Semiconductor Field တွင် TAC coated အစိတ်အပိုင်းများကိုတိကျသောအသုံးချမှုကဘာလဲ။

Tantalum carbide (TAC) အပေါ်ယံပိုင်း၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ

Semiconductor Field တွင် Tantalum carbide (TAC) ကိုအသုံးပြုခြင်း

1 ။ Estitaxial တိုးတက်မှုဓာတ်ပေါင်းဖိုအစိတ်အပိုင်းများ

TAC အပေါ်ယံပိုင်းကိုဓာတုအငှားတပ်ဖွဲ့များ (CVD) ဓာတ်ပေါင်းဖို (CVD) Ritride (Gan) Eplitaxial နှင့် Sicicon Carbide (SIC) Estitaxial နှင့် Siconon Carbide (SIC) ၏ Estitaxialwafer သယ်ဆောင်သူများဂြိုလ်တုဟင်းလျာများ, nozzles နှင့်အာရုံခံကိရိယာများ။ ဤရွေ့ကားအစိတ်အပိုင်းများသည်မြင့်မားသောကြာရှည်ခံမှုနှင့်တည်ငြိမ်သောအပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်တဖြည်းဖြည်းစားနိုင်သည့်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်တည်ငြိမ်မှုလိုအပ်သည်။ TAC ဖုံးထားခြင်းသည်၎င်းတို့၏ 0 န်ဆောင်မှုကိုထိထိရောက်ရောက်တိုးချဲ့နိုင်ပြီးအထွက်နှုန်းတိုးတက်လာသည်။

2 ။ တစ်ခုတည်း Crystal ကြီးထွားအစိတ်အပိုင်း

Sic, Gan နှင့် Aluminum Nitride ကဲ့သို့သောပစ္စည်းများဖြစ်သော Crystal ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင် (AIN),TAC Coatingပုဒ်မများ, မျိုးစေ့ကျောက်စိမ်းကိုင်ဆောင်သူများ, TAC အပေါ်ယံပိုင်းနှင့်အတူဖိုက်ဖွားပစ္စည်းများသည်အညစ်အကြေးကိုရွှေ့ပြောင်းခြင်း, Crystal အရည်အသွေးနှင့်ချို့ယွင်းချက်သိပ်သည်းဆကိုလျှော့ချနိုင်သည်။

3 ။ မြင့်မားသောအပူချိန်စက်မှုအစိတ်အပိုင်းများ

TAC Coating သည်အပူချိန်မြင့်မားသောအပူချိန်များ, ဆေးထိုးသည့် nozzsles များ, ဤရွေ့ကားအစိတ်အပိုင်းများသည်အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုထိန်းသိမ်းရန်လိုအပ်သည်။

4 ။ MOCVD စနစ်များတွင်အပူပေးစက်များ

TAC-coated sproder များကိုသတ္တုကိုယ်ထည်ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာအပူရှိဥတု (MOCVD) စနစ်များတွင်အောင်မြင်စွာမိတ်ဆက်ခဲ့သည်။ ရိုးရာ PBN-coated အပူပေးစက်များနှင့်နှိုင်းယှဉ်လျှင် TAC အပူပေးစက်များသည်ပိုမိုကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့်တူညီမှုကိုပေးနိုင်သည်။ လျှပ်စစ်ဓာတ်အားသုံးစွဲမှုကိုလျှော့ချရန်နှင့်မျက်နှာပြင်အစ်မများကိုလျှော့ချနိုင်သည်။

5 ။ Wafer သယ်ဆောင်သူများ

tac-cofer carrier များသည် sic, ain နှင့် gan ကဲ့သို့သောတတိယမျိုးဆက် semiconductor ပစ္စည်းများပြင်ဆင်ရာတွင်အရေးကြီးသောအခန်းကဏ် play မှပါ 0 င်သည်။ လေ့လာမှုများအရ crossionion နှုန်းကိုပြသခဲ့သည်tac အင်္ကျီအပူချိန်မြင့်မားသောအမိုးနီးယားနှင့်ဟိုက်ဒရိုဂျင်ပတ် 0 န်းကျင်တွင်ဤထက်များစွာနိမ့်သည်ချဉ်သောအဖုံးများ၎င်းသည်ရေရှည်အသုံးပြုရန်ပိုမိုကောင်းမွန်သောတည်ငြိမ်မှုနှင့်ကြာရှည်ခံမှုကိုပြသသည်။