Electrostatic Chuck (ESC) ဆိုတာဘာလဲ။

Electrostatic Chuck (Esc) ကို Elcrosostatic Chuck (Esc) ဟုလည်းခေါ်သည်။ ၎င်းသည်လေဟာနယ်နှင့်ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်အတွက်သင့်တော်သည်။ ၎င်း၏အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ adsorb ultra- ဖြစ်သည်။သန့်ရှင်းသောပါးလွှာသောစာရွက်များ (ဥပမာ silicon wafers ကဲ့သို့) နှင့်စကြစက္ကက်ပစ္စည်းများကိုကောင်းသောပြားချပ်ချပ်ဖြင့်သိမ်းဆည်းထားပြီးလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်းစကြစက္ကက်ပစ္စည်းများပုံပျက်ခြင်းကိုတားဆီးနိုင်ပြီး၎င်းသည် Adsorbate ၏အပူချိန်ကိုထိန်းညှိနိုင်သည်။

လျှပ်စစ်ဓာတ်အားပေးခံရသည့် Chuck (Esc) သည် Elcoostatic အင်အားသုံးများကို အသုံးပြု. အရာဝတ်ထုများကို နှိပ်. နှိပ်. ကောက်ယူရန်အသုံးပြုသောအထူးပင်ဖြစ်သည်။ မည်သည့်ပစ္စည်းသည်မဆိုအဝတ်အချည်းစည်းမျက်စိမှမမြင်ရသောအပြုသဘောနှင့်အနှုတ်လက်ခဏာစွဲချက်များသယ်ဆောင်။ ပစ္စည်းများကို ESC တွင်ထည့်သွင်းထားပြီးစိတ်ကြွသောဗို့အား escline ၏အတွင်းပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများကိုအသုံးပြုသည်။ ESC အကြားဆွဲဆောင်မှုနှင့်ပစ္စည်းများကို electrostatic force ဟုခေါ်သောကြောင့်ကျွန်ုပ်တို့၏ Chuck ၏အခြေခံနိယာမလည်းဖြစ်သည်။

ထုတ်ကုန်အားသာချက်များ

၎င်းတွင်ကျယ်ပြန့်သော operating အပူချိန်အကွာအဝေး (-50 မှ 700 ℃) ရှိသည်။

ဤ Electrostatic Skice Cups များသည်အလွန်ကောင်းမွန်သောခွန်အား, အပူစီးကူးညှိနှိုင်းမှုနှင့်အပူ 0 င်ရောက်ခြင်းနှင့်အပူချိန်အကွာအဝေးနှင့်လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင်ပြုလုပ်နိုင်သည်။

မြင့်မားသော corrosion ခုခံ

ဤ Electrostaty Skions သည် Hologen ဓာတ်ငွေ့များကိုအလွန်ကောင်းမွန်သောချေးယူမှုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အနိမ့်အမှုန်အပြောင်းအလဲနဲ့

အမှုန်နည်းသောကုသမှုကိုမျက်နှာပြင်ကုသမှုနှင့်အထူးသန့်ရှင်းရေးမှတဆင့်အောင်မြင်နိုင်သည်

မြင့်မြတ်သော

99.9% သို့မဟုတ်ထိုထက်ပိုသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောထုတ်ကုန်များကိုလည်းရရှိနိုင်ပါသည်။

အပူ function ကို

High-Precision Phaining Element Empting Technology ကိုအပူပေးစက်နှင့်ပေါင်းစပ်နိုင်သည်။

အအေး function ကို

ဤ electrostatic suckion ဖလားများသည်ကြွေပြားများကိုအပူစီးကူးခြင်းနှင့်အအေးပြားများဖြင့်တပ်ဆင်ခြင်းဖြင့်အလွန်အမင်းအအေးခံနိုင်စွမ်းရှိသည်။

ရေဒီယိုလှိုင်းနှုန်း electrode

Bulk Metal Olectrodes သည်တစ်ပြိုင်နက်တည်း stable wafer clamping နှင့်ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်း Plasma Generation ကိုပေးနိုင်သည်။

Pအက်သံရိတိသည်

1.Semiconductor နှင့် Electronic ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းနယ်ပယ်တွင်လျှပ်စစ်ဓာတ်အားပေးစက်ရုံများတွင်လျှပ်စစ်ဓာတ်အားပေးသောစတိုစ်ဘုရင့်များ,

2 ။ ဖန်သားပြင်နှင့်ကြွေထည်လုပ်ငန်းနယ်ပယ်များမှာဖန်သားပြင်နှင့်ကြွေထည်များကိုဖြတ်တောက်ခြင်း, ကြိတ်ဆုံနှင့်ကိုင်တွယ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင်လျှပ်စစ်ဓာတ်အားဖြည့်ခြင်း,

3 ။ တိကျသောစက်ယန္တရားများနှင့် optical အစိတ်အပိုင်းများထုတ်လုပ်ခြင်း - တိကျသောစက်ယန္တရားနှင့် optical အစိတ်အပိုင်းများအတွက်လျှပ်စစ်အင်္ဂါရပ်များအနက်စုပ်ယူထားသောခွက်များသည်တည်ငြိမ်သောကြော်ငြာများကိုထောက်ပံ့ပေးပြီးပြုပြင်ပြောင်းလဲမှုများကိုပြုပြင်ပြောင်းလဲမှုများပြုလုပ်နိုင်သည်။

4 ။ အလိုအလျောက်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများ - အလိုအလျောက်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများတွင်လျှပ်စစ်ဓာတ်အားထုတ်လုပ်သည့်လိုင်းများတွင်လျှပ်စစ်ဓာတ်အားထွက်သောစုတ်ထားသောခွက်များကို posterrostery societing နှင့်စုဝေးမှုတွင်ကျယ်ပြန့်စွာ အသုံးပြု. ထုတ်လုပ်မှုလိုင်း၏အလိုအလျောက်နှင့်ထိရောက်မှုကိုပိုမိုကျယ်ပြန့်စွာအသုံးပြုသည်။