TaC coated wafer susceptor

VeTek Semiconductor TaC coated wafer susceptor တွင်အသုံးပြုသော အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။သတ္တု-အော်ဂဲနစ် ဓာတုအငွေ့ထွက်နှုန်း (MOCVD)ဓာတ်ပေါင်းဖိုများsemiconductor epitaxial (epi) လုပ်ငန်းစဉ်များ. ဤအထူးပြု အဝိုင်းအခြေစိုက်စခန်းသည် အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်နှင့် ပြုလုပ်ထားပြီး ၎င်း၏ထူးခြားသော အပူနှင့် ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် လူသိများသည့် Tantalum Carbide (TaC) အလွှာဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။

TaC အပေါ်ယံပိုင်း ၏အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ပြင်းထန်သောအခြေအနေများအောက်တွင် wafer susceptor ၏စွမ်းဆောင်ရည်နှင့်ကြာရှည်ခံမှုကိုတိုးတက်စေရန်ဖြစ်သည်။ Tantalum Carbide သည် ၎င်း၏ မာကျောမှု၊ အရည်ပျော်မှတ်မြင့်မားမှုနှင့် ထူးထူးခြားခြား ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်တို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ၎င်းကို စံပြအကာအကွယ်အလွှာအဖြစ် ကျော်ကြားသည်။ ဤ coating သည် အတွင်းတွင် ဖြစ်ပေါ်သည့် အဆိပ်သင့်သော ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဖိစီးမှုများမှ အရင်းခံ ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံကို အကာအကွယ်ပေးသည်။MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများစက်ပစ္စည်းများ၏ သက်တမ်းကို တိုးစေပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ပေးခြင်း။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပစ္စည်းများ၏ epitaxial ကြီးထွားမှုကာလအတွင်း၊ TaC coated wafer susceptor သည် တိကျသောဖလင်စုဆောင်းခြင်းကိုသေချာစေခြင်းဖြင့် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။ မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိမှုသည် တိကျသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်မှုအတွက် အရေးပါပြီး စက်ပစ္စည်းများကို တောင်းဆိုသည့် လုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများတွင် တည်ငြိမ်စွာ လုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။

တစ်ဦး၏ပေါင်းစပ်မှုဂရပ်ဖိုက်အူတိုင်နှင့်TaC အပေါ်ယံပိုင်းMOCVD လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း စိုက်ပျိုးထားသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအလွှာများ၏ အရည်အသွေးနှင့် ထပ်တလဲလဲဖြစ်နိုင်ခြေနှင့် အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော susceptor တစ်လျှောက် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို သေချာစေသည်။ ဤအဆင့်မြင့်ပစ္စည်းဒီဇိုင်းသည် တာရှည်ခံရုံသာမက စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် ခေတ်မီတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၏ တင်းကြပ်သောတောင်းဆိုချက်များကိုလည်း ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။

TaC coated wafer susceptors များ၏ ထိပ်တန်း ပေးသွင်းသူနှင့် ထုတ်လုပ်သူအနေဖြင့် VeTek Semiconductor သည် semiconductor လုပ်ငန်းအတွက် အရည်အသွေးမြင့် နည်းပညာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်။ ယုံကြည်စိတ်ချရသော၊ စိတ်ကြိုက်ထုတ်ကုန်များကို ပေးဆောင်ပြီး တရုတ်နိုင်ငံရှိ သင်၏ရေရှည်ယုံကြည်ရသော မိတ်ဖက်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။

VeTek Semiconductor TaC coated wafer susceptor ဆိုင်များ: