သတင်း

VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) coated graphite rings များသည် အပူတည်ငြိမ်အောင်၊ ညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချရန်နှင့် SiC crystal ကြီးထွားမှု၊ epitaxy၊ CVD နှင့် high-temperature semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အစိတ်အပိုင်းများ၏သက်တမ်းကို မြှင့်တင်နည်းကို လေ့လာပါ။

CVD TaC coating သည် MOCVD နှင့် epitaxy အပလီကေးရှင်းများတွင် အလွန်မြင့်မားသော အပူတည်ငြိမ်မှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ညစ်ညမ်းမှု ဖိနှိပ်မှုနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်များဖြင့် SiC crystal ကြီးထွားမှုနှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေကြောင်း ရှာဖွေပါ။

အပူချိန်မြင့် SiC epitaxy စနစ်များအတွက် အဓိက Aixtron G10 အစိတ်အပိုင်းများကို ကြည့်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့သည် CVD SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ၊ TaC coating အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အပူစက်ကွင်းဖွဲ့စည်းပုံများ — နှင့် အဆင့်မြင့် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် ၎င်းတို့သည် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှု၊ သန့်စင်မှုထိန်းချုပ်မှုနှင့် wafer အထွက်နှုန်းတို့ကို ဖုံးလွှမ်းထားသည်။