နည်းပညာနှင့် ဖြေရှင်းချက်များ
ထုတ်ကုန်များ

01-04 VETEK | CVD SiC Coated Graphite အစိတ်အပိုင်းများကို သန့်ရှင်းခြင်း၊ ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် အပြည့်အဝ Lifecycle Management

စက်မှု

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း (epitaxy/etching hot-zone အစိတ်အပိုင်းထိန်းသိမ်းမှုနှင့် ကုန်ကျစရိတ်စီမံခန့်ခွဲမှု)

လုပ်ငန်းစဉ်

GaN MOCVD အတွက် အသုံးပြုသည့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု၊ သန့်ရှင်းရေး/ပြန်လည်ဆန်းသစ်ခြင်းနှင့် အငြိမ်းစားယူခြင်း နှင့် GaN MOCVD၊SiC epitaxyစသည်တို့

ဖြေရှင်းချက်

သန့်ရှင်းခြင်း/ပြန်လည်မွေးဖွားခြင်းအတွက်ဖြစ်နိုင်ချေစီရင်ချက်၊ အသစ်ပြန်လည်မွေးဖွားခြင်းနောက်ပိုင်းလက်ခံသည့်အချက်များ၊ သက်တမ်းပြည့်ကုန်ကျစရိတ်စီမံခန့်ခွဲမှုမူဘောင်

ဝန်ဆောင်မှုများ

Coated-part cleaning assessment၊ အသစ်ပြန်လည်ထုတ်လုပ်နိုင်ခြေ၊ ပြန်လည်လက်ခံရေး ပံ့ပိုးမှု၊ အစားထိုးမှုနှင့် စိတ်ကြိုက်ချိတ်ဆက်မှု

ရလဒ်များ

• "ဆေးကြောခြင်းနှင့် ပြန်လည်အသုံးပြုခြင်း" နှင့် "အနားယူရမည်" အကြား နယ်နိမိတ်ကို ရှင်းလင်းပါ။

• အသစ်ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ပြီးနောက် စစ်ဆေးနိုင်သော စစ်ဆေးခြင်းနှင့် ကိရိယာပေါ်ရှိ စစ်ဆေးခြင်းအချက်များ

• ဘဝစက်ဝန်းကြည့်ရှုမှုမှတစ်ဆင့် လည်ပတ်မှုတစ်ခုလျှင် စားသုံးနိုင်သောကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချပါ။

• ရွေးချယ်မှုနှင့် အရည်အသွေး-လက်ခံမှုအစုအဝေးစာမျက်နှာများပါရှိသော ကွင်းပိတ်

Coated အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်သက်တာလုံးအတွက် အပြည့်အဝ ဖယ်ရှားပစ်ရန် မလိုအပ်ပါ။ ဤဆောင်းပါးတွင် CVD SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများသည် သန့်ရှင်းရေးနှင့် အသစ်ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ရန် သင့်လျော်သည့်အခါ၊ ၎င်းတို့ကို မည်သို့လက်ခံရမည်၊ နှင့် အစားထိုးခြင်းဆိုင်ရာ cadence ကို အပြည့်အဝ lifecycle mindset ဖြင့် မည်သို့စီမံရမည်ကို ရှင်းပြထားသည်။ လက်ကျန်အထွက်နှုန်းနှင့် ကုန်ကျစရိတ်သည် ပိုမိုစိတ်ချယုံကြည်ရသည်။ လိုင်းပေါ်ရှိ susceptors၊ preheat rings နှင့် အလားတူအစိတ်အပိုင်းများ၏ စစ်မှန်သောကုန်ကျစရိတ်သည် ဝယ်ယူမှုစျေးနှုန်းသာမက အစားထိုးအကြိမ်ရေ၊ စက်ရပ်သည့်ပြတင်းပေါက်များနှင့် အမှုန်အမွှားအန္တရာယ်လည်းဖြစ်သည်။

1.ချက်ခြင်း အပိုင်းအစများအစား သန့်ရှင်းရေးနှင့် ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် မည်သည့်အချိန်တွင် သင့်လျော်သနည်း။

အဓိက နိဂုံး-အပေါ်ယံအလွှာသည် ကြီးမားစွာနဂိုအတိုင်းရှိနေသေးပြီး အဓိကပြဿနာမှာ မျက်နှာပြင်တွင် စွန့်ပစ်ခြင်း သို့မဟုတ် ဖယ်ရှားနိုင်သော ညစ်ညမ်းမှုဖြစ်သည့်အခါ၊ သန့်ရှင်းရေးနှင့် ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် ချက်ချင်းအရိုးလိုက်ခြင်းထက် ကုန်ကျစရိတ်ပိုမိုထိရောက်လေ့ရှိပါသည်။ ကြီးမားသော ဧရိယာ ကွဲအက်ခြင်း၊ ပြင်းထန်စွာ ပါးလွှာခြင်း သို့မဟုတ် အလွှာပျက်စီးမှု ဖြစ်ပွားပြီးပါက၊ မျှော်လင့်ချက်ဖြင့် ထပ်ခါတလဲလဲ သန့်ရှင်းရေးထက် အငြိမ်းစားယူခြင်းနှင့် အစားထိုးခြင်းကို ဦးစားပေးပါ။

သော့ချက်သည် "မည်မျှလည်ပတ်အသုံးပြုခဲ့သည်" မဟုတ်ဘဲ၊ သို့သော် ပြန်လည်ရယူနိုင်သော အခြေအနေမည်မျှရှိနေသည်ဖြစ်စေ အပေါ်ယံလွှာနှင့် အလွှာများတွင် ရှိနေသည်။

သန့်ရှင်းရေးနှင့် ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းကို နှစ်သက်သော အခြေအနေများ

• မျက်နှာပြင် လုပ်ငန်းစဉ် အနည်များ သို့မဟုတ် သန့်စင်နိုင်သော ညစ်ညမ်းမှု၊ coating body သည် သိသာထင်ရှားစွာ delamination မပြပါ။

• အထူနှင့် တူညီမှုသည် လက်ခံနိုင်သော အကွာအဝေးအတွင်း ရှိနေသေးသည်။ အမှုန်အမွှားများ အဓိကအားဖြင့် မျက်နှာပြင်အခြေအနေမှ မြင့်တက်လာသည်။

• အတိုင်းအတာများနှင့် တည်ဆောက်ပုံများ နဂိုအတိုင်း နေရာချထားခြင်း၊ တပ်ဆင်ရာတွင် အဆင်မပြေပါ။

တိုက်ရိုက် အငြိမ်းစားယူရန် တောင်းဆိုသည့် အခြေအနေများ

• ကြီးမားသော ဧရိယာအပေါ်ယံပိုင်း ကွဲအက်ခြင်း၊ ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပြင်းထန်စွာ ပါးလွှာခြင်း

• အလွှာပုံပျက်ခြင်း၊ ပျက်စီးခြင်း သို့မဟုတ် အရေးကြီးသောအတိုင်းအတာများကို သည်းခံနိုင်မှုမရှိဘဲ

• အကြိမ်ပေါင်းများစွာ သန့်စင်ပြီးနောက်၊ အမှုန်အမွှားများ သို့မဟုတ် တစ်သက်တာတွင် လျင်မြန်စွာ ကျဆင်းနေဆဲဖြစ်သည်။ အသစ်ပြန်လည်မွေးဖွားခြင်း၏ မဖြစ်စလောက် အကျိုးကျေးဇူးမှာ အလွန်နည်းပါးပါသည်။

2.ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းသည် ကိရိယာသို့ ပြန်သွားနိုင်မည့့် အကဲဖြတ်နည်း။

အဓိက နိဂုံး-ပြန်လည်မွေးဖွားခြင်းသည် "သန့်ရှင်းမှုဆိုသည်မှာ အဆင်သင့်ဖြစ်နေပြီ" မဟုတ်ပါ။ အနည်းဆုံး၊ ပုံပန်းသဏ္ဌာန်နှင့် မျက်နှာပြင်၊ အရေးကြီးသောအတိုင်းအတာနှင့် လိုအပ်သော အထူ/တူညီမှုနမူနာကို စစ်ဆေးပါ။ အခြေအနေများခွင့်ပြုသောအခါ၊ အစိတ်အပိုင်းကိုပုံမှန်ထုတ်လုပ်မှုသို့မပြန်မီအမှုန်များနှင့်အပူစက်ကွင်းကိုအတည်ပြုရန် tool ပေါ်တွင်သေးငယ်သောအသုတ်ကိုဖွင့်ပါ။

သန့်စင်ခြင်းသည် မျက်နှာပြင်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသော်လည်း ဆုံးရှုံးသွားသော အပေါ်ယံအထူ သို့မဟုတ် ပျက်စီးနေသော အလွှာကို ပြန်လည်မရနိုင်ပါ။ လက်ခံမှုစံနှုန်းများသည် အပိုင်းသစ်မျှော်မှန်းချက်အောက်တွင်ရှိပြီး "အံမဝင်လောက်သာ" ကြမ်းပြင်အထက်တွင် ရှိသင့်ပြီး ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစာရွက်စာတမ်းများတွင် ရေးသားထားသင့်သည်။

ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ပြီးနောက် အကြံပြုထားသည့်အရာများကို စစ်ဆေးပါ။

ပစ္စည်းကို စစ်ဆေးပါ။

ဖော်ပြချက်

အသွင်အပြင်နှင့် မျက်နှာပြင်

အညစ်အကြေးမရှိ၊ ပုံမှန်မဟုတ်သော တွင်းများမရှိ၊ အရောင်နှင့် ကြိုတင်သန့်ရှင်းမှု လက်ခံနိုင်ဖွယ်ရှိသည်။

အရေးပါသောအတိုင်းအတာများ

တည်နေရာနှင့် မိတ်လိုက်သည့်အတိုင်းအတာများသည် သည်းခံနိုင်မှုအတွင်းတွင် ရှိနေသေးသည်။

အထူ/တူညီမှု (နမူနာ)

အပင်ခွင့်ပြုထားသော ကန့်သတ်ချက်အောက် နိမ့်သော အရေးကြီးဇုန်များ

ကိရိယာဖြင့် စစ်ဆေးခြင်း

ပုံမှန်ထုတ်လုပ်ခြင်းမပြုမီ အမှုန်များနှင့် အပူစက်ကွင်းများကို အတည်ပြုရန် အသေးစားအသုတ်

3.Full Lifecycle Management သည် လည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို မည်သို့လျှော့ချနိုင်မည်နည်း။

အဓိက နိဂုံး-ဝယ်ယူခြင်း၊ ကိရိယာပေါ်ရှိ စောင့်ကြည့်ခြင်း၊ သန့်ရှင်းရေး/ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် အငြိမ်းစားယူခြင်းတို့ကို အပိတ်ကွင်းထဲသို့ ချိတ်ဆက်ပါ။ "တစ်ပြေးခြင်းအတွက် ကုန်ကျစရိတ်အားလုံး" ကို ဆုံးဖြတ်ပါ၊ "ယူနစ်ဝယ်ယူမှုစျေးနှုန်း" ကို ဆုံးဖြတ်ပါ။ အပေါ်ယံမှ ပြန်လည်ကောင်းမွန်နေချိန်တွင် ပြန်ထုတ်ပါ။ အန္တရာယ်များလာသောအခါတွင် ပြတ်ပြတ်သားသား အစားထိုးပါ—များသောအားဖြင့် စောင်အပိုင်းအစများ သို့မဟုတ် အလွန်အကျွံသုံးခြင်းထက် ဈေးသက်သာသည်။

ဘဝစက်ဝန်း စီမံခန့်ခွဲမှု၏ အဓိကအချက်မှာ အလေ့အကျင့်ဖြစ်သည်- စောစီးစွာ အနားယူခြင်းသည် အညစ်အကြေးများကို ဖုံးအုပ်ထားသော ဘဝ၊ နောက်ကျလွန်းသဖြင့် အစားထိုးခြင်းသည် အထွက်နှုန်းနှင့် အချိန်ကုန်ခြင်းအတွက် ပေးချေသည်။

လုပ်ဆောင်နိုင်သော စီမံခန့်ခွဲမှု အဆင့်များ

1. အပိုင်းမှတ်တမ်းတစ်ခုတည်ဆောက်ပါ- အများကြီး၊ လည်ပတ်ရေတွက်မှု၊ အမှုန်အမွှား/ကွဲလွဲမှားမှုမှတ်တမ်းများ၊ သန့်ရှင်းသောရေတွက်။

2. ပြန်လည်မွေးဖွားခြင်းအစပျိုးမှုများ (ဥပမာ အမှုန်အမွှားလမ်းကြောင်းများ၊ အသွင်အပြင်အဆင့်) နှင့် မဖြစ်မနေအငြိမ်းစားယူခြင်းဆိုင်ရာ စံနှုန်းများကို သတ်မှတ်ပါ။

3. ဒေတာရောနှောခြင်းကိုရှောင်ရှားရန် အစိတ်အပိုင်းအသစ်များမှ သီးခြားပြန်လည်ထုတ်လုပ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများကို အမှတ်အသားပြုလုပ်ပါ။

4. အငြိမ်းစားယူပြီးနောက်၊ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း/အားလပ်ချိန်ကို ချက်ခြင်းစတင်ပါ။ စက်ပစ္စည်း- လိုက်ဖက်ညီမှုနှင့် ရွေးချယ်မှုအစုအဝေးစာမျက်နှာများသို့ ချိတ်ဆက်ပါ။

4.ဖြစ်ရပ်မှန်လေ့လာမှု- “ဆေးကြောနိုင်သော်လည်း ဆေးကြောခြင်း နောက်ကျခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အမှုန်အမွှားတက်ခြင်း”

အဓိက နိဂုံး-သန့်ရှင်းရေးနှင့် ပြန်လည်ထူထောင်ရေးတွင် ပြတင်းပေါက်တစ်ခုရှိသည်။ အပေါ်ယံပိုင်းအရ ပါးလွှာပြီး မျက်နှာပြင်သည် ပျက်စီးသွားသည်အထိ စောင့်ဆိုင်းပြီး အမှုန်အမွှားများ ထပ်မံမပေါ်မီ ခေတ္တမျှသာ လျော့နည်းသွားတတ်သည်။ အသိုက်များလွှမ်းမိုးနေချိန်တွင် ကြားဝင်ဆောင်ရွက်ပေးပြီး အပေါ်ယံအလွှာသည် နဂိုအတိုင်းရှိနေပါက ပိုမိုတည်ငြိမ်သော ပြန်လည်ရှင်သန်ခြင်းအကျိုးကျေးဇူးကို ရရှိစေပါသည်။

အင်ဂျင်နီယာမှတ်စု-

GaN MOCVD လိုင်းတစ်ခုသည် "အမှုန်များ ကန့်သတ်ချက်ထက်ကျော်လွန်နေမှသာ အစုအဝေးတစ်ခုလုံးကို အစားထိုးရန်" နည်းဗျူဟာကို အသုံးပြုခဲ့သည်။CVD SiC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။လက်ခံသူများ။ အလယ်အလတ်ဘဝတွင် အမှုန်များသည် ဖြည်းညှင်းစွာတက်သော်လည်း ပျမ်းမျှသက်တမ်းသည် သမိုင်းဝင်ပြောင်းလဲမှုအမှတ်သို့ မရောက်သေးသောကြောင့် သန့်ရှင်းရေးကို စီစဉ်ထားခြင်းမရှိပါ။ နောက်နှစ်ပတ်အတွင်း၊ အစွန်းအမှုန်များသည် ကိရိယာအများအပြားတွင် အတူတကွ မြင့်တက်လာပြီး အစုလိုက်အပြုံလိုက် စက်ရပ်ချိန်နှင့် အပိုအစိတ်အပိုင်းဖိအားများဖြင့် အစောပိုင်းတွင် အစုလိုက်အပြုံလိုက် ပြောင်းလဲမှုကို တွန်းအားပေးခဲ့သည်။ စောစီးစွာ ဖယ်ရှားထားသော အစိတ်အပိုင်းများကို စစ်ဆေးခြင်းမှာ ကြီးမားသော ဧရိယာ အပေါ်ယံပိုင်း ကွဲထွက်မှု မရှိခြင်း၊ အဓိကအားဖြင့် လုပ်ငန်းစဉ်သိုက်များ ထူလာကာ ဒေသတွင်း အသေးစား ကြမ်းတမ်းမှု တိုးလာခြင်းဖြစ်သည်။ အထူနမူနာကောက်ယူခြင်းသည် အပင်၏ပြန်လည်ဖြစ်ထွန်းမှုနည်းပါးသောကန့်သတ်ချက်ထက် အရေးကြီးသောဇုန်များကိုပြသခဲ့သည်။ အမှုန်များသည် တည်ငြိမ်သော အထက်လမ်းကြောင်းကို ပထမဦးစွာပြသသောအခါ သန့်ရှင်းရေး/ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ရန် စီစဉ်ထားပါက၊ သမိုင်းအတွေ့အကြုံအရ နောက်ထပ်အသုံးပြုနိုင်သော အသက်ကို ပြန်လည်ရရှိရန် အခွင့်အလမ်းမြင့်မားကြောင်း အကြံပြုထားသည်။ ထို့နောက် စာကြောင်းတွင် N consecutive runs အတွက် "အတွင်းပိုင်းထိန်းချုပ်မှုအထက်ရှိ အမှုန်အမွှားများ" ကို သန့်ရှင်းရေးအစပျိုးထဲသို့ ရေးခဲ့သည်၊ အသွင်အပြင် + အတိုင်းအတာ + သေးငယ်သောအသုတ်ကိရိယာပေါ်ရှိ စစ်ဆေးခြင်းတို့ကို ပြန်လည်ပြုလုပ်ရန် လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းများကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပြီး ပြန်မလာမီ အစိတ်အပိုင်းအသစ်ဖြင့် မဖြစ်မနေ အငြိမ်းစားယူခြင်းစံနှုန်းများကို ချိန်ညှိထားသည်— "လျှော်နိုင်သော်လည်း မလုပ်ခဲ့ပါ၊ အသုံးမပြုနိုင်သည့်အခါမှသာ ပြောင်းလဲပါသည်။" ဤကိစ္စရပ်က ဖော်ပြသည်- ဘဝစက်ဝန်းစီမံခန့်ခွဲမှုသည် နောက်ဆုံးအပိုင်းအစအမှတ်သာမကဘဲ အစပျိုးအမှတ်များကို ဖမ်းယူရမည်ဖြစ်သည်။ သန့်ရှင်းရေးနှင့် ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် ကုန်ကျစရိတ်ကိရိယာနှင့် cadence tool နှစ်ခုလုံးဖြစ်သည်။

5.အမြဲမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ

1. အဲလောက်CVD SiC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။အစိတ်အပိုင်းများကို သန့်စင်ပြီး ပြန်လည်ထုတ်လုပ်မည်လား။

နံပါတ်၊ ၎င်းသည် အပေါ်ယံ ခိုင်မာမှု၊ ကျန်အထူ၊ အလွှာအခြေအနေနှင့် ညစ်ညမ်းမှု အမျိုးအစားအပေါ် မူတည်သည်။ ကွဲအက်ခြင်း၊ ပြင်းထန်စွာ ပါးလွှာခြင်း သို့မဟုတ် အလွှာပျက်စီးမှုရှိသော အစိတ်အပိုင်းများကို အနားပေးသင့်သည်။

2. မျိုးပွားပြီးနောက် သက်တမ်းတစ်လျှောက် အပိုင်းအသစ်အဆင့်သို့ ပြန်သွားနိုင်ပါသလား။

အများအားဖြင့် ၎င်းကို အပိုင်းအသစ်တစ်ခုနှင့် ရိုးရိုးရှင်းရှင်း ညီမျှခြင်းမပြုနိုင်ပါ။ ကျိုးကြောင်းဆီလျော်သောမျှော်လင့်ချက်သည် အသုံးပြုနိုင်သော နောက်ထပ်အသက်အပိုင်းတစ်ခု၏ ပြန်လည်ရယူခြင်းဖြစ်သည်၊ အပိုင်းအသစ်များကို တိုက်ရိုက်မွမ်းမံခြင်းဖြင့် မဟုတ်ဘဲ မှတ်တမ်းများနှင့် ကိရိယာစစ်ဆေးခြင်းတို့ဖြင့် စီမံခန့်ခွဲပါ။

3. သန့်ရှင်းရေးက အပေါ်ယံပိုင်းကို ပျက်စီးစေနိုင်သလား။

မလျော်ကန်တဲ့ လုပ်ငန်းစဉ်တွေ လုပ်နိုင်တယ်။ အပေါ်ယံပိုင်းစနစ်နှင့် ကိုက်ညီသော သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းကို ရွေးချယ်ပြီး ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ပြီးနောက် အသွင်အပြင်နှင့် လိုအပ်သော အထူ/မျက်နှာပြင် တိုင်းတာမှုများကို စစ်ဆေးပါ။

4. သန့်ရှင်းသောရေတွက်အပေါ် ကန့်သတ်ချက်ကို မည်သို့သတ်မှတ်မည်နည်း။

အထူအောက်ပိုင်းကန့်သတ်ချက်၊ အမှုန်ပြန်လည်မြင့်တက်လာမှုနှုန်းနှင့် သမိုင်းဆိုင်ရာအချက်အလက်များကို ပေါင်းစပ်ပါ။ အကြိမ်ရေများစွာ ပြုပြင်ပြီးနောက် အကျိုးကျေးဇူး သိသိသာသာ ကျဆင်းသွားပါက၊ အငြိမ်းစားယူခြင်းနှင့် အစားထိုးခြင်းသို့ ရွှေ့ပါ။

5. ၎င်းသည် ရွေးချယ်မှုနှင့် အရည်အသွေးလက်ခံမှုနှင့် မည်သို့ဆက်စပ်သနည်း။

ရွေးချယ်မှုသည် ပစ္စည်းစနစ်အား သတ်မှတ်သည်။ အရည်အသွေး တိုင်းတာမှုများသည် ဝင်လာသော စံနှုန်းများကို သတ်မှတ်သည်။ သန့်ရှင်းရေး/ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အလယ်အလတ်ဘဝကုန်ကျစရိတ်နှင့် အန္တရာယ်ကို သတ်မှတ်သည်။ သုံးဦးစလုံးသည် တစ်ဦးနှင့်တစ်ဦး စကားမပြောမိစေရန် အထူ၊ အမှုန်များနှင့် အသွင်အပြင်အတွက် တူညီသောဘာသာစကားကို အသုံးပြုသင့်သည်။

6.အနှစ်ချုပ်နှင့် နောက်အဆင့်များ

သန့်ရှင်းရေးနှင့် ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အပိုင်းအစများကို နှောင့်နှေးစေသော နည်းလမ်းမဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် အပေါ်ယံအလွှာကို ပြန်လည်ရရှိနိုင်သေးစဉ်တွင် အသုံးပြုနိုင်သော သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ရန် ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ပြတ်ပြတ်သားသား အစပျိုးမှုများကို ရေးသားခြင်း၊ မျိုးဆက်သစ်ပြန်လည်လက်ခံခြင်းနှင့် အငြိမ်းစားယူခြင်းဆိုင်ရာ စံနှုန်းများသည် အများအားဖြင့် ပြေးနှုန်းနှင့် လိုင်းတည်ငြိမ်မှုနှစ်မျိုးလုံးကို တိုးတက်စေသည်။

အကယ်၍ သင်သည် သီးခြားအစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ပြန်လည်ထူထောင်ရန်အတွက် သင့်လျော်မှုရှိမရှိ အကဲဖြတ်ရန် သို့မဟုတ် မှတ်တမ်းများနှင့် အစပျိုးခြင်းဆိုင်ရာ စည်းမျဉ်းများကို တည်ဆောက်ရန် လိုအပ်ပါက၊ သင်သည် VeTek နည်းပညာဆိုင်ရာအဖွဲ့ထံ ဆက်သွယ်ရန် ကြိုဆိုပါသည်။ ဒေါက်တာ Xiao နှင့် အင်ဂျင်နီယာအဖွဲ့သည် သန့်ရှင်းမှုအကဲဖြတ်ခြင်း၊ ပြန်လည်လက်ခံခြင်းနှင့် အစားထိုးမှုပုံစံများကို ကူညီပေးနိုင်သည်။

အရည်အသွေးတိုင်းတာမှုများအတွက်၊ ကြည့်ပါ-VETEK | လုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများဖြင့် SiC Coating၊ TaC Coating သို့မဟုတ် Solid SiC ကို ရွေးချယ်နည်း; မူဘောင်အပြည့်အစုံအတွက် တိုင်စာမျက်နှာကို ကြည့်ပါ။Epitaxy နှင့် Etching လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် CVD SiC၊ TaC နှင့် Solid SiC တို့၏ စွမ်းဆောင်ရည်ဘောင်များ.


ပင်မအကိုးအကားများနှင့် ဒေတာအရင်းအမြစ်များ

1. VeTek Semiconductor အတွင်းပိုင်း အင်ဂျင်နီယာ နှင့် ဖောက်သည် ထိန်းသိမ်းခြင်း/ သန့်ရှင်းရေး အလေ့အကျင့်။

2. Semiconductor Epitaxy & Etching Etching Equipment အတွက် CVD Coating Consumables Selection Engineering Handbook တွင် Lifecycle နှင့် coating in-used maintenance မှတ်စုများ။

3. VeTek တရားဝင်ဝဘ်ဆိုဒ် ထုတ်ကုန်နှင့် သန့်ရှင်းရေးဆိုင်ရာ နည်းပညာပစ္စည်းများ- https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

4. ASTM C1282-17 — ဓာတုကြာရှည်ခံမှုနှင့် CVD Coatings ၏ Etch Rate အတွက် စံစမ်းသပ်နည်းလမ်း (အပေါ်ယံဓာတုဗေဒကြာရှည်ခံမှုအတွက် ရည်ညွှန်းချက်နှင့် etch-rate ဆက်စပ်အကဲဖြတ်ခြင်း)။

5. အစိတ်အပိုင်းများ သန့်ရှင်းရေးနှင့် လက်ခံခြင်းဆိုင်ရာ SEMI စံနှုန်းများ (အစိတ်အပိုင်းများ သန့်ရှင်းရေး၊ ညစ်ညမ်းမှု ထိန်းချုပ်ရေးနှင့် အဝင်/အထွက် စံနှုန်းများအတွက် စက်မှုလက်တွေ့ အကိုးအကားများ၊ အဝင်/အထွက် စံနှုန်းများ၊ fab မှ အတည်ပြုထားသော သီးခြား SEMI စာရွက်စာတမ်း(များ) ကို အသုံးပြုပါ)။

မှတ်ချက်- သန့်ရှင်းရေး/ပြန်လည်ထုတ်လုပ်ခြင်း ရလဒ်များသည် လုပ်ငန်းစဉ်၊ ညစ်ညမ်းမှုအမျိုးအစားနှင့် အပေါ်ယံပိုင်းအခြေအနေတို့နှင့် ကွဲပြားသည်။ အမှန်တကယ် ဆုံးဖြတ်ချက်များသည် အကဲဖြတ်ခြင်းနှင့် ကိရိယာပေါ်ရှိ စစ်ဆေးခြင်းတို့ကို လိုက်နာပါသည်။


ရေးသားသူ- VeTek Semiconductor Technical Engineering Team (ဒေါက်တာ Xiao ၏ လမ်းညွှန်မှုဖြင့် ပြီးမြောက်သည်)

နောက်ထပ် နည်းပညာဆိုင်ရာ ဆွေးနွေးမှု သို့မဟုတ် နမူနာ အကဲဖြတ်ခြင်းအတွက်၊ တရားဝင် ဝဘ်ဆိုက်မှတဆင့် ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

သတင်းအကြံပြုချက်များ
X
သင့်အား ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြည့်ရှုမှုအတွေ့အကြုံကို ပေးဆောင်ရန်၊ ဆိုက်အသွားအလာကို ပိုင်းခြားစိတ်ဖြာပြီး အကြောင်းအရာကို ပုဂ္ဂိုလ်ရေးသီးသန့်ပြုလုပ်ရန် ကျွန်ုပ်တို့သည် ကွတ်ကီးများကို အသုံးပြုပါသည်။ ဤဆိုက်ကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ cookies အသုံးပြုမှုကို သင်သဘောတူပါသည်။ ကိုယ်ရေးအချက်အလက်မူဝါဒ
ငြင်းပယ်ပါ။လက်ခံပါတယ်။