Quartz ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးပြား

Quartz သဘာဝဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုပြားများကို Quartz Showerhead ဟုလည်းလူသိများသော Sememonductor လုပ်ကြံများ၌အရေးပါသောအစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ Quartz ၏ထူးခြားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်း, အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့်ချေးခြင်းခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း, အပ်နှံထားသောရုပ်ရှင်များသို့မဟုတ်စွဲစွဲမြဲမြဲအင်္ဂါရပ်များ၏အရည်အသွေးနှင့်တူညီမှုကိုထိန်းသိမ်းရန်ဤတိကျသောပေးပို့ခြင်းသည်မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်။

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော fused quartz ၏အဓိကအကြောင်းအရာများ

●ပစ္စည်း: 99.99% မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော quartz

●မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံ: 1000 ℃အထက်အပူချိန်နှင့်ဆီးတား

●တိုက်စားရန်- Process Gases နှင့် Plasma ပတ်ဝန်းကျင်ကိုဆန့်ကျင်။ ကောင်းမွန်သောကြာရှည်ခံမှု

●တိကျသောသဘာဝဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု- အကောင်းဆုံးဓာတ်ငွေ့ပို့ဆောင်ခြင်းနှင့်အကြွေစေ့ယူနီဖောင်းအတွက်ယူနီဖောင်းတွင်းအပေါက်ဖြန့်ဖြူးခြင်း

●စိတ်ကြိုက်ဒီဇိုင်း- အရွယ်အစား, အပေါက်ပုံစံနှင့် mounting features များကိုတိကျသောစက်ကိရိယာများအတွက်အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေနိုင်သည်

semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုအတွက်အဓိကအခန်းကဏ် roles

1 ။ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအငွေ့ (PVD) & ဓာတုအငွေ့အစု (CVD)

အခန်းက: PVD နှင့် CVD ဖြစ်စဉ်များတွင်ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုပန်းကန်သည်ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုပန်းကန် (E.G. , အလယ်အလတ်,

တိကျတဲ့အသုံးပြုမှု:

●စည်းမျဉ်းစည်းကမ်းများထိန်းချုပ်မှု - ပန်းကန်၏တိကျသောအင်ဂျင်နီယာ Micro-Holes သည်ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုနှင့်အာရုံစူးစိုက်မှုသည်လျှပ်စစ်ဓာတ်အားစီးဆင်းမှုတစ်ခုလုံးကို ဖြတ်. ယူနီဖောင်းသည်။ ၎င်းသည်ရုပ်ရှင်များကိုတသမတ်တည်းထူခြင်းနှင့်စွမ်းဆောင်ရည်များဖြင့်အပ်နှံရန်အလွန်အရေးကြီးသည်။

●ညစ်ညမ်းမှုကာကွယ်တားဆီးရေး - Quartz ၏သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည်ပန်းကန်သည်ပန်းကန်သည်လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့်အညစ်အကြေးများနှင့်ပြန်လည်မတုံ့ပြန်ရန်တားဆီးထားသည်။ ၎င်းသည်ရုပ်ရှင်၏သန့်ရှင်းမှုကိုထိန်းသိမ်းထားပြီး wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်ချို့ယွင်းချက်များကိုကာကွယ်ပေးသည်။

2 ။ Plasma-Enhanced ဓာတုသိုလှောင်ထားသည့်ဓာတုအငွေ့ (pecvd)

အခန်းက: PECVD တွင် Quartz Showehead သည်ဓာတ်ပေါင်းဖိုဓာတ်ငွေ့ဓာတ်ငွေ့များကိုပေးရုံသာမက Plasma Generation အတွက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖြစ်လုပ်ဆောင်သည်။

တိကျတဲ့အသုံးပြုမှု:

● Plasma Imnition: Showerhead သည်ပုံမှန်အားဖြင့်ရေဒီယိုနှင့်ကြိမ်နှုန်း (RF) ပါဝါအရင်းအမြစ်နှင့်ချိတ်ဆက်ထားသည်။ Plasma အတွင်းရှိစွမ်းအင်မြင့်မားသောအမှုန်များသည်ဓာတ်ပေါင်းဖိုများပြိုကွဲပျက်စီးမှုကိုမြှင့်တင်ရန်,

●အပူတည်ငြိမ်မှု - Quartz သည်အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူချိန်ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိစေရန်အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူတည်ငြိမ်မှုကိုပြသသည်။ ၎င်းသည်လုပ်ငန်းစဉ်အခန်းအတွင်းရှိတူညီသောအပူချိန်ကိုထိန်းသိမ်းရန်, ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးနှင့်ရှေ့နောက်ညီညွတ်မှုကိုသေချာစေရန်ကူညီသည်။

3 ။ ခြောက်သွေ့သော etching

အခန်းက: ခြောက်သွေ့လျက်ရှိသောဥစ်စာများအနေဖြင့်ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးသောပန်းကန်သည်ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးသောပန်းကန် (ဥပမာ, fluorocarbons, ကလိုရင်း) ကိုလိုက်နာပါ။

တိကျတဲ့အသုံးပြုမှု:

●ယူနီဖောင်းဝတ်ထားမှု - ပန်းကန်သည်တစ်ပုံစံလုံးနှင့်ပုန်ကန်မှုတစ်ခုလုံးကိုတသမတ်တည်းရွယ်ခြင်းနှင့်ပရိုဖိုင်းကိုအာမခံသောယူနီဖောင်းစီးဆင်းမှုနှင့်အာရုံစူးစိုက်မှုကိုသေချာစေသည်။ ၎င်းသည်အဆင့်မြင့်သော Sememonductor ကိရိယာများအတွက်လိုအပ်သောတိကျသောပုံစံများကိုရရှိရန်အလွန်အရေးကြီးသည်။

●တဖြည်းဖြည်းချင်းနှောက်ယှက်ခြင်း Quartz ၏မြင့်မားသောချေးခုခံမှုသည် Showerhead ၏သက်တမ်းကိုတိုးချဲ့ပြီးလုပ်ငန်းစဉ်ပြတ်တောက်မှုအန္တရာယ်ကိုလျော့နည်းစေသည်။

4 ။ Wafer သန့်ရှင်းရေး

အခန်းက- သီးခြားလျှပ်စစ်ဓာတ်အားသန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် Cleanss သို့မဟုတ်ညစ်ညမ်းမှုများကိုဖယ်ရှားရန်သန့်ရှင်းသောဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုပန်းကန်များ (E.G. , Ozone, Ammonia, Ammonia) ကို 0 ယ်ယူရန်အသုံးပြုသည်။

တိကျတဲ့အသုံးပြုမှု:

●တသမတ်တည်းသန့်ရှင်းရေး - ပန်းကန်သည်ဓာတ်ငွေ့များကိုသန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းသည် Wafer ၏အစိတ်အပိုင်းတိုင်းကိုလက်လှမ်းမီစေရန်,

●ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာတွဲဖက်မှု - သန့်ရှင်းရေးဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးနှင့်လိုက်လျောညီထွေဖြစ်မှုသည်တုံ့ပြန်မှုများကိုကာကွယ်ခြင်းနှင့်သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်၏သန့်ရှင်းမှုနှင့်ထိရောက်မှုကိုထိန်းသိမ်းထားသည်။