CVD Silicon Carbide (SiC) ဖြင့် အုပ်ထားသော Graphite Shower Head

အဓိကအင်္ဂါရပ်များ

• အလွန်မြင့်မားသောသန့်စင်မှု – SiC coating သည် ဂရပ်ဖိုက်ကို လုံးလုံးလျားလျား ဖုံးအုပ်ထားသောကြောင့် ဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်း သို့မဟုတ် သတ္တုညစ်ညမ်းခြင်း မရှိပါ။

• အထူးကောင်းမွန်သော ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှု – ရေချိုးခေါင်းတစ်ခုစီကို wafer တစ်ခုလုံးတစ်လျှောက် တသမတ်တည်း ဓာတ်ငွေ့အလျင် ပို့ဆောင်ရန် စက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။

• သာလွန်ကောင်းမွန်သောချေးခံနိုင်ရည် – CVD SiC သည် ဟေလိုဂျင် သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းစဉ်အကြွင်းအကျန်များနှင့် မတုံ့ပြန်ပါ။ ၎င်းသည် ဂရပ်ဖိုက် သို့မဟုတ် quartz ထက် ပိုမိုကြာရှည်သည်။

• ထူးထူးခြားခြား အပူပေးစွမ်းဆောင်မှု – အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဂရပ်ဖိုက်၏ အပူရှိန်ချဲ့ထွင်မှုကို အနီးကပ်လိုက်ဖက်သောကြောင့် အရှိန်အဟုန်ဖြင့် ချဉ်းကပ်လမ်းများတွင် ကွဲအက်ခြင်းမရှိပါ။

• တိကျသောထုတ်လုပ်မှု - ကျွန်ုပ်တို့သည် CNC စက်နှင့် အိမ်တွင်း CVD အပေါ်ယံပိုင်းကို အသုံးပြုသည်။ အပေါက်အချင်းနှင့် ပုံစံများကို တင်းတင်းကျပ်ကျပ်သည်းခံနိုင်စေရန် ထိန်းထားသည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာသတ်မှတ်ချက်များ

အသုံးချမှု

ဤရေချိုးခေါင်းများကို အောက်ပါတို့တွင် အသုံးပြုသည်။

• Semiconductor CVD စနစ်များ (ထုတ်လုပ်မှုနှင့် R&D နှစ်မျိုးလုံး)

• PECVD စက်ပစ္စည်း- အပူချိန်နိမ့်လျှပ်စစ်ပစ္စည်း

• MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများ – GaN, InP ကဲ့သို့သော III-V ဒြပ်ပေါင်းများ

• ပါဝါစက်များနှင့် CMOS အတွက် ဆီလီကွန် epitaxy (Si Epi)

• SiC epitaxy – ဗို့အားမြင့် လျှပ်စစ်ပစ္စည်း

• Compound semiconductor fabs များ

• အဆင့်မြင့်ထုပ်ပိုးမှု (ဥပမာ TSV ကုဒ်ထည့်ခြင်း)

• ချေးခံနိုင်သော၊ သန့်စင်မြင့်ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးပေးသည့် ပါးလွှာသောဖလင်တူးလ်

အဘယ်ကြောင့် VETEK ကိုရွေးချယ်သနည်း။

• ကျွန်ုပ်တို့သည် ကုန်သွယ်မှုကုမ္ပဏီမဟုတ်ပါ။ အရာအားလုံး - ဂရပ်ဖိုက်စက်ခြင်းမှနောက်ဆုံး CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းအထိ - အိမ်တွင်း၌လုပ်ဆောင်သည်။ ဆိုလိုသည်မှာ ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေး၊ ပို့ဆောင်ချိန်နှင့် ကုန်ကျစရိတ်ကို ထိန်းချုပ်ပါသည်။

• အိမ်တွင်းထုတ်လုပ်မှုကို အပြီးအစီး - ပြင်ပမှထုတ်လုပ်ခြင်းမှာ အံ့သြစရာမရှိပါ။

• အဆင့်မြင့် coating နည်းပညာ - သိပ်သည်းပြီး ပင်ပေါက်မပါသော CVD SiC

• စိတ်ကြိုက်အင်ဂျင်နီယာပံ့ပိုးမှု – သင့်ရေချိုးခန်းခေါင်းပုံဆွဲခြင်း သို့မဟုတ် ဓာတ်ပေါင်းဖိုပုံစံကို ကျွန်ုပ်တို့ထံ ပေးပို့ပါ။

• ယုံကြည်စိတ်ချရသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထောက်ပံ့ရေးကွင်းဆက် - ကျွန်ုပ်တို့သည် fabs နှင့် OEM များကို နှစ်ပေါင်းများစွာ ထောက်ပံ့ပေးနေပါသည်။

• သင်သည် ဒီဇိုင်းအသစ်ကို အချိန်တိုင်း ပြန်လည်အရည်အချင်းပြည့်မီရန် မလိုအပ်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့သည် အများသုံးပလပ်ဖောင်းများစွာ (AMAT၊ TEL၊ LAM၊ ASM စသည်) အတွက် ရေပန်းခေါင်းများကို ဖုံးအုပ်ထားပြီးဖြစ်သည်။