insulator wafer အပေါ် Silicon

၏အလုပ်လုပ်နိယာမက semiconductor'sinsulator wafer အပေါ် Siliconအဓိကအားဖြင့်၎င်း၏ထူးခြားသောဖွဲ့စည်းပုံနှင့်ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများအပေါ်မူတည်သည်။ နှင့် soi ညှစ်အလွှာသုံးခုပါ 0 င်သည်။ ထိပ်တန်းအလွှာသည် Crystal silicon device layer ဖြစ်သည်။

insulator wafers (soi) ရှိဆီလီကွန်၏ဖွဲ့စည်းပုံ (SOI)

အဆိုပါ insulation အလွှာဖွဲ့စည်းခြင်း: Insulator Wafer ရှိဆီလီကွန်ကိုများသောအားဖြင့် Smart Cut ™နည်းပညာသို့မဟုတ် SCOX (implanted oxygen) နည်းပညာဖြင့်ထုတ်လုပ်သည်။ Smart Cut ™နည်းပညာသည်ပူဖောင်းအလွှာကိုဖွဲ့စည်းရန်ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဝိုင်သို့ဟိုက်ဒရိုဂျင်အိုင်းယွန်းများကိုထိုးသွင်းကာဟိုက်ဒရိုဂျင် - ထိုးသွင်းထားသော wafer ကိုထောက်ပံ့သောဆီလီကွန်ကိုချည်နှောင်ထားသည်ညှစ်။ 

အပူကုသပြီးနောက်ဟိုက်ဒရိုဂျင်ထိုးသွင်းထားသော wafer သည် Soi ဖွဲ့စည်းပုံကိုဖွဲ့စည်းရန်ပူဖောင်းအလွှာမှခွဲထွက်သည်။SCOX နည်းပညာမြင့်မားသောအပူအောက်ဆိုဒ်များကိုဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ်များကိုဖွဲ့စည်းရန်အတွက်စွမ်းအင်မြင့်အောက်စီဂျင်အိုင်းယွန်းများသို့ 0 င်ရောက်နိုင်သည်။

ကပ်ပါးကောင်ကို capacitance ကိုလျှော့ချပါ: ၏ box layerSilicon Carbide Waferစက်ပစ္စည်းအလွှာနှင့်အခြေစိုက်စခန်းဆီလီကွန်ကိုထိထိရောက်ရောက်ဖယ်ရှားခြင်း, သိသိသာသာ reducing parasitic capacitance ။ ဤအထီးကျန်ခြင်းသည်စွမ်းအင်သုံးစွဲမှုကိုလျော့နည်းစေသည်။ ကိရိယာအမြန်နှုန်းနှင့်စွမ်းဆောင်ရည်ကိုတိုးစေသည်။

Labat-up သက်ရောက်မှုများကိုရှောင်ကြဉ်ပါ: အတွက် n-well နှင့် p-wine devices များsoi ညှစ်အစဉ်အလာ CMOS အဆောက်အအုံများအတွက်တံခါးပိတ် -up အကျိုးသက်ရောက်မှုကိုရှောင်ရှားရန်လုံးဝအထီးကျန်နေကြသည်။ ဒါကခွင့်ပြုပါတယ်ညှစ် soi ပိုမိုမြင့်မားအမြန်နှုန်းမှာထုတ်လုပ်ခံရဖို့။

etch stop function ကို: Theတစ်ခုတည်း Crystal ဆီလီကွန်စက် layerSoi Wafer ၏ Box Layer ဖွဲ့စည်းပုံသည် Mems နှင့် Optoelelectronic ထုတ်ကုန်များထုတ်လုပ်ခြင်းကိုလွယ်ကူချောမွေ့စေပြီးအလွန်ကောင်းမွန်သော etch stop function ကိုထောက်ပံ့ပေးသည်။

ဤဝိသေသလက္ခဏာများမှတဆင့်,insulator wafer အပေါ် SiliconSememonductor processing တွင်အရေးကြီးသောအခန်းကဏ် plays မှပါ 0 င်ပြီးပေါင်းစပ်ထားသော circuit (IC) ၏စဉ်ဆက်မပြတ်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကိုမြှင့်တင်ရန်နှင့်microelectromechomechanical စနစ်များ (mems)စက်မှုလုပ်ငန်းများ။ ကျွန်ုပ်တို့သည်သင်နှင့်ဆက်သွယ်မှုနှင့်ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုကိုပိုမိုစိတ်ရင်းမှန်ဖြင့်မျှော်လင့်ပါသည်။

200mm SOL WAFSS သတ်မှတ်ချက်သတ်မှတ်ချက် parameter:

Insulator Wafers ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်များပေါ်တွင်ဆီလီကွန်: