ထုတ်ကုန်များ
ထုတ်ကုန်များ
စွဲမြဲစွာ focus ring
  • စွဲမြဲစွာ focus ringစွဲမြဲစွာ focus ring
  • စွဲမြဲစွာ focus ringစွဲမြဲစွာ focus ring

စွဲမြဲစွာ focus ring

စွဲမြဲစွာ focus ring သည်လုပ်ငန်းစဉ်တိကျမှန်ကန်မှုနှင့်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန်သော့အစိတ်အပိုင်းဖြစ်သည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများကို Plasma ဖြန့်ဖြူးရေးဖြန့်ဖြူးရေးနှင့်လျှပ်စစ်ဓာတ်သိတ်ကွင်းပြင်တွင်သီးသန့်ထိန်းချုပ်ခြင်းဖြင့်နုတ်ဘာမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ NanoScale အဆောက်အအုံများကိုပြုလုပ်ရန် Vacber Chamber တွင်အတိအကျတပ်ဆင်ထားသည်။

MonoCrystalline ဆီလီကွန် etching undersing ကွင်းများတွင် Plasma ပတ်ဝန်းကျင်တည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းသိမ်းခြင်း, ပစ္စည်းကိရိယာများကိုကာကွယ်ခြင်းနှင့်အဆင့်မြင့်လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကိုအကာအကွယ်လျှော့ချခြင်း, ၎င်း၏စွမ်းဆောင်ရည်သည် chip ထုတ်လုပ်မှု၏အထွက်နှုန်းနှင့်ကုန်ကျစရိတ်ကိုတိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။


အဆိုပါစွဲအာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ်နှင့် Electrope နှင့် Etc (အစွန်းအပူချိန် Controller) သည်ပလာစမာတူညီမှု, အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုနှင့်ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်နိုင်မှုကိုသေချာစေရန်အဓိကစားသုံးသူများဖြစ်သည်။ ဤရွေ့ကားအစိတ်အပိုင်းများကို CVD CVD, abeting and film filter and film and files and files ၏တိကျမှန်ကန်မှုနှင့် from ၏တိကျမှန်ကန်မှုနှင့်အထွက်နှုန်း၏တိကျမှန်ကန်မှုနှင့်အထွက်နှုန်းကိုတိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်ခြင်းဖြစ်ပါတယ်။


Ext-end ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင်ရုပ်ပစ္စည်းပိုင်ဆိုင်မှုများအတွက်တင်းကြပ်စွာ 0 ယ်လိုအားကိုတုံ့ပြန်သည့်အနေဖြင့် Veteksemi သည်စင်ကြယ်သော MonocrystallSastaline ဆီကိုစ်ကို အသုံးပြု. စားသုံးမှုများကိုထုတ်လုပ်ရန်နှင့်စားသုံးမှုကိုထောက်ပံ့ရန်အတွက် 10-20 ωωိုင်ဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ရုပ်ပစ္စည်းသိပ္ပံပညာကိုမိတ်ပြုခြင်းအားဖြင့်လျှပ်စစ်ဒီဇိုင်းနှင့်အပူစွမ်းအင်သိပ္ပံပညာရှင်များကိုမိတ်ပြုခြင်းအားဖြင့် Veteksemi သည်အာရုံစူးစိုက်မှုများကိုအာရုံစူးစိုက်နိုင်ပြီးစားသုံးမှုများကိုထောက်ပံ့နိုင်စေသည်။ သက်တမ်းရှည်ခြင်း,


Focus ring for etching diagram


အဓိကရုပ်ပစ္စည်းများနှိုင်းယှဉ်ခြင်းနှင့်ပြန်လည်စတင်အကောင်းမြင်

monocrystalline silicon vs. quartz


အကြံအစည်
Monocrystalline ဆီလီကွန်အာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ် (10-20 ω· cm)
Quartz အာရုံစူးစိုက်လက်စွပ်
Plasma Corrosion မှခုခံ
Life 5000-8000 wafers (fluorine / ကလိုရင်းအခြေပြုလုပ်ငန်းစဉ်)
Life Span 1500-2000 wafers
အပူကူးယူခြင်း
149 ဝ·မ် (±အကြိမ်,
1.4W / M · k (δtအတက်အကျ± 10 ℃)
အပူတိုးချဲ့မှုမြှင့်ကိန်း
2.6 ×10⁻⁶ / K (Wafer) သည်ပုံပျက်သော,
0.55 ×10⁻⁶ / K (လွယ်ကူသောရွှေ့ပြောင်းခံရခြင်း)
dielectric ဆုံးရှုံးမှု
tanδ <0.001 (တိကျသောလျှပ်စစ်ကွင်းဆင်းထိန်းချုပ်မှု)
tanδ ~ 0.0001 (လျှပ်စစ်ကွင်းဆင်းပုံပျက်)
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်း
Ra <01μm (Class 10 သန့်ရှင်းမှုစံ)
ra <0.5μm (မြင့်မားသောအမှုန်အန္တရာယ်)


ကုန်ပစ္စည်း Core Advantage


1 ။ အက်တမ်အဆင့်လုပ်ငန်းစဉ်ကိုတိကျမှန်ကန်မှု

တော်လှန်ရေး optimization + ultra-polalise polishing (ra <0.1μm) သည်အသေးစားချေးငွေကိုဖယ်ရှားပေးသည်။

dielectric ဆုံးရှုံးမှု (tanδ <0.001) သည် Educt Electric Field ပျက်ဒင်းခြင်းနှင့်ပံ့ပိုးခြင်းကိုရှောင်ရှားခြင်း,


2 ။ အသိဉာဏ်စနစ်နဲ့လိုက်ဖက်တဲ့စနစ်

စသည်တို့ကို Etc Edge Control Control Module နှင့်ပေါင်းစည်းထားသောလေထုစီးဆင်းမှုသည်အပူအပူယိုယွင်းမှုကိုလျော်ကြေးပေးရန် Thermocouple နှင့် AI algorithm တို့ကပုံမှန်အားဖြင့်ပြုပြင်ပြောင်းလဲမှုဖြစ်သည်။

ပံ့ပိုးမှုစင်တာ Mainstream Matching Network, Amat Cetura, Lam Research Kiyo နှင့် ICP / CCP Plasma Seasing တို့ကဲ့သို့သော Mainstream စက်များအတွက်သင့်တော်သည်။


3 ။ ပြည့်စုံသောကုန်ကျစရိတ် - ထိရောက်မှု

Monocrystalline ဆီလီကွန်၏ဘဝသည် 275% ပိုရှည်သည်။ 475% ပိုရှည်သည်။

သုံးစွဲသူခေတ်ဝိဇ္ဖာစကျ 0 န်ဆောင်မှု (5-100ωωωωωω) သည်ဖောက်သည်ဖြစ်စဉ်ကို 0 င်းဒိုးနှင့်ကိုက်ညီမှုနှင့်တိတိကျကျကိုက်ညီခြင်း (ဥပမာ - Gan / Sic Band Gap Ettect actching) ။


ခံနိုင်ရည်၏အကျိုးသက်ရောက်မှု


အကြံအစည်
Monocrystalline ဆီလီကွန်အာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ် (10-20 ω· cm)
မြင့်မားသောခံနိုင်ရည် monocrystalline ဆီလီကွန် (> 50 · cm · cm)
Quartz အာရုံစူးစိုက်လက်စွပ်
သန့်ရှင်းြရဲ
> 99.9999%
> 99.9999%
> 99.99%
Corrosion Life (wafer အရေအတွက်)
5000-8000
3000-5000
1500-2000
အပူထိတ်လန့်တည်ငြိမ်မှု
it> 500 ℃ / s
δt> 300 ℃ / s
it <200 ℃ / s ကို
ယိုစိမ့်လက်ရှိသိပ်သည်းဆ
<1 μa / cm²
/ /
အဆိုပါ wafer အထွက်နှုန်းတိုးလာသည်
+ 1.2% ~ 1.8%
+ 0.3% ~ 0.7%
အခြေခံတန်ဖိုး

ထုတ်ကုန်စီးပွားဖြစ်အသုံးအနှုန်းများ


အနည်းဆုံးအမိန့်အရေအတွက်
1 အစုံ
စြေး
စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်မှုအတွက်ဆက်သွယ်ရန်
ထုပ်ပိုးအသေးစိတ်
Standard Export အထုပ်
ပို့ဆောင်ချိန်
ပို့ရန်အချိန် - အမှာစာအတည်ပြုပြီးနောက်ရက် 30-35 ရက်
ငွေပေးချေမှုဆိုင်ရာသတ်မှတ်ချက်များ
t / t
ထောက်ပံ့ရေးစွမ်းရည်
600 အစုံ / လ


Focus ring for etching working diagram

Hot Tags: စွဲမြဲစွာ focus ring
စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။
ဆက်သွယ်ရန်အချက်အလက်
  • လိပ်စာ

    Wangda လမ်း, Ziyang လမ်း, ဝမ်မြို့, ဂျီဟွာမြို့, ဂျီဟွာစီးတီး, Zhejiang ပြည်နယ်,

  • အီးမေး

    anny@veteksemi.com

Silicon Carbide Coating၊ Tantalum Carbide Coating၊ Special Graphite သို့မဟုတ် စျေးနှုန်းစာရင်းအတွက် ကျေးဇူးပြု၍ သင့်အီးမေးလ်ကို ကျွန်ုပ်တို့ထံ ထားခဲ့ပါ၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ 24 နာရီအတွင်း ဆက်သွယ်ပေးပါမည်။
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept