Wafer Carrier အတွက် CVD SiC Coated Graphite Susceptor

1. ထုတ်ကုန် အားသာချက်များ

• မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုပစ္စည်းဆီမီးကွန်ဒတ်တာအဆင့် ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းနှင့် သိပ်သည်းသော SiC အပေါ်ယံပိုင်းဖွဲ့စည်းပုံသည် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို လျော့နည်းစေပြီး CVD SiC coated graphite susceptor ၏ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုးတက်စေသည်။
• အထူးကောင်းမွန်သော အပူဓာတ်တူညီမှုပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် SiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် တည်ငြိမ်သောအပူလွှဲပြောင်းမှုနှင့် တူညီသော wafer အပူချိန်ကို ထိန်းချုပ်ပေးပါသည်။
• သာလွန်သော ဓာတုခုခံမှု-သိပ်သည်းသော SiC coating သည် ဖြစ်စဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် အဆိပ်သင့်သော ပတ်ဝန်းကျင်များကို ပြင်းထန်စွာ ခုခံပေးပါသည်။
• တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း-မြင့်မားသော မာကျောမှုနှင့် ခံနိုင်ရည်အား မြင့်မားသော အပူချိန် epitaxy အခြေအနေများအောက်တွင် တာရှည်ခံမှုကို တိုးတက်စေသည်။
• အမှုန်အမွှား မျိုးဆက်နည်း-သိပ်သည်းသော CVD SiC မျက်နှာပြင်သည် အမှုန်အမွှားထုတ်လွှတ်မှုကို လျှော့ချပေးပြီး wafer လုပ်ငန်းစဉ်ကို ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုးတက်စေသည်။
• စိတ်ကြိုက်ဒီဇိုင်းလုပ်နိုင်စွမ်း-စက်ပစ္စည်းလိုအပ်ချက်အရ အရွယ်အစား၊ တည်ဆောက်ပုံများနှင့် ဖွဲ့စည်းမှုပုံစံအမျိုးမျိုးဖြင့် ရရှိနိုင်ပါသည်။

2. နည်းပညာဆိုင်ရာသတ်မှတ်ချက်များ

3. အသုံးချမှုများ

• SiC Epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်-graphite susceptor ကို SiC epitaxy ပစ္စည်းများတွင် wafer carrier အဖြစ် အသုံးပြုပြီး အပူချိန်မြင့်သော epitaxial ကြီးထွားမှုအတွင်း SiC အလွှာများကို ပံ့ပိုးပေးသည်။
• ဆီလီကွန် Epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်wafer များကို ပံ့ပိုးပေးပြီး တည်ငြိမ်သော အပူအအေး အခြေအနေကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် ဆီလီကွန် epitaxial ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင် အသုံးချသည်။
• MOCVD Epitaxy-VETEK graphite susceptors များသည် MOCVD၊ LED epitaxy၊ GaN epitaxy၊ silicon epitaxy နှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူတူညီမှု နှင့် ဓာတုဗေဒ တည်ငြိမ်မှု လိုအပ်သော အခြား semiconductor ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် သင့်လျော်ပါသည်။
• တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးပစ္စည်း-LPE အလျားလိုက်မီးဖိုများ၊ Aixtron၊ NuFlare နှင့် ဆက်စပ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော epitaxy ပလပ်ဖောင်းများနှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။

4. အဘယ်ကြောင့် VETEK ကိုရွေးချယ်သနည်း။

VETEK သည် စိတ်ကြိုက် CVD SiC coated graphite susceptor solutions များကို ဂရပ်ဖိုက်သန့်စင်မှု၊ တိကျစွာ ပြုပြင်ခြင်း၊ CVD အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် စစ်ဆေးခြင်းစွမ်းရည်တို့ကို ပေါင်းစပ်ပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ semiconductor-grade graphite susceptor ထုတ်ကုန်များသည် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ ယူနီဖောင်းအပေါ်ယံအထူ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် wafer carrier အက်ပလီကေးရှင်းများအတွက် လိုအပ်သော ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကြာရှည်စွာ ပါဝင်ပါသည်။