CVD SiC Coating Graphite အစိတ်အပိုင်းများ သန့်ရှင်းရေးဝန်ဆောင်မှု

1. သင်ရင်ဆိုင်ရမည့် စိန်ခေါ်မှုများ

• AlN အလွှာကို ဖယ်ရှားရန် ခက်ခဲသည်-1300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင် အပူသန့်စင်ခြင်းသည် ကျန်ရှိသော AlN အလွှာကို ထိထိရောက်ရောက် ထွင်းထု၍မရပါ။

• ထပ်တလဲလဲ Memory Effect-Surface memory effect သည် ဓာတ်ပေါင်းဖိုအတွင်းရှိ ဓာတ်ငွေ့များ စီးဆင်းမှု မတည်မငြိမ်ဖြစ်စေပြီး လုပ်ငန်းစဉ် ညီညွတ်မှုကို ထိခိုက်စေသည်။

• Cleaning Cycle Impacts ဖြတ်သန်းမှု-ပုံမှန်အားဖြင့် လုပ်ငန်းစဉ် 16 ပတ်တိုင်း (4-5 susceptors) သည် ပြင်ပသန့်ရှင်းရေး လိုအပ်ပါသည်။

• ငွေကုန်ကြေးကျများသော အပေါ်ယံကို ပျက်စီးစေခြင်းအတွက် စိုးရိမ်မှု-အိမ်တွင်း ဓာတုသန့်စင်မှု အတွေ့အကြုံမရှိခြင်းကြောင့် အော်ပရေတာများသည် ပြင်းထန်သော သန့်ရှင်းရေးကို ကြိုးပမ်းရန် ချီတုံချတုံ ဖြစ်နေသည်။

2. ကျွန်ုပ်တို့၏ဖြေရှင်းချက် – GaN / AlN / AlGaN လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

• ပရော်ဖက်ရှင်နယ် သန့်ရှင်းရေး-CVD SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများအတွက် အထူးပြုလုပ်ထားသော စိတ်ကြိုက်လုပ်ငန်းစဉ်။ ဖောက်သည်ထံမှ ဓာတုဗေဒဖော်မြူလာ မလိုအပ်ပါ။

• Coating Safety-100 µm CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းကို တင်းကျပ်စွာ ကာကွယ်ပေးသည်။ သန့်ရှင်းရေးပြီးနောက် လုံးဝအထူ ဆုံးရှုံးမှု။

• အတည်ပြုနိုင်သောရလဒ်များ-ပင်မအတိုင်းအတာငါးခုပါဝင်သည့် ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုလက်မှတ်အပြည့်အစုံ (COA)။ ဒေတာသိမ်းဆည်းခြင်းနှင့် အရည်အသွေးစစ်ဆေးခြင်းအတွက် အဆင်သင့်ဖြစ်နေပါပြီ။

3. အဓိက လက်ခံမှု သတ်မှတ်ချက် ငါးခု

semiconductor epitaxy အသုံးပြုသူများ၏ အရေးကြီးသော လိုအပ်ချက်များနှင့် တင်းကြပ်စွာ လိုက်လျောညီထွေဖြစ်:

1. Zero Coating Loss- သန့်စင်ပြီးနောက် SiC အပေါ်ယံအထူကို ဘယ်တော့မှ လျှော့ချမည်မဟုတ်ပါ (အကြို/ပို့စ်အထူ နှိုင်းယှဉ်စစ်ဆေးခြင်း)။

2. Surface Deformation မရှိပါ။- ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပုံပျက်ခြင်း မရှိစေရန် ပြားချပ်ချပ်နှင့် ဂျီဩမေတြီ တိကျမှုကို တင်းကြပ်စွာ စစ်ဆေးထားပါသည်။

3. Memory Effect ကိုဖယ်ရှားပါ။- Al/G အကြွင်းအကျန်များအတွက် XPS ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုသည် မှတ်ဉာဏ်အကျိုးသက်ရောက်မှုအရင်းအမြစ်များကို စေ့စေ့စပ်စပ် ဖယ်ရှားကြောင်း အတည်ပြုသည်။

4. Zero Metal Residue- Fe၊ Cu၊ Ni နှင့် အခြားသတ္တုများအတွက် ICP-MS စမ်းသပ်ခြင်းသည် ကြွင်းကျန်နေသော သတ္တုအညစ်အကြေးများကို လုံးဝစစ်ဆေးသည်။

5. ပိုလျှံသောအမှုန်များမရှိပါ။- QIII အမှုန်အမွှားစမ်းသပ်ခြင်း နှင့် သန့်ရှင်းမှုစစ်ဆေးခြင်း သည် အကြွင်းအကျန်အမှုန်များကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု မတည်မငြိမ်ဖြစ်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပါသည်။

4. ပေးပို့မှုစစ်ဆေးရေးနှင့် COA အစီရင်ခံစာ

အစီအစဥ်တစ်ခုစီတိုင်းကို core အတိုင်းအတာငါးခုရှိ အတည်ပြုဒေတာအပြည့်အစုံဖြင့် ပေးပို့သည်-

5. အသုံးပြုနိုင်သော ထုတ်ကုန်များနှင့် လုပ်ငန်းစဉ် နောက်ခံ

ထုတ်ကုန် ကန့်သတ်ချက်များ

ဝန်ဆောင်မှုလုပ်ငန်း

1. စုံစမ်းရေး- အကဲဖြတ်ရန်အတွက် အစိတ်အပိုင်း ဓာတ်ပုံ / မော်ဒယ် / အရေအတွက် ပေးပို့ပါ။

2. Quotation- ကိုးကားချက်နှင့်အတူ နည်းပညာဆိုင်ရာ အကဲဖြတ်ခြင်းနှင့် အသေးစိတ်ရှင်းလင်းရေးအဆိုပြုချက်။

3. သင်္ဘော- ကျွန်ုပ်တို့ထံ သင်္ဘောအစိတ်အပိုင်းများ သို့မဟုတ် ပစ္စည်းလာယူခြင်းဝန်ဆောင်မှုကို စီစဉ်ပါ။

4. သန့်ရှင်းရေး- ပရော်ဖက်ရှင်နယ် သန့်ရှင်းရေး + ဘက်စုံ ဘက်စုံ စစ်ဆေးခြင်း။

5. သတင်းပို့ပါ။- COA အစီရင်ခံစာထုတ်ပြန်ပြီး သန့်စင်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများကို ပြန်လည်ပေးအပ်သည်။

6. နောက်ဆက်တွဲ- အကျိုးသက်ရောက်မှုကို ခြေရာခံခြင်းနှင့် ဆက်လက်လုပ်ဆောင်နေသော နည်းပညာပံ့ပိုးမှု။

6. အဘယ်ကြောင့် VETEK သန့်ရှင်းရေးဝန်ဆောင်မှုကို ရွေးချယ်သနည်း။

VETEK သည် တန်ဖိုးမြင့် graphite susceptors များအတွက် အထူးပြု သန့်ရှင်းရေးစွမ်းရည်များနှင့် CVD SiC coating နည်းပညာတွင် နက်နဲသောကျွမ်းကျင်မှုကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။ GaN/AlN epitaxy တွင် အပေါ်ယံ ခိုင်မာမှု၊ အမှုန်အမွှား ထိန်းချုပ်မှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ် သန့်ရှင်းမှု တို့၏ အရေးကြီးသော အရေးပါမှုကို ကျွန်ုပ်တို့ နားလည်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ဝန်ဆောင်မှုသည် မှတ်ဉာဏ်အကျိုးသက်ရောက်မှုနှင့် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုမတည်ငြိမ်မှုပြဿနာများကို လုံးလုံးဖြေရှင်းပေးနေစဉ် တန်ဖိုးကြီး CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းအတွက် လုံးဝဘေးကင်းရန် လိုအပ်သော သုံးစွဲသူများအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။

· အသေးစား အသုတ်စစ်ဆေးခြင်းအတွက် အစမ်းသန့်ရှင်းရေးကို ရနိုင်ပါသည်။

· ပို့ဆောင်မှုတိုင်းနှင့်အတူ ပေးဆောင်ထားသော COA အစီရင်ခံစာအပြည့်အစုံ

· အပေါ်ယံပျက်စီးခြင်း သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းမှုအသစ်များ ဖြစ်နိုင်ခြေ လုံးဝမရှိပါ။

· Professional · Safe · Verifiable