ထုတ်ကုန်များ
ထုတ်ကုန်များ

Solid Silicon Carbide

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide သည် plasma etching equipment ၊ solid silicon carbide (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) etching equipment တွင် အစိတ်အပိုင်းများ ပါဝင်သည်။အာရုံစိုက်ကွင်းများဓာတ်ငွေ့ရေချိုးခန်းခေါင်း၊ ဗန်း၊ အစွန်းကွင်းစသည်ဖြင့်၊ အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) ၏ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် လျှပ်ကူးနိုင်မှုနည်းပါးခြင်းကြောင့် ကလိုရင်းနှင့် ဖလိုရင်းပါရှိသော ဖလိုရင်းပါရှိသော etching gases သည် ပလာစမာ သတ္တုတူးဆွယ်သည့်ကိရိယာအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အစိတ်အပိုင်းများ။


ဥပမာအားဖြင့်၊ focus ring သည် wafer အပြင်ဘက်တွင်ရှိသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး wafer နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့မှုတွင်၊ ring မှ ဖြတ်သွားသော plasma ကို အာရုံစိုက်ရန် ဗို့အားကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် wafer ပေါ်ရှိ ပလာစမာကို အာရုံစူးစိုက်နိုင်စေရန်၊ လုပ်ဆောင်ခြင်း။ ရိုးရာ focus ring ကို ဆီလီကွန် သို့မဟုတ် ပြုလုပ်ထားသည်။quartz၊ လျှပ်ကူးနိုင်သော ဆီလီကွန်သည် အာရုံစူးစိုက်သည့် လက်စွပ်ပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့်၊ ၎င်းသည် ဆီလီကွန် wafers များ၏ conductivity နှင့် နီးစပ်သော်လည်း၊ ဖလိုရင်းပါရှိသော ပလာစမာတွင် ဖလိုရင်းပါရှိသော etching resistance နည်းပါးသည်၊ မကြာခဏ အသုံးပြုလေ့ရှိသော စက်အစိတ်အပိုင်းပစ္စည်းများသည် အချိန်အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ ပြင်းထန်လိမ့်မည်၊ သံချေးတက်ခြင်းဖြစ်စဉ်၊ ၎င်း၏ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို ပြင်းပြင်းထန်ထန် လျှော့ချသည်။


Solid SiC Focus Ringအလုပ်အခြေခံ

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။

နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။
ကုသိုလ်ကံ နှင့် CVD SiC
သိပ်သည်းဆ (g/cm3) 2.33 3.21
တီးဝိုင်းကွာဟချက် (eV) 1.12 2.3
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (W/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10စာ-၆/℃) 2.6 4
Elastic modulus (Gpa) 150 440
မာကျောမှု (Gpa) 11.4 24.5
ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် ချေးတက်ခြင်း။ ဆင်းရဲတယ်။ မြတ်သော


VeTek Semiconductor သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် SiC focusing rings ကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်အစိုင်အခဲများကို ပေးဆောင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက်အာရုံစိုက်ကွင်းများသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှု၊ ဓာတုခုခံမှု၊ အပူစီးကူးမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် အိုင်းယွန်း etching ခံနိုင်ရည်တို့၌ ရိုးရာဆီလီကွန်ထက် သာလွန်သည်။


ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ ပါဝင်သည်။:

ခြစ်ရာနှုန်းကို လျှော့ချရန်အတွက် သိပ်သည်းဆမြင့်မားသည်။

မြင့်မားသော bandgap နှင့်အတူအလွန်ကောင်းမွန်သော insulation ။

မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့်အပူချဲ့ထွင်မှု၏နိမ့်သောကိန်း။

သာလွန်သောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာသက်ရောက်မှုခံနိုင်ရည်နှင့် elasticity ။

မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်နှင့် သံချေးတက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အသုံးပြုပြီး ထုတ်လုပ်ထားပါတယ်။ပလာစမာ- မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအငွေ့များ စုပုံခြင်း (PECVD)နည်းပညာများ၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် etching လုပ်ငန်းစဉ်များ တိုးလာနေသော တောင်းဆိုမှုများကို ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။ အထူးသဖြင့် ၎င်းတို့သည် ပိုမိုမြင့်မားသော ပလာစမာပါဝါနှင့် စွမ်းအင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။capacitively coupled ပလာစမာ (CCP)စနစ်များ။

VeTek Semiconductor ၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုပေးစွမ်းသည်။ သာလွန်အရည်အသွေးနှင့် ထိရောက်မှုတို့အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC အစိတ်အပိုင်းများကို ရွေးချယ်ပါ။


View as  
 
ဆီလီကွန်ကာဗွန်တံဆိပ်ခတ်လက်စွပ်

ဆီလီကွန်ကာဗွန်တံဆိပ်ခတ်လက်စွပ်

Silicon Carbide Seals Silicon Silicon Silicon Silicon Silicon Silicon Silicon Silicon Silicon Silicon Silicon Sealon Ring တွင် Vetek Semiconductor Silicon Seal လက်စွပ်သည်အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူချိန်, အထူးသဖြင့် CVD, PVD နှင့် Plasma etching ကဲ့သို့သောအပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်ဓာတ်ပြုခြင်းဓာတ်အားပေးစက်ရုံများပါ 0 င်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက်သင့်လျော်သည်။ သင်၏နောက်ထပ်မေးမြန်းစုံစမ်းလိုများကိုကြိုဆိုပါတယ်။
SIC Crystal ကြီးထွားမှုအတွက် CVD SIC Sic Block

SIC Crystal ကြီးထွားမှုအတွက် CVD SIC Sic Block

CVD SIC Crystal တိုးတက်မှုအတွက် CVD Sic Block သည် Vetek Sememannuctor မှထုတ်လုပ်သောသန့်စင်ရေးကုန်ကြမ်းပစ္စည်းအသစ်ဖြစ်သည်။ ၎င်းတွင် input-output အချိုးအစားရှိပြီးအရည်အသွေးမြင့်မားသော silicon carbide တစ်ခုတည်းသော crystals များရှိပြီးအရည်အသွေးမြင့်မားသော silicon carbide တစ်ခုတည်းသော Crystals များကိုကြီးထွားစေနိုင်သည်။ နည်းပညာဆိုင်ရာပြ issues နာများကိုဆွေးနွေးရန်ကြိုဆိုပါသည်။
SIC Crystal တိုးတက်မှုနှုန်းနည်းပညာအသစ်

SIC Crystal တိုးတက်မှုနှုန်းနည်းပညာအသစ်

Vetek Semiconductor ၏ Ultra-High မြင့်မားသော silicon carbide (SIC) ကိုဓာတုငွေ့စုဆောင်းခြင်း (CVD) ကိုဖွဲ့စည်းရန် (CVD) ကိုရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအငွေ့သယ်ယူပို့ဆောင်ရေး (PVT) ကြီးထွားလာရန်အတွက်အရင်းအမြစ်အဖြစ်အသုံးပြုရန်အကြံပြုသည်။ SIC Crystal ကြီးထွားမှုနည်းပညာအသစ်တွင်အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းများကို crucible တစ်ခုထဲသို့ တင်. မျိုးစေ့ကျောက်သလင်းသို့ဆွဲဆောင်သည်။ ကြီးထွားလာသော SIC Crystals အတွက်အရင်းအမြစ်အဖြစ်ဖြစ်ရန်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော CVD SIC လုပ်ကွက်များကိုအသုံးပြုပါ။ ငါတို့နှင့်မိတ်ဖက်အဖွဲ့အစည်းများတည်ထောင်ရန်ကြိုဆိုပါသည်။
CVD SIC ရေချိုးခန်းခေါင်း

CVD SIC ရေချိုးခန်းခေါင်း

Vetek Semiconductor သည် CVD SIC SIC Sic Mobile Head Head Head Head Head Head Height Make နှင့် Involiver ကိုတီထွင်ခဲ့သည်။ TISS SIC SICLE SICSION တည်ငြိမ်မှု, ကျွန်ုပ်တို့သည်သင်၏တရုတ်နိုင်ငံတွင်ရေရှည်မိတ်ဖက်ဖြစ်လာရန်မျှော်လင့်ပါသည်။
SIC ရေချိုးခန်းခေါင်း

SIC ရေချိုးခန်းခေါင်း

Vetek Semiconductor သည်တရုတ်နိုင်ငံတွင် SIC ရေချိုးခန်း ဦး စီးဌာနမှူးအကြီးအကဲများထုတ်လုပ်သူနှင့်တီထွင်ဆန်းသစ်တီထွင်သူများဖြစ်သည်။ Sic Work Entime သည်အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူရှိန်စွမ်းရည်နှင့် Plasma Erosion ကိုခုခံနိုင်မှုမြင့်မားခြင်းကြောင့်လက်စွပ်တစ်ခုအဖြစ်ရွေးချယ်ခြင်းဖြစ်သည်။
အစိုင်အခဲ SIC ဓာတ်ငွေ့ရေချိုးခန်းခေါင်း

အစိုင်အခဲ SIC ဓာတ်ငွေ့ရေချိုးခန်းခေါင်း

Solid SiC Gas Shower Head သည် CVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဂတ်စ်ယူနီဖောင်းပြုလုပ်ရာတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပြီး အလွှာ၏တူညီသောအပူရှိန်ကိုသေချာစေသည်။ VeTek Semiconductor သည် ခိုင်မာသော SiC စက်ပစ္စည်းများ၏နယ်ပယ်တွင် နှစ်ပေါင်းများစွာ ထဲထဲဝင်ဝင်ပါဝင်ခဲ့ပြီး သုံးစွဲသူများကို စိတ်ကြိုက် Solid SiC Gas Shower Heads များဖြင့် ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။ သင့်လိုအပ်ချက်များ မည်သို့ပင်ရှိစေကာမူ သင့်စုံစမ်းမေးမြန်းမှုကို ကျွန်ုပ်တို့ စောင့်မျှော်နေပါသည်။
တရုတ်နိုင်ငံရှိပရော်ဖက်ရှင်နယ် Solid Silicon Carbide ထုတ်လုပ်သူနှင့်ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူတစ် ဦး အနေဖြင့်ကျွန်ုပ်တို့၏ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင်၏ဒေသဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်စိတ်ကြိုက် 0 န်ဆောင်မှုများလိုအပ်ပါသလား။
သတင်းအကြံပြုချက်များ
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept