စက်မှုသတင်း

ဤဆောင်းပါးသည်အဓိကအားဖြင့် Semiconductor ပြုပြင်ထုတ်လုပ်မှုတွင် Mocvd Susceptor ၏ထုတ်ကုန်အမျိုးအစားများ, ထုတ်ကုန်လက္ခဏာများနှင့် Mocvd Susceptor ၏အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်များကိုမိတ်ဆက်ပေးသည်။

ASM အတွက် SiC coated graphite susceptor သည် epitaxy စနစ်အတွင်းရှိ အစားထိုးအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုမျှသာမဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် အပူပိုင်းတူညီမှု၊ wafer သန့်ရှင်းမှု၊ အပေါ်ယံပိုင်း တာရှည်ခံမှု၊ အခန်းတွင်း တည်ငြိမ်မှုနှင့် ရေရှည်ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်တို့ကို လွှမ်းမိုးသည့် လုပ်ငန်းစဉ်-အရေးပါသော သယ်ဆောင်သူဖြစ်သည်။

CVD TaC Coating Cover သည် အကာအကွယ်အဖုံး သို့မဟုတ် ဂရပ်ဖိုက် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုမျှသာ မဟုတ်ပါ။ အပူချိန်မြင့်သော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ၎င်းသည် အခန်းတွင်း သန့်ရှင်းမှု၊ အပူတည်ငြိမ်မှု၊ တစ်စိတ်တစ်ပိုင်း သက်တမ်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ် ညီညွတ်မှုကို လွှမ်းမိုးနိုင်သည်။

PECVD ထုတ်လုပ်မှုတွင် ပလာစမာပါဝါ သို့မဟုတ် ဓာတ်ငွေ့ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ပြသာနာများစွာဖြင့် မစတင်ပါ။ သူတို့သည် wafers များကိုကိုင်ဆောင်သော carrier မှစတင်သည်။

မှန်ကန်သော Semiconductor Quartz Crucible ကိုရွေးချယ်ခြင်းသည် အသေးစားဝယ်ယူမှုအသေးစိတ်မဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် အရည်ပျော်ခြင်း သန့်ရှင်းမှု၊ အပူတည်ငြိမ်မှု၊ ပုံဆောင်ခဲဆွဲခြင်း ညီညွတ်မှု၊ အထွက်နှုန်း ထိန်းချုပ်မှုနှင့် ကြီးထွားမှုလိုင်းတစ်ခုလုံး၏ ဝန်ဆောင်မှုရစ်သမ်အပေါ် တိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဂရပ်ဖိုက်မှုန့်များသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၊ လျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၊ အဆင့်မြင့်ကြွေထည်ပစ္စည်းများနှင့် အပူချိန်မြင့်မားသောစက်မှုလုပ်ငန်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အရေးပါသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။ သို့သော် မြင့်မားသော သန့်စင်မှုရှိသော ဂရပ်ဖိုက်မှုန့်ကို အတိအကျ အဓိပ္ပါယ်ဖွင့်ဆိုထားသည်မှာ၊ ၎င်းသည် အဘယ်ကြောင့် လိုအပ်သော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် စံဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများထက် သာလွန်သနည်း။