CVD Tantalum Carbide (TaC) Coated Susceptor

အဓိကအင်္ဂါရပ်များ

အသုံးချမှု

ပုံမှန်အပလီကေးရှင်းများတွင်-

• SiC Epitaxial ကြီးထွားမှု

• GaN MOCVD Epitaxy

• AlN Epitaxial ကြီးထွားမှု

• Third-Generation Semiconductor ထုတ်လုပ်မှု

• ပါဝါမြင့်သော အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ

• RF စက်များ

• MicroLED ထုတ်လုပ်မှု

• သုတေသနနှင့် စမ်းသပ်ထုတ်လုပ်မှုစနစ်များ

သဟဇာတပစ္စည်း

တွဲဖက်သုံးနိုင်သော ပလပ်ဖောင်းများ ပါဝင်သည်။

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• စိတ်ကြိုက် CVD နှင့် MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများ

ရနိုင်သည်-

• Wafer Carriers

• Planetary Susceptors

• Barrel Susceptors

• Rotation Disks

• လဝက်အစိတ်အပိုင်းများ

• ပန်းကန်ပြားများ ဖုံးအုပ်ထားပါ။

• Graphite စည်းဝေးပွဲများ

• စိတ်ကြိုက် အပူပိုင်းအကွက် အစိတ်အပိုင်းများ

နည်းပညာဆိုင်ရာသတ်မှတ်ချက်များ

အမေးများသောမေးခွန်းများ

1. CVD TaC Coated Susceptor ဆိုသည်မှာ အဘယ်နည်း။

epitaxial ကြီးထွားစဉ်အတွင်း wafer carrier အဖြစ်အသုံးပြုသောသိပ်သည်းသော CVD TaC coating ဖြင့်ကာကွယ်ထားသောမြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်း။

2. TaC coa ကို ဘာကြောင့်သုံးတာလဲ။SiC coating အစား ting လုပ်မလား?

TaC သည် ပိုမိုမြင့်မားသော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုတည်ငြိမ်မှုနှင့် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို ပိုရှည်စေသည်။

3.မည်သည့် semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များသည် TaC-c ကိုအသုံးပြုသည်oated suceptors?

SiC epitaxy၊ GaN MOCVD၊ AlN epitaxy နှင့် အခြားသော အပူချိန်မြင့်မားသော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု လုပ်ငန်းစဉ်များ။

4. VETEK သည် စိတ်ကြိုက် susceptors များကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပါသလား။

ဟုတ်ကဲ့။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဝယ်ယူသူပုံဆွဲခြင်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များအပေါ် အခြေခံ၍ စိတ်ကြိုက်ဒီဇိုင်းများကို ပေးဆောင်ပါသည်။

5. မည်သည့် ဓာတ်ပေါင်းဖို အမှတ်တံဆိပ်များကို ပံ့ပိုးထားသနည်း။

Aixtron၊ LPE၊ Veeco၊ AMEC၊ NuFlare နှင့် အခြားသော ပင်မရေစီးကြောင်းစနစ်များ။