ထုတ်ကုန်များ
ထုတ်ကုန်များ
စွဲမြဲစွာ focus ring
  • စွဲမြဲစွာ focus ringစွဲမြဲစွာ focus ring
  • စွဲမြဲစွာ focus ringစွဲမြဲစွာ focus ring

စွဲမြဲစွာ focus ring

စွဲမြဲစွာ focus ring သည်လုပ်ငန်းစဉ်တိကျမှန်ကန်မှုနှင့်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန်သော့အစိတ်အပိုင်းဖြစ်သည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများကို Plasma ဖြန့်ဖြူးရေးဖြန့်ဖြူးရေးနှင့်လျှပ်စစ်ဓာတ်သိတ်ကွင်းပြင်တွင်သီးသန့်ထိန်းချုပ်ခြင်းဖြင့်နုတ်ဘာမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ NanoScale အဆောက်အအုံများကိုပြုလုပ်ရန် Vacber Chamber တွင်အတိအကျတပ်ဆင်ထားသည်။

MonoCrystalline ဆီလီကွန် etching undersing ကွင်းများတွင် Plasma ပတ်ဝန်းကျင်တည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းသိမ်းခြင်း, ပစ္စည်းကိရိယာများကိုကာကွယ်ခြင်းနှင့်အဆင့်မြင့်လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကိုအကာအကွယ်လျှော့ချခြင်း, ၎င်း၏စွမ်းဆောင်ရည်သည် chip ထုတ်လုပ်မှု၏အထွက်နှုန်းနှင့်ကုန်ကျစရိတ်ကိုတိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။


အဆိုပါစွဲအာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ်နှင့် Electrope နှင့် Etc (အစွန်းအပူချိန် Controller) သည်ပလာစမာတူညီမှု, အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုနှင့်ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်နိုင်မှုကိုသေချာစေရန်အဓိကစားသုံးသူများဖြစ်သည်။ ဤရွေ့ကားအစိတ်အပိုင်းများကို CVD CVD, abeting and film filter and film and files and files ၏တိကျမှန်ကန်မှုနှင့် from ၏တိကျမှန်ကန်မှုနှင့်အထွက်နှုန်း၏တိကျမှန်ကန်မှုနှင့်အထွက်နှုန်းကိုတိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်ခြင်းဖြစ်ပါတယ်။


Ext-end ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင်ရုပ်ပစ္စည်းပိုင်ဆိုင်မှုများအတွက်တင်းကြပ်စွာ 0 ယ်လိုအားကိုတုံ့ပြန်သည့်အနေဖြင့် Veteksemi သည်စင်ကြယ်သော MonocrystallSastaline ဆီကိုစ်ကို အသုံးပြု. စားသုံးမှုများကိုထုတ်လုပ်ရန်နှင့်စားသုံးမှုကိုထောက်ပံ့ရန်အတွက် 10-20 ωωိုင်ဒဏ်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ရုပ်ပစ္စည်းသိပ္ပံပညာကိုမိတ်ပြုခြင်းအားဖြင့်လျှပ်စစ်ဒီဇိုင်းနှင့်အပူစွမ်းအင်သိပ္ပံပညာရှင်များကိုမိတ်ပြုခြင်းအားဖြင့် Veteksemi သည်အာရုံစူးစိုက်မှုများကိုအာရုံစူးစိုက်နိုင်ပြီးစားသုံးမှုများကိုထောက်ပံ့နိုင်စေသည်။ သက်တမ်းရှည်ခြင်း,


Focus ring for etching diagram


အဓိကရုပ်ပစ္စည်းများနှိုင်းယှဉ်ခြင်းနှင့်ပြန်လည်စတင်အကောင်းမြင်

monocrystalline silicon vs. quartz


အကြံအစည်
Monocrystalline ဆီလီကွန်အာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ် (10-20 ω· cm)
Quartz အာရုံစူးစိုက်လက်စွပ်
Plasma Corrosion မှခုခံ
Life 5000-8000 wafers (fluorine / ကလိုရင်းအခြေပြုလုပ်ငန်းစဉ်)
Life Span 1500-2000 wafers
အပူကူးယူခြင်း
149 ဝ·မ် (±အကြိမ်,
1.4W / M · k (δtအတက်အကျ± 10 ℃)
အပူတိုးချဲ့မှုမြှင့်ကိန်း
2.6 ×10⁻⁶ / K (Wafer) သည်ပုံပျက်သော,
0.55 ×10⁻⁶ / K (လွယ်ကူသောရွှေ့ပြောင်းခံရခြင်း)
dielectric ဆုံးရှုံးမှု
tanδ <0.001 (တိကျသောလျှပ်စစ်ကွင်းဆင်းထိန်းချုပ်မှု)
tanδ ~ 0.0001 (လျှပ်စစ်ကွင်းဆင်းပုံပျက်)
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်း
Ra <01μm (Class 10 သန့်ရှင်းမှုစံ)
ra <0.5μm (မြင့်မားသောအမှုန်အန္တရာယ်)


ကုန်ပစ္စည်း Core Advantage


1 ။ အက်တမ်အဆင့်လုပ်ငန်းစဉ်ကိုတိကျမှန်ကန်မှု

တော်လှန်ရေး optimization + ultra-polalise polishing (ra <0.1μm) သည်အသေးစားချေးငွေကိုဖယ်ရှားပေးသည်။

dielectric ဆုံးရှုံးမှု (tanδ <0.001) သည် Educt Electric Field ပျက်ဒင်းခြင်းနှင့်ပံ့ပိုးခြင်းကိုရှောင်ရှားခြင်း,


2 ။ အသိဉာဏ်စနစ်နဲ့လိုက်ဖက်တဲ့စနစ်

စသည်တို့ကို Etc Edge Control Control Module နှင့်ပေါင်းစည်းထားသောလေထုစီးဆင်းမှုသည်အပူအပူယိုယွင်းမှုကိုလျော်ကြေးပေးရန် Thermocouple နှင့် AI algorithm တို့ကပုံမှန်အားဖြင့်ပြုပြင်ပြောင်းလဲမှုဖြစ်သည်။

ပံ့ပိုးမှုစင်တာ Mainstream Matching Network, Amat Cetura, Lam Research Kiyo နှင့် ICP / CCP Plasma Seasing တို့ကဲ့သို့သော Mainstream စက်များအတွက်သင့်တော်သည်။


3 ။ ပြည့်စုံသောကုန်ကျစရိတ် - ထိရောက်မှု

Monocrystalline ဆီလီကွန်၏ဘဝသည် 275% ပိုရှည်သည်။ 475% ပိုရှည်သည်။

သုံးစွဲသူခေတ်ဝိဇ္ဖာစကျ 0 န်ဆောင်မှု (5-100ωωωωωω) သည်ဖောက်သည်ဖြစ်စဉ်ကို 0 င်းဒိုးနှင့်ကိုက်ညီမှုနှင့်တိတိကျကျကိုက်ညီခြင်း (ဥပမာ - Gan / Sic Band Gap Ettect actching) ။


ခံနိုင်ရည်၏အကျိုးသက်ရောက်မှု


အကြံအစည်
Monocrystalline ဆီလီကွန်အာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ် (10-20 ω· cm)
မြင့်မားသောခံနိုင်ရည် monocrystalline ဆီလီကွန် (> 50 · cm · cm)
Quartz အာရုံစူးစိုက်လက်စွပ်
သန့်ရှင်းြရဲ
> 99.9999%
> 99.9999%
> 99.99%
Corrosion Life (wafer အရေအတွက်)
5000-8000
3000-5000
1500-2000
အပူထိတ်လန့်တည်ငြိမ်မှု
it> 500 ℃ / s
δt> 300 ℃ / s
it <200 ℃ / s ကို
ယိုစိမ့်လက်ရှိသိပ်သည်းဆ
<1 μa / cm²
/ /
အဆိုပါ wafer အထွက်နှုန်းတိုးလာသည်
+ 1.2% ~ 1.8%
+ 0.3% ~ 0.7%
အခြေခံတန်ဖိုး

ထုတ်ကုန်စီးပွားဖြစ်အသုံးအနှုန်းများ


အနည်းဆုံးအမိန့်အရေအတွက်
1 အစုံ
စြေး
စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်မှုအတွက်ဆက်သွယ်ရန်
ထုပ်ပိုးအသေးစိတ်
Standard Export အထုပ်
ပို့ဆောင်ချိန်
ပို့ရန်အချိန် - အမှာစာအတည်ပြုပြီးနောက်ရက် 30-35 ရက်
ငွေပေးချေမှုဆိုင်ရာသတ်မှတ်ချက်များ
t / t
ထောက်ပံ့ရေးစွမ်းရည်
600 အစုံ / လ


Focus ring for etching working diagram

Hot Tags: စွဲမြဲစွာ focus ring
စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။
ဆက်သွယ်ရန်အချက်အလက်
  • လိပ်စာ

    Wangda လမ်း၊ Ziyang လမ်း၊ Wuyi ကောင်တီ၊ Jinhua မြို့၊ Zhejiang ပြည်နယ်၊ တရုတ်နိုင်ငံ

  • အီးမေး

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
သတင်းအကြံပြုချက်များ
X
သင့်အား ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြည့်ရှုမှုအတွေ့အကြုံကို ပေးဆောင်ရန်၊ ဆိုက်အသွားအလာကို ပိုင်းခြားစိတ်ဖြာပြီး အကြောင်းအရာကို ပုဂ္ဂိုလ်ရေးသီးသန့်ပြုလုပ်ရန် ကျွန်ုပ်တို့သည် ကွတ်ကီးများကို အသုံးပြုပါသည်။ ဤဆိုက်ကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ cookies အသုံးပြုမှုကို သင်သဘောတူပါသည်။ကိုယ်ရေးအချက်အလက်မူဝါဒ