CVD Silicon Carbide (SiC) Coated Graphite RTP RTA Carrier

ထုတ်ကုန်အင်္ဂါရပ်များ

· ပင်မစက်ပစ္စည်း-Rapid Thermal Annealing (RTA) နှင့် Rapid Thermal Processing (RTP) စနစ်များအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

· ပရီမာry Aလျှောက်လွှာ semiconductor wafer annealing လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် optimized ။

· အေဲeအဆင့်သတ်မှတ်ပေးအပူချိန်200°C မှ 700°C အတွင်း တည်ငြိမ်သော လုပ်ဆောင်ချက်။

· Excကောင်းတယ် Therမှားယွင်းသော တူညီမှု- တသမတ်တည်း wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကိုပင် အာမခံပါသည်။

· မှုန်မှုန်Gထုတ်လုပ်မှု- Dense CVD SiC coating သည် ညစ်ညမ်းမှုကို လျော့နည်းစေပြီး ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းကို တိုးတက်စေသည်။

· သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုခုခံမှု-အပူပိုင်းလုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် အဆိပ်သင့်စေသော ဓာတ်ငွေ့များကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

· ထူးချွန်သောg Thermal Shock Resistance- ထပ်ခါတလဲလဲ လျင်မြန်သော အပူပေးခြင်း နှင့် အအေးပေးခြင်း သံသရာများ မှတဆင့် တည်ဆောက်ပုံ ခိုင်မာမှုကို ထိန်းသိမ်းသည်။

· တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း-ခံနိုင်ရည်ရှိသော SiC coating သည် အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးစေပြီး ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစရိတ်များကို လျှော့ချပေးသည်။

· စိတ်ကြိုက်ထုတ်လုပ်ခြင်း-မတူညီသော RTP/RTA စက်ကိရိယာများနှင့် ကိုက်ညီရန် အရွယ်အစားနှင့် ပုံစံအမျိုးမျိုးဖြင့် ရနိုင်ပါသည်။

နည်းပညာဆိုင်ရာသတ်မှတ်ချက်များ

အသုံးချမှု

·လျင်မြန်သော အပူအအေးခံခြင်း (RTA)

· လျင်မြန်သောအပူပေးစနစ် (RTP)

· ဆီလီကွန် Wafer Annealing

· Dopant အသက်သွင်းခြင်း။

· ဓာတ်တိုးခြင်း။

· ပျံ့နှံ့ခြင်း။

·ဒြပ်ပေါင်း Semiconductor ထုတ်လုပ်မှု

·MEMS Fabrication

·ပါဝါ Semiconductor လုပ်ဆောင်ခြင်း။

အမြဲမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ

1. RTP/RTA ဝန်ဆောင်မှုပေးသူဆိုတာ ဘာလဲ။

RTP/RTA Carrier သည် လျင်မြန်သော အပူအအေးလုပ်ဆောင်ခြင်းနှင့် လျင်မြန်သော အပူအအေးခံခြင်းစနစ်များတွင် အသုံးပြုသည့် wafer ပံ့ပိုးမှုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အပူစက်ဝန်းတစ်လျှောက် တူညီသောအပူလွှဲပြောင်းပေးချိန်တွင် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer များကို လုံခြုံစွာကိုင်ဆောင်ထားသည်။

2. CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းကို အဘယ်ကြောင့် နှစ်သက်သနည်း။

ဗလာဂရပ်ဖိုက်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက၊ CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတ်တိုးမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အမှုန်အမွှားထုတ်လုပ်မှု၊ ဓာတုတည်ငြိမ်မှု ပိုမိုကောင်းမွန်ပြီး ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း သိသိသာသာ ပိုရှည်စေသည်။

3. VETEK သည် စိတ်ကြိုက် RTP/RTA ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများကို ပေးနိုင်ပါသလား။

ဟုတ်ကဲ့။ VETEK သည် ဖောက်သည်ပုံများကို အခြေခံ၍ စိတ်ကြိုက် RTP/RTA ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများကို ပေးသည်။