ရွေးချယ်ရေးလမ်းညွှန်

ပစ္စည်းကို ရွေးချယ်ပြီးနောက်၊ ကိရိယာပေါ်ရှိ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ဆုံးဖြတ်လေ့ရှိသည့်အရာမှာ အထူတူညီမှု၊ အမှုန်အဆင့်နှင့် သန့်စင်မှုကဲ့သို့သော ပမာဏတိုင်းတာနိုင်သော မက်ထရစ်များဖြစ်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် လက်ခံမှုနှင့်အသုံးပြုမှုတွင် CVD SiC coating ၏အဓိကအရည်အသွေးအတိုင်းအတာများကိုစုစည်းပြီး "သတ်မှတ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီမှုများ" မှ "အစီရင်ခံစာကိုစစ်ဆေးနိုင်ပြီး အန္တရာယ်ကိုကြိုတင်ခန့်မှန်းနိုင်သည်။

ဤဆောင်းပါးသည် CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်း၊ TaC အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် Solid SiC ၏ အက်ပလီကေးရှင်းနယ်နိမိတ်များနှင့် အပူချိန်၊ လေထုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အမျိုးအစားအလိုက်၊ epitaxy နှင့် etching engineers များအား ရွေးချယ်စဉ်အတွင်း လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်များကို အမြန်ချိန်ညှိရန် ကူညီပေးပြီး အမှုန်အမွှားများနှင့် တစ်သက်တာအန္တရာယ်များကို ရှောင်ရှားကာ ပစ္စည်း-အခြေအနေမညီပါ။

Aixtron G10၊ Veeco၊ ASM susceptors နှင့် preheat rings အတွက် လိုက်ဖက်ညီမှုနှင့် အစားထိုးဖြေရှင်းချက်။ 1:1 ပုံဆွဲခြင်းအခြေခံ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း၊ ပုံမှန်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် အမြန်ပို့ဆောင်ခြင်း၊ စိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် 3-6 ပတ်၊ စစ်ဆေးခြင်းအစီရင်ခံစာများနှင့် နမူနာအကဲဖြတ်ခြင်းများ ပံ့ပိုးပေးပါသည်။

မှန်ကန်သော CVD SiC၊ TaC အပေါ်ယံပိုင်း သို့မဟုတ် Solid SiC ကိုရွေးချယ်ခြင်းသည် epitaxy/etching လိုင်းများတွင် အမှုန်အဆင့်များနှင့် အစိတ်အပိုင်းများ၏သက်တမ်းကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်သည်။ ဤဆောင်းပါးသည် သင့်အား လျင်မြန်သောဆုံးဖြတ်ချက်များချနိုင်စေရန်နှင့် အန္တရာယ်ကိုလျှော့ချနိုင်စေရန်အတွက် အဓိကစက်ပစ္စည်းအစားထိုးဖြေရှင်းချက်များနှင့် အဓိကတိုင်းတာမှုများနှင့်ကိုက်ညီသော အပူချိန်၊ လေထုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အလိုက် ပြတ်သားသောရွေးချယ်မှုနယ်နိမိတ်များကို ဖော်ပြပေးထားပါသည်။