TAC Coating Rotation Suxceptor

Vetek Semiconductor TAC Coating RotAptor သည် semiconductor processing တွင် wafer ကိုင်တွယ်ရန်အတွက်သော့အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ င်းဘာလဲ tacကျွန်တော်တို့၏မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့်အရည်အသွေးမြင့်မားခြင်းအတွက်မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့်အရည်အသွေးမြင့်မားသောမြင့်မားသောတိကျစွာနှင့်အရည်အသွေးမြင့်မားသောဓာတုတည်ငြိမ်မှုနှင့် crossable and corrosion ခုခံနိုင်စွမ်းရှိပါတယ်။

TAC Coating Rotation Supceptor (Tantalum carbon carbon catron rotation sortceptor) သည် Semiconductor အပြောင်းအလဲအတွက်အသုံးပြုသောအဓိကပစ္စည်းကိရိယာများဖြစ်သည်။ ၎င်းကိုများသောအားဖြင့် install လုပ်သည်ဓာတုအငွေ့ (CVD)ယူနီဖောင်းအလေးချိန်နှင့်ထိရောက်သောတုံ့ပြန်မှုကိုသေချာစေရန် Wafers ကိုထောက်ပံ့ရန်နှင့်လှည့်ရန်မော်လီကျူးရောင်ခြည်ရောင်ခြည် appitaxaxy (MBE) ပစ္စည်းကိရိယာများ။ ဤထုတ်ကုန်အမျိုးအစားသည်အလွှာကိုဖုံးအုပ်ခြင်းဖြင့်အပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်လောင်ကျွမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် 0 န်ဆောင်မှုပေးခြင်းနှင့်စွမ်းဆောင်ရည်ကိုပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်Tantalum ကာဗွန် (TAC) အပေါ်ယံ.

TAC Coating Rotation Suropor သည်ပုံမှန်အားဖြင့် TAC COURENT နှင့် silicon carbide တို့ဖြင့်ဖွဲ့စည်းထားခြင်းဖြစ်သည်။ TAC သည်အလွန်မြင့်မားသောအရည်ပျော်မှတ်ဖြင့်အလွန်အမင်းမြင့်မားသောအပူချိန်ကြွေထည်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Vetek Semiconductor သည် CVD နည်းပညာမှတစ်ဆင့်အလွှာပစ္စည်းများပေါ်တွင် tantalum carbon ကိုထိထိရောက်ရောက်နှင့်အညီအမျှဖုံးအုပ်နိုင်သည်။

Rotation Susceptor ကိုများသောအားဖြင့်အပူစီးဆင်းမှုမြင့်မားခြင်းနှင့်ခွန်အားမြင့်မားသောပစ္စည်းများ (ဂရပ်ဖစ်သို့မဟုတ်)ဆီလီကွန်ကာလက်), မြင့်မားသောအပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ကောင်းသောစက်မှုထောက်ခံမှုနှင့်အပူတည်ငြိမ်မှုကိုပေးနိုင်ပါသည်။ နှစ် ဦး ၏ပြီးပြည့်စုံသောပေါင်းစပ်မှုသည် wafers များကိုထောက်ပံ့ခြင်းနှင့်လှည့်ခြင်းအတွက် TAC Coating Rotation Susceptor ၏ပြီးပြည့်စုံသောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုဆုံးဖြတ်သည်။

TAC Coating Rotation Suropor သည် CVD ဖြစ်စဉ်တွင် wafer ကိုအထောက်အကူပြုသည်။ TAC ၏တင်းမာမှုများသည် 2000 ဟက်တာ 2000 ခန့်ရှိသည်။ ၎င်းသည်ပစ္စည်း၏ထပ်ခါတလဲလဲပွတ်တိုက်မှုကိုခုခံတွန်းလှန်နိုင်ပြီးကောင်းမွန်သောအထောက်အပံ့များကိုဆန့်ကျင်။ , တစ်ချိန်တည်းမှာပင် TAC အဖုံးကိုမြင့်မားသောအပူချိန်ထိတွေ့မှုနှင့်ချေးခြင်းများကိုခုခံနိုင်မှုကိုအပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်လောင်ကျွမ်းနိုင်သောလေထုထဲတွင်အချိန်ကြာမြင့်စွာအသုံးပြုနိုင်သောလေထုများနှင့်လေယာဉ်တင်သင်္ဘောများညစ်ညမ်းမှုကိုထိရောက်စွာရှောင်ရှားနိုင်ရန်အချိန်ယူရသည်။

ထို့အပြင် TAC ၏အပူစီးကူးမှုသည် 21 နှစ်ရှိပြီးအပူလွှဲပြောင်းခြင်းနှင့်အတူ 21 ဝ· k ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့် TAC Coating Rotation Suroptor သည်အပူချိန်မြင့်မားသောအခြေအနေများအောက်တွင်အညီအမျှအညီအမျှအပူရှိစေပြီးဓာတ်ငွေ့အစုံအလင်အချုပ်အခြာများကိုလှည့်ပတ်ခြင်းနှင့်အရည်အသွေးမြင့်မားမှုကိုထိန်းသိမ်းထားသည်ကြီးထွားမှုကြီးထွားမှု.

MicroCopic Cross-section တွင် UNEANTALUS CARBIDE (TAC)：

TAC Coating ၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ：

TAC Coating Rotation SURPORCH ဆိုင်များ: