Sic အစွန်းလက်စွပ်

Semiconductor Troachuring ထုတ်လုပ်ခြင်း, Sic အစွန်းကွင်းများတွင် Wafer processing process ၏အဓိကအစိတ်အပိုင်းများအနေဖြင့်စက်မှုဇုန်၏ဂုဏ်သတ္တိများကိုသူတို့၏ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများဖြင့်တော်လှန်ပြောင်းလဲစေခြင်းများပြုလုပ်နေသည်။ ဆီလီကွန်ကာလက်တစ်ချောင်းဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောဤတိကျသော Crystals ၏တန်ဖိုးသည်၎င်း၏အဆင့်မြင့်နည်းပညာအကြောင်းအရာများတွင်သာမကအထွက်နှုန်းတိုးတက်လာခြင်းနှင့် 0 င်ရောက်မှုဆိုင်ရာကုန်ကျစရိတ်များကိုပိုမိုကောင်းမွန်စေပြီးပါ 0 င်သောကုန်ကျစရိတ်များကိုပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။

SIC အစွန်းလက်စွပ်ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာဝိသေသလက္ခဏာများ

Silicon Carbide Edge Leights သည် Semiconductor abeting abeting tetching actching above တွင်အဓိကစားသုံးနိုင်သောအစိတ်အပိုင်းများဖြစ်ပြီးဓာတုအခိုးအငွေ့ (CVD) နည်းလမ်း (CVD) နည်းလမ်းဖြင့်ပြင်ဆင်ထားသည့်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော silicon carbide ပစ္စည်းများဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်း၏အရာဖွဲ့စည်းပုံ၏အချင်းသည်များသောအားဖြင့် 200-450mm ဖြစ်ပြီးအထူကို 5-15 မီလီမီတာတွင်ထိန်းချုပ်ထားပြီးအောက်ပါဝိသေသလက္ခဏာများကိုပါ 0 င်သည်။

1. လက်ဝါးကပ်တိုင်သည်းခံစိတ်

2 ။ Plasma တည်ငြိမ်မှု - dielectric စဉ်ဆက်မပြတ် 9.7, Break Bull Voltage 3MV / CM

3 ။ ဂျီ ometric မေတြီတိကျမှန်ကန်မှု: Roundness အမှား≤0.05mm, မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်း ra <0.2μm

ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွက်အောင်မြင်မှု

ခေတ်မီပြင်ဆင်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်သည်အဆင့်သုံးဆင့်ကိုမွေးစားသည်။

1 ။ Matrix ကိုဖွဲ့စည်းခြင်း - isostatic နှိပ်ခြင်းပုံစံသည်ယူနီဖောင်းသိပ်သည်းဆကိုသေချာစေသည်

2 ။ မြင့်မားသောအပူချိန် sintering: 2100 ℃မှာ interp လေထုအတွက် densification ကုသမှု

3 ။ Surface Modification: nanoscale အကာအကွယ်ပေးထားသောအလွှာများကိုတုန့်ပြန်ခြင်းအိုင်းရစ်ခြင်း (Rie) မှတဆင့်ဖွဲ့စည်းထားသည်။ 3% သောဘိုရွန်နှင့်အတူ doped silicon carbide အစွန်းကွင်း၏ 0 န်ဆောင်မှုသက်တမ်းသည် 40% တိုးလာကြောင်း,

လျှောက်လွှာဇာတ်လမ်းတစ်ပုဒ်

၎င်းသည် IRRELLELATIONS တွင် IRRELLELATEBIESS ကို 5nm အောက်တွင်ဖော်ပြထားသည်။

2 ။ ယူနီဖောင်းစွဲချက်: ၎င်းသည်± 1.5% ၏ 1.5% ကိုသိုလှောင်ထားနိုင်သည်

3 ။ ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်မှု - ၎င်းသည်သတ္တုဓာတ်ညစ်ညမ်းမှုကို အခြေခံ. ရိုးရာ quartz ပစ္စည်းများနှင့်နှိုင်းယှဉ်လျှင် 92% ဖြင့်လျှော့ချသည်

4 ။ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုသံသရာ - ၎င်းသည် CF4 / O2 Plasma တွင်နာရီပေါင်း 1500 အတွက်စဉ်ဆက်မပြတ်လုပ်ဆောင်နိုင်သည်

Veteksemicon သည်ကုန်ကျစရိတ်များစွာကိုကယ်တင်နိုင်သည့် Sic Edge ကွင်းများတွင်ပြည်တွင်းထုတ်လုပ်မှုများတွင်အောင်မြင်မှုရရှိခဲ့သည်။ မည်သည့်အချိန်တွင်မဆိုကျွန်ုပ်တို့ကိုဆက်သွယ်ပါ။