VEECO MOCVD (LED Epitaxy) အတွက် Wafer Carrier

ထုတ်ကုန်အင်္ဂါရပ်များ:

1. သိပ်သည်းသော CVD SiC အလွှာဖြင့် သန့်ရှင်းသော ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံ
2. တည်ငြိမ်သော LED epitaxy အတွက် ကောင်းမွန်သော အပူတူညီမှု
3. NH₃၊ HCl နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသည့် အခြားသော အဆိပ်သင့်ဓာတ်ငွေ့များအထိ ရပ်တည်သည်။
4. အမှုန်အမွှားများကျဲပါးပြီး တာရှည်ခံသည်။
5. အိတ်ဆောင်ဒီဇိုင်းများကို မတူညီသော wafer အရွယ်အစားများနှင့် ဓာတ်ပေါင်းဖိုပလပ်ဖောင်းများအတွက် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။
6. အပူချိန်မြင့်သော MOCVD လုပ်ဆောင်ချက်အတွက် ကောင်းစွာအလုပ်လုပ်သည်။

အပလီကေးရှင်းများ
ဤ wafer carriers များကို LED နှင့် compound semiconductor epitaxy အပါအဝင်၊

• GaN LED epitaxy
• စိမ်းပြာရောင် LED epitaxy
• နက်ရှိုင်းသော UV LED ကြီးထွားမှု
• Si-based GaN epitaxy
• အထွေထွေဒြပ်ပေါင်း semiconductor ထုတ်လုပ်မှု

Custom carrier solutions များသည် LED MOCVD ပလပ်ဖောင်းများစွာနှင့် ကိုက်ညီသည်-၊

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

နည်းပညာဆိုင်ရာ အားသာချက်များ-

1. CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းကောင်းသောသိပ်သည်းဆနှင့် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုပေးသည့် နည်းပညာ
2. အပေါ်ယံအထူကွဲပြားမှု ±10 μmအတွင်းထားရှိသည် - အပူစွမ်းဆောင်ရည်တည်ငြိမ်နေစေရန်ကူညီပေးသည်။
3. ကောင်းမွန်သော wafer fit နှင့် rotation stability အတွက် 3 μm တိကျသော CNC machining ကို
4. ထပ်ခါတလဲလဲ အပူချိန်မြင့်သော MOCVD လည်ပတ်ပြီးနောက် ကွဲအက်ခြင်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိကာ အပေါ်ယံအလွှာသည် ကောင်းစွာ ကပ်ထားသည်။
5. NH₃၊ HCl နှင့် အခြားကြမ်းတမ်းသော epitaxy ပတ်ဝန်းကျင်များကို ဒုက္ခမရှိဘဲ ကိုင်တွယ်သည်။
6. အမှုန်အမွှားထုတ်လုပ်မှုနည်းပါးပြီး သန့်ရှင်းသော မျက်နှာပြင်သည် အထွက်နှုန်းမြင့်မားမှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်။LED epitaxy
7. မတူညီသော ဓာတ်ပေါင်းဖိုပလပ်ဖောင်းများနှင့် wafer အပြင်အဆင်များအတွက် ကြီးမားသော သို့မဟုတ် စိတ်ကြိုက်အရွယ်အစားများကို ကုတ်အင်္ကျီပြုလုပ်နိုင်ပါသည်။
8. ရှည်လျားသောအတွေ့အကြုံနှင့်အတူစိတ်ကြိုက်ဂရပ်ဖိုက်နှင့် SiC-coated အစိတ်အပိုင်းများLED နှင့် ဒြပ်ပေါင်း semiconductor epitaxy အတွက်

အမြဲမေးလေ့ရှိသောမေးခွန်းများ:
1. wafer carrier ကဘာလုပ်သလဲ။MOCVDLED epitaxy?

A- ၎င်းသည် MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုအတွင်း၌ wafer များကို ကိုင်ဆောင်ထားပြီး လှည့်ပတ်ကာ epitaxial ကြီးထွားမှုအတွင်း အပူချိန်ကို တည်ငြိမ်စေရန် ကူညီပေးသည်။

2. MOCVD အတွက် SiC-coated graphite wafer carriers များကို အဘယ်ကြောင့် အသုံးပြုရသနည်း။

A: အဆိုပါCVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းပိုမိုကောင်းမွန်သော corrosion resistance၊ အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် ကြာရှည်ခံမှုကိုပေးသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်မြင့်သော epitaxy တွင် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုကိုလည်း လျှော့ချပေးသည်။

3. Vetek Semiconductor သည် စိတ်ကြိုက် wafer carriers များကို ပြုလုပ်ပါသလား။
A: ဟုတ်ပါတယ်။ သင့်ဓာတ်ပေါင်းဖိုပလက်ဖောင်း၊ wafer အရွယ်အစား၊ အိတ်ဆောင်အပြင်အဆင်နှင့် အခြားသော လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များအပေါ် အခြေခံ၍ စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများကို ဒီဇိုင်းဆွဲနိုင်ပါသည်။