CVD SIC Pancake Susceptor

က semiconductor CVD SIC Pancake Susceptor သည်အလွန်ကောင်းမွန်သောကြာရှည်ခံမှုနှင့်အပူချိန်အလိုက်အသင့်ပြင်ဆင်ထားမှုကိုသေချာစေရန်နောက်ဆုံးပေါ်ဓာတုအငွေ့ (CVD) နည်းပညာကို အသုံးပြု. ထုတ်လုပ်သည်။ အောက်ပါတို့သည်၎င်း၏အဓိကရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများဖြစ်သည်။

● အပူတည်ငြိမ်မှု- CVD SIC ၏အပူမြင့်မားသောတည်ငြိမ်မှုသည်မြင့်မားသောအပူချိန်အခြေအနေများအောက်တွင်တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေသည်။

● အနိမ့်အပူတိုးချဲ့ကိန်းဖြေ - ပစ္စည်းမှာအပူချိန်အပြောင်းအလဲများကြောင့်ဖြစ်ရတဲ့အတိုင်များနှင့်ပုံပျက်မှုများကိုလျော့နည်းစေသည်။

● ဓာတုဓာတ်အားပေးခံမှုခုခံဖြေ - အကောင်းဆုံးဓာတုခုခံမှုကကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်အမျိုးမျိုးကိုမြင့်မားစေနိုင်စေသည်။

တိကျသောပံ့ပိုးမှုနှင့်အပူအရှိန်အဟုန်

Veteksemi ၏ Pancake Susceptor အခြေခံသည့် SIC COUCTED သည် Semiconductor Wafers များကိုနေရာချထားရန်နှင့် Egitaxial Sugsion တွင်အလွန်ကောင်းမွန်သောအထောက်အပံ့ပေးရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ SIC Pancake Susceptor သည်အဆင့်မြင့်ကွန်ပျူတာနှင့်ဖိအားပေးမှုအခြေအနေများအောက်တွင်အတိုင်ထိုးသွင်းခြင်းနှင့်ပုံပျက်သောနည်းလမ်းများကိုလျှော့ချရန်အဆင့်မြင့်ကွန်ပျူတာပြဌာန်းခြင်းနည်းပညာကို အသုံးပြု. ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်း၏ပုံမှန်အပူတိုးချဲ့ကိန်းသည် 4.0 × 10 ဖြစ်သည်^-6/ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင်၎င်း၏ရှုထောင့်တည်ငြိမ်မှုသည်အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်ရိုးရာပစ္စည်းများထက်သိသိသာသာပိုမိုကောင်းမွန်သည်ဟုဆိုလိုသည်။

ထို့အပြင် CVD PANCAKEAPOR သည်အပူလွှဲပြောင်းခြင်းတွင်အပူပြောင်းရွှေ့ခြင်းဖြင့် Emermal စီးကူးခြင်းဖြင့် 120 အထိပါ 0 င်သည်။ ဤမြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုသည်အပူနှင့်ထိရောက်စွာထိရောက်စွာလုပ်ဆောင်နိုင်ပြီးအပူချိန်အတွင်းအပူချိန်တူညီမှုကိုမြှင့်တင်ပေးသည်။ အကောင်းဆုံးသောအပူလွှဲပြောင်းမှုစွမ်းဆောင်ရည်သည်အစစ်ခံအရည်အသွေးတိုးတက်စေရန်အတွက်အလွန်အရေးကြီးသည်။ ၎င်းသည်လုပ်ငန်းစဉ်အတက်အကျများကိုလျှော့ချနိုင်ပြီးအထွက်နှုန်းတိုးတက်စေသည်။

Vetek Semiconducture Sic Pancake Sic Pancake Sicceptor သည် Sicemonductor ထုတ်လုပ်မှုအတွက်ခိုင်မာသောအုတ်မြစ်ချခြင်း,

CVD SIC ရုပ်ရှင်ကြည်လင်ဖွဲ့စည်းပုံ

CVD CISEATE ၏အခြေခံရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ

CVD CISEATE ၏အခြေခံရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ
ဉစ်စာပစ္စည်းများ	ပုံမှန်တန်ဖိုး
Crystal ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC β phase polycrystalline, အဓိကအားဖြင့် (111) ဦး တည်
သိပ်သည်းဆ	3.21 g / cm³
ခိုင်မာသော	2500 Vickers Hardness (500 ဂွမ်းဝန်)
စပါးအရွယ်အစား	2 ~ 10mm
ဓာတုသန့်ရှင်းရေး	99.99995%
အပူစွမ်းရည်	640 JES-1· k-1
sublimation အပူချိန်	2700 ℃
flexural အစွမ်းသတ္တိ	415 MPA RT 4-point
လူငယ်၏ Modulus	430 GPA 4PP Bend, 1300 ℃
အပူကူးယူခြင်း	300w ·မီတာ-1· k-1
အပူတိုးချဲ့မှု (CTE)	4.5 × 10-6K-1