Solid Silicon Carbide

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide သည် plasma etching equipment ၊ solid silicon carbide (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) etching equipment တွင် အစိတ်အပိုင်းများ ပါဝင်သည်။အာရုံစိုက်ကွင်းများဓာတ်ငွေ့ရေချိုးခန်းခေါင်း၊ ဗန်း၊ အစွန်းကွင်းစသည်ဖြင့်၊ အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) ၏ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် လျှပ်ကူးနိုင်မှုနည်းပါးခြင်းကြောင့် ကလိုရင်းနှင့် ဖလိုရင်းပါရှိသော ဖလိုရင်းပါရှိသော etching gases သည် ပလာစမာ သတ္တုတူးဆွယ်သည့်ကိရိယာအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အစိတ်အပိုင်းများ။

ဥပမာအားဖြင့်၊ focus ring သည် wafer အပြင်ဘက်တွင်ရှိသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး wafer နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့မှုတွင်၊ ring မှ ဖြတ်သွားသော plasma ကို အာရုံစိုက်ရန် ဗို့အားကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် wafer ပေါ်ရှိ ပလာစမာကို အာရုံစူးစိုက်နိုင်စေရန်၊ လုပ်ဆောင်ခြင်း။ ရိုးရာ focus ring ကို ဆီလီကွန် သို့မဟုတ် ပြုလုပ်ထားသည်။quartz၊ လျှပ်ကူးနိုင်သော ဆီလီကွန်သည် အာရုံစူးစိုက်သည့် လက်စွပ်ပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့်၊ ၎င်းသည် ဆီလီကွန် wafers များ၏ conductivity နှင့် နီးစပ်သော်လည်း၊ ဖလိုရင်းပါရှိသော ပလာစမာတွင် ဖလိုရင်းပါရှိသော etching resistance နည်းပါးသည်၊ မကြာခဏ အသုံးပြုလေ့ရှိသော စက်အစိတ်အပိုင်းပစ္စည်းများသည် အချိန်အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ ပြင်းထန်လိမ့်မည်၊ သံချေးတက်ခြင်းဖြစ်စဉ်၊ ၎င်း၏ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို ပြင်းပြင်းထန်ထန် လျှော့ချသည်။

Solid SiC Focus Ringအလုပ်အခြေခံ：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။

နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။
ကုသိုလ်ကံ	နှင့်	CVD SiC
သိပ်သည်းဆ (g/cm³)	2.33	3.21
တီးဝိုင်းကွာဟချက် (eV)	1.12	2.3
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (W/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^စာ-၆/℃)	2.6	4
Elastic modulus (Gpa)	150	440
မာကျောမှု (Gpa)	11.4	24.5
ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် ချေးတက်ခြင်း။	ဆင်းရဲတယ်။	မြတ်သော

VeTek Semiconductor သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် SiC focusing rings ကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်အစိုင်အခဲများကို ပေးဆောင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက်အာရုံစိုက်ကွင်းများသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှု၊ ဓာတုခုခံမှု၊ အပူစီးကူးမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် အိုင်းယွန်း etching ခံနိုင်ရည်တို့၌ ရိုးရာဆီလီကွန်ထက် သာလွန်သည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ ပါဝင်သည်။:

ခြစ်ရာနှုန်းကို လျှော့ချရန်အတွက် သိပ်သည်းဆမြင့်မားသည်။

မြင့်မားသော bandgap နှင့်အတူအလွန်ကောင်းမွန်သော insulation ။

မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့်အပူချဲ့ထွင်မှု၏နိမ့်သောကိန်း။

သာလွန်သောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာသက်ရောက်မှုခံနိုင်ရည်နှင့် elasticity ။

မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်နှင့် သံချေးတက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အသုံးပြုပြီး ထုတ်လုပ်ထားပါတယ်။ပလာစမာ- မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအငွေ့များ စုပုံခြင်း (PECVD)နည်းပညာများ၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် etching လုပ်ငန်းစဉ်များ တိုးလာနေသော တောင်းဆိုမှုများကို ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။ အထူးသဖြင့် ၎င်းတို့သည် ပိုမိုမြင့်မားသော ပလာစမာပါဝါနှင့် စွမ်းအင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။capacitively coupled ပလာစမာ (CCP)စနစ်များ။

VeTek Semiconductor ၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုပေးစွမ်းသည်။ သာလွန်အရည်အသွေးနှင့် ထိရောက်မှုတို့အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC အစိတ်အပိုင်းများကို ရွေးချယ်ပါ။

View as

အစိုင်အခဲ sicucing လက်စွပ်

Solid SiC Etching Focusing Ring သည် wafer etching လုပ်ငန်းစဉ်၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းသည် wafer ကို ပြုပြင်ခြင်း၊ ပလာစမာကို အာရုံစိုက်ခြင်းနှင့် wafer etching တူညီမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေခြင်းတွင် ပါဝင်ပါသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း SiC Focusing Ring ထုတ်လုပ်သူအနေဖြင့် VeTek Semiconductor သည် အဆင့်မြင့်နည်းပညာနှင့် ရင့်ကျက်သောလုပ်ငန်းစဉ်ရှိပြီး သုံးစွဲသူများ၏လိုအပ်ချက်နှင့်အညီ အဆုံးစွန်သောဖောက်သည်များ၏လိုအပ်ချက်များကို အပြည့်အဝဖြည့်ဆည်းပေးသည့် Solid SiC Etching Focusing Ring ကို ထုတ်လုပ်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် သင်၏စုံစမ်းမေးမြန်းမှုကို စောင့်မျှော်နေပြီး တစ်ဦးနှင့်တစ်ဦး၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော်များ ဖြစ်လာစေရန် မျှော်လင့်ပါသည်။

ပိုမိုကြည့်ရှုပါ။ >> စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ >>

တရုတ်နိုင်ငံရှိပရော်ဖက်ရှင်နယ် Solid Silicon Carbide ထုတ်လုပ်သူနှင့်ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူတစ် ဦး အနေဖြင့်ကျွန်ုပ်တို့၏ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင်၏ဒေသဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်စိတ်ကြိုက် 0 န်ဆောင်မှုများလိုအပ်ပါသလား။

QR ကုဒ်

ကြှနျုပျတို့အကွောငျး

ထုတ်ကုန်များ

ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျ

ဖုန်း
+86-18069220752
ဖက်စ်
+86-579-87223657
အီးမေး
anny@veteksemi.com
လိပ်စာ
Wangda လမ်း, Ziyang လမ်း, ဝမ်မြို့, ဂျီဟွာမြို့, ဂျီဟွာစီးတီး, Zhejiang ပြည်နယ်,

ဝဘ်မီနူး

ထုတ်ကုန်ရှာဖွေမှု

ဘာသာစကား

မီနူးမှ ထွက်ပါ။

Solid Silicon Carbide

ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ ပါဝင်သည်။:

အစိုင်အခဲ sicucing လက်စွပ်

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

QR ကုဒ်

ကြှနျုပျတို့အကွောငျး

ထုတ်ကုန်များ

ကြှနျုပျတို့ကိုဆကျသှယျရနျ

ဖုန်း

ဖက်စ်

အီးမေး

လိပ်စာ