AMAT Cover Top Quartz 8 လက်မ PCII

AMAT Cover Top Quartz 8 လက်မ PCII (အပိုင်းအမှတ် 0200-00218) သည် 200mm (8-လက်မ) PVD လုပ်ငန်းစဉ်အခန်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော သန့်စင်မြင့် Quartz အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အထူးသဖြင့် Applied Materials Endura® ပလပ်ဖောင်း (PCII အခန်း) နှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။

အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှု ပေါင်းစပ်ထားသော quartz ဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားသော၊ ဤအစိတ်အပိုင်းသည် ညစ်ညမ်းမှုကို လျော့နည်းစေပြီး တစ်သမတ်တည်း ပလာစမာအပြုအမူကို သေချာစေခြင်းဖြင့် သန့်ရှင်းပြီး တည်ငြိမ်သော အစစ်ခံပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းရာတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။

Vetek Semiconductor တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တိကျသော အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ quartz အစိတ်အပိုင်းများကို တင်းကျပ်သော ပစ္စည်းထိန်းချုပ်မှုနှင့် အတိုင်းအတာတိကျမှုတို့ဖြင့် ပံ့ပိုးပေးထားပြီး၊ semiconductor fabs နှင့် ပစ္စည်းကိရိယာဝန်ဆောင်မှုပေးသူများအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော အခြားရွေးချယ်စရာများကို ပေးဆောင်ပါသည်။

အဓိကသတ်မှတ်ချက်များ-

လုပ်ငန်းစဉ်လျှောက်လွှာ & Chamber ရာထူး

ဤ quartz အဖုံးကို PVD sputtering လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး၊ အလူမီနီယမ် (Al)၊ တိုက်တေနီယမ် (Ti) နှင့် ကြေးနီ (Cu) ကဲ့သို့သော သတ္တုပါးလွှာသော ဖလင်များထုတ်လွှတ်မှုအတွက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။

လွှတ်တော်နဲ့ ရာထူး

အစိတ်အပိုင်းကို PVD အခန်း၏ အပေါ်ပိုင်းတွင် တပ်ဆင်ထားပြီး၊ ၎င်းနှင့်ထိတွေ့သည့် ထိပ်ဖုံးဒေသအဖြစ် အများအားဖြင့် ရည်ညွှန်းသည်-

● ပလာစမာထုတ်လွှတ်မှုဇုန်များ

● ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုလမ်းကြောင်းများ

● သတ္တုအမှုန်အမွှား အစစ်ခံနိုင်သော ပတ်ဝန်းကျင်

Chamber တွင် Functional Role ၊

အခန်းဖွဲ့စည်းပုံအတွင်း၊ Cover Top Quartz သည် သတ္တုမဟုတ်သောအကာအကွယ်အတားအဆီးနှင့် insulating ဒြပ်စင်အဖြစ် wafer အပေါ်နှင့်ပစ်မှတ်ဒေသအနီးတွင်နေရာချထားသည်။

၎င်း၏နေရာချထားမှုသည် အရေးကြီးသည်-

● သတ္တုအစစ်ခံခြင်းမှ ထိလွယ်ရှလွယ် အခန်းအစိတ်အပိုင်းများကို အကာအကွယ်ပေးခြင်း

● RF ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်တွင် လျှပ်စစ်ဆိုင်ရာ ကာရံထိန်းသိမ်းခြင်း။

● တည်ငြိမ်ပြီး ထပ်ခါတလဲလဲ လုပ်ဆောင်နိုင်သည့် အခြေအနေများကို ပံ့ပိုးပေးသည်။

အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်များနှင့် စွမ်းဆောင်ရည် အားသာချက်များ

1) ညစ်ညမ်းမှုထိန်းချုပ်ရေး

PVD လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း၊ sputtered metal အက်တမ်များသည် wafers များပေါ်တွင်သာမက အတွင်းခန်းမျက်နှာပြင်များပေါ်တွင်လည်း အပ်နှံတတ်သည်။

ဤ quartz အဖုံး

● ယဇ်ပူဇော်သောအကာအကွယ်အလွှာအဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။

● အရေးပါသော အခန်းဖွဲ့စည်းပုံများပေါ်တွင် သတ္တုတည်ဆောက်မှုကို တားဆီးသည်။

● အမှုန်အမွှားများထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် ဖြတ်ကျော်ညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချပေးသည်။

ရလဒ်- ပိုမိုကောင်းမွန်သော wafer အထွက်နှုန်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ် သန့်ရှင်းမှု

2) Plasma Stability နှင့် Electrical Insulation

၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော dielectric ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့်၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော quartz သည် အာမခံသည်-

● တည်ငြိမ်သော RF အကွက်ကို ဖြန့်ဖြူးခြင်း။

● လျှပ်စစ်အနှောင့်အယှက်ဖြစ်နိုင်ခြေကို လျှော့ချပေးသည်။

● လုပ်ငန်းစဉ်သံသရာတစ်လျှောက် တစ်သမတ်တည်း ပလာစမာသိပ်သည်းဆ

ရလဒ်- ရုပ်ရှင်တူညီမှုနှင့် ထပ်တလဲလဲဖြစ်နိုင်မှုတို့ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။

3) သာလွန်ကောင်းမွန်သော ပစ္စည်း သန့်ရှင်းမှု

Vetek Semiconductor သည် ညစ်ညမ်းမှုနိဒါန်းကို လျှော့ချရန် အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုရှိသော quartz ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုသည်။

● သတ္တုညစ်ညမ်းမှုနည်းပါးခြင်း။

● လေဟာနယ်အခြေအနေအောက်တွင် ဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်း အနည်းဆုံး

● အဆင့်မြင့် semiconductor node များအတွက် သင့်လျော်သည်။

ရလဒ်- တင်းကြပ်သော Fab အဆင့် သန့်ရှင်းမှုစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီသည်။

4) Excellent က Plasma နှင့် Thermal Resistance

အစိတ်အပိုင်းအား ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တီထွင်ဖန်တီးထားခြင်းဖြစ်သည်-

● ပလာစမာတိုက်စားမှုနှင့် အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲခြင်း။

● ထပ်ခါတလဲလဲ အပူစက်ဘီးစီးခြင်း။

ရလဒ်- ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုရှည်ပြီး ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု အကြိမ်ရေ လျှော့ချသည်။

5) ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော စားသုံးနိုင်သော ဒီဇိုင်း

အစားထိုးနိုင်သော အခန်းအဖြစ် စားသုံးနိုင်သော၊ ဤအပိုင်း၊

● စျေးကြီးသော အခန်းအား ဟာ့ဒ်ဝဲကို ကာကွယ်ပေးသည်။

● ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုသံသရာများကို ရိုးရှင်းစေသည်။

● စုစုပေါင်းပိုင်ဆိုင်မှုကုန်ကျစရိတ် (TCO) ကို လျှော့ချသည်

Vetek Semiconductor ကို ဘာကြောင့် ရွေးချယ်တာလဲ။

Vetek Semiconductor တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော quartz အစိတ်အပိုင်းများကို ပေးဆောင်ရန် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ လုပ်ငန်းစဉ် နားလည်မှုဖြင့် သိပ္ပံပညာကျွမ်းကျင်မှုကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ အားသာချက်များ-

● တင်းကျပ်စွာ သည်းခံနိုင်မှုဖြင့် တိကျစွာ ပြုပြင်ခြင်း။

● တင်းကျပ်သော ကုန်ကြမ်းရွေးချယ်မှုနှင့် ခြေရာခံနိုင်မှု

● AMAT Endura ပလပ်ဖောင်းများနှင့် ကိုက်ညီမှုရှိကြောင်း သက်သေပြပါသည်။

● ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဖောက်သည်များအတွက် တည်ငြိမ်သောထောက်ပံ့မှု

● စိတ်ကြိုက်ပြုပြင်ခြင်းနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းအတွက် အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ ပံ့ပိုးမှု