုသောအလျားလိုက်ပြွန်မီးဖိုများ (အလျားလိုက်ပျံ့နှံ့ခြင်းမီးဖို) နှင့်သက်ဆိုင်သည်။

အင်္ဂါရပ်များ - များသောအားဖြင့်ပွင့်လင်းသောသို့မဟုတ်တစ်ဝက်ပူးတွဲဒီဇိုင်းနှင့်အတူ 100-200 wafers သယ်ဆောင်နိုင်သည်။

●ဒေါင်လိုက် Quartz လှေ

LPCVD လုပ်ငန်းစဉ်များ,

အင်္ဂါရပ်များ: ပိုမိုကျစ်လစ်သိပ်သည်းဖွဲ့စည်းပုံ, ပံ့ပိုးမှုစွမ်းရည်ကိုတိုးမြှင့်နိုင်ပြီးလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းအမှုန်ညစ်ညမ်းမှုကိုလျှော့ချနိုင်သည်။

စိတ်ကြိုက် Quartz လှေ

ကွဲပြားခြားနားသောလုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကိုအရဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသော,

တရုတ်နိုင်ငံတွင်ထိပ်တန်းကျောက်တုံးကြီးလှေထုတ်လုပ်သူနှင့်ပေးသွင်းသူအဖြစ်Veteksemicon သည်သင်၏အမှန်တကယ်လိုအပ်ချက်များအရစိတ်ကြိုက် Quartz လေယာဉ်တင်သင်္ဘောထုတ်ကုန်များကိုဒီဇိုင်းဆွဲ။ ထုတ်လုပ်နိုင်သည်။ ကုန်ပစ္စည်းအသေးစိတ်အတွက်အသေးစိတ်အချက်အလက်များအတွက် ကျေးဇူးပြု. :

IV ။ Semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် Quartz လှေ၏ဖြစ်နိုင်ချေရှိအခြေအနေများကဘာတွေလဲ။

Quartz လှေများကိုအဓိကသော့ခ်သည်အောက်ပါလျှောက်လွှာအခြေအနေများအပါအ 0 င် semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်ရာအဓိကလုပ်ငန်းစဉ်ဆက်နွယ်မှုများ၌ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုသည်။

4.1 အပူဓာတ်တိုး

●လုပ်ငန်းစဉ်ဖော်ပြချက် - အပူချိန်မြင့်မားသောအောက်စီဂျင်ဓာတ်ငွေ့သို့မဟုတ်ရေငွေ့ပတ် 0 န်းကျင်တွင်ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုက် (Sio₂) ရုပ်ရှင်ကိုဖွဲ့စည်းရန်အပူချိန်မြင့်မားသောအောက်စီဂျင်သို့မဟုတ်ရေငွေ့ပတ်ဝန်းကျင်တွင်အပူချိန်မြင့်မားသောအောက်စီဂျင်သို့မဟုတ်ရေလွှမ်းမိုးပတ်ဝန်းကျင်တွင်အပူပေးသည်။

● Quartz လှေ၏အင်္ဂါရပ်များ -

1) အပူချိန်မြင့်မားခြင်း, မြင့်မားသောအပူချိန် 1000 မှ 1200 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

2) ဓာတုဗေဒဝါဒ, ကျောက်တန်းလှေများသည်ပြင်းထန်သောအက်စစ်များ,

4.2 ပျံ့နှံ့နေတဲ့

●လုပ်ငန်းစဉ်ဖော်ပြချက် - အညစ်အကြေးများ (Phosphorus နှင့် Boron) အညစ်အကြေးများ (ဥပမာဖော့စဖုတ်နှင့်ဘိုရွန်) တွင် doping layer တစ်ခုဖွဲ့စည်းရန်အပူချိန်အခြေအနေများအောက်တွင်ရှိသည်။

●ကျောက်တန်းအင်္ဂါရပ်များ:

1) ညစ်ညမ်းသောအာရုံစူးစိုက်မှုဖြန့်ဝေမှုကိုထိခိုက်စေခြင်းမှသတ္တုညစ်ညမ်းမှုကိုကာကွယ်ခြင်း,

2) အပူတိုးချဲ့မှုမြင့်မားသော 0.55 ×10⁻⁶ / ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်သာရှိသော 0.55 ×10⁻⁶ / ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်သာရှိသောမြင့်မားသောထွင်ခြင်းနှင့်အတူ။

4.3 Annealing လုပ်ငန်းစဉ်

●လုပ်ငန်းစဉ်ဖော်ပြချက် - အပူချိန်မြင့်မားသောအပူချိန်ကုသမှုကိုစိတ်ဖိစီးမှုများကိုဖယ်ရှားရန်, ပစ္စည်းကြည်လင်ဖွဲ့စည်းပုံကိုတိုးတက်စေရန်သို့မဟုတ်အိုင်းထပ်ထည့်ခြင်းအလွှာကိုသက်ဝင်စေပါ။

●ကျောက်တန်းအင်္ဂါရပ်များ:

1) အရည်ပျော်မှတ် 1713 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိမြင့်မားသောအရည်ပျော်မှုနှင့်အတူ၎င်းသည်အပူစိတ်ဖိစီးမှုကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသောအက်ကွဲခြင်းကိုရှောင်ရှားရန်လျင်မြန်သောအပူနှင့်အအေးခံနိုင်သည်။

2) ယူနီဖောင်းအပူသေချာစေရန်တိကျသောအရွယ်အစားထိန်းချုပ်မှု။

4.4 ဖိအားနိမ့်ဓာတုအငွေ့အငှား (LPCVD)

●လုပ်ငန်းစဉ်ဖော်ပြချက် - ဖိအားနိမ့်သောပတ် 0 န်းကျင်တွင်ဆီလီကွန်နိုက်ထရစ် (si₃n₄) ကဲ့သို့သောယူနီဖောင်းဖျားသောရုပ်ရှင် (si₃n₄) ကိုဓာတ်ငွေ့အဆင့်တုံ့ပြန်မှုမှတဆင့်ဖွဲ့စည်းသည်။

● Quartz လှေ၏အင်္ဂါရပ်များ -

1) ဒေါင်လိုက်မီးဖိုပြွန်များအတွက်သင့်လျော်သော, ရုပ်ရှင်အယူအဆတူညီမှုကိုပိုကောင်းအောင်လုပ်နိုင်ပါတယ်။

2) အနိမ့်အမှုန်ညစ်ညမ်းမှု, ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးတိုးတက်အောင်။

Ⅴ။ Quartz Boat နှင့် Pecvd Graphite Soat အကြားခြားနားချက်များကဘာတွေလဲ။

ပုံမှန်ခြားနားချက်ဇာတ်လမ်းများ:

● PECVD လုပ်ငန်းစဉ်: Graphite လှေများသည်စီးပွါးရေးအတွက် Plasma Uniformity ကိုပိုမိုကောင်းမွန်အောင်လုပ်နိုင်သည်။

●မြင့်မားသောအပူဝါဒရာအစွန်းရောက်မီးဖို: Veteksemicon Quartz လှေများသည်မြင့်မားသောအပူချိန်မြင့်တက်မှုအတွက်အစားထိုးနိုင်သည်။