Aixtron ဂြိုဟ်တုသည် Wafer Carrier

Aixtron Satellite Wafer Carrier သည် Aixtron MocvD ပစ္စည်းကိရိယာ၏အဓိကအစိတ်အပိုင်းဖြစ်သည်။ ဒါဟာအထူးသဖြင့်သင့်လျော်သည်epitaxial တိုးတက်မှုနှုန်းGan နှင့် Silicon Carbide (SIC) ကိရိယာများ။ ၎င်း၏ထူးခြားသည့် "ဂြိုဟ်တု" ဒီဇိုင်းသည်သဘာဝဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကိုရှုပ်ထွေးစေသည်။

aixtron ရဲ့wafer သယ်ဆောင်သူများများသောအားဖြင့်လုပ်နေကြသည်ဆီလီကွန်ကာလက် (SIC)သို့မဟုတ် CVD-coated ဖိုက်။ ၎င်းတို့အနက် Silicon Carbide (SIC) တွင်အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်အပူချိန်မြင့်တက်ခြင်းနှင့်အပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်အနိမ့်မြင့်တက်ကိန်းသည်အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူချိန်မြင့်မားခြင်းနှင့်အပူချိန်မြင့်တက်မှုနည်းပါးသည်။ CVD coated coatite သည် coveron apposition (CVD) ဖြစ်စဉ်တစ်ခုမှဆီလီကွန်ကာလက် (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် cofitite ဖြစ်သည်။ SIC နှင့် coated tagite ပစ္စည်းများသည်အပူချိန် 1,100 ° C-1,600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိခံနိုင်ရည်ရှိပြီးအပူချိန်မြင့်မားသောအပူချိန်အတွက်အလွန်အပူချိန်မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်အလွန်ကောင်းမွန်သောတည်ငြိမ်မှုရှိသည်။

Aixtron Satellite Satellite Wafer Carrier သည်အဓိကအားဖြင့် Wafers သယ်ဆောင်ရန်အသုံးပြုသည်MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်Estitaxial တိုးတက်မှုနှုန်းတွင်ယူနီဖောင်းဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုနှင့်ယူနီဖောင်းငွေစနစ်ကိုသေချာစေရန်။တိကျသောလုပ်ဆောင်ချက်များသည်အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်:

● WAFRER လည်ပတ်ခြင်းနှင့်ယူနီဖောင်းငွေစနစ်: Aixtron ဂြိုလ်တုသယ်ဆောင်သူတစ် ဦး ၏အလှည့်အပြောင်းမှတဆင့် Wafer သည် Epitaxial တိုးတက်မှုနှုန်းတွင်တည်ငြိမ်သောလှုပ်ရှားမှုများကိုထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီးပစ္စည်းများကိုပစ္စည်းအစစ်မများကိုသေချာစေရန်ဓာတ်ငွေ့မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်အညီအမျှစီးဆင်းစေနိုင်သည်။

●မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့်တည်ငြိမ်မှု: ဆီလီကွန်ကာလက်သို့မဟုတ် coated သောဖောင်းပိဒိယ (1,400 ° C-1,600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိအပူခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ဤအင်္ဂါရပ်သည်အပူချိန်မြင့်မားသော EstagAxial တိုးတက်မှုတွင်မြင့်မားသောအပူချိန်မြင့်တက်မှုတွင်ပုံပျက်နေလိမ့်မည်မဟုတ်ကြောင်းသေချာစေခြင်းမပြုနိုင်ပါ။

●အမှုန်မျိုးဆက်လျှော့ချ: အရည်အသွေးမြင့်လေယာဉ်တင်သင်္ဘောများ (ဥပမာ SIC) တွင်အငွေ့စစ်တမ်းစဉ်အတွင်းအမှုန်မျိုးဆက်များကိုလျှော့ချသောချောချောမွေ့မွေ့မျက်နှာပြင်များ,

Veteksemicon ၏ Aixtron Satellite Wafer Carrier ကို 100 မီလီမီတာ, 150 မီလီမီတာ, 200 မီလီမီတာ, ကျွန်ုပ်တို့သည်တရုတ်နိုင်ငံတွင်ရေရှည်မိတ်ဖက်ဖြစ်ရန်စိတ်ရင်းမှန်ဖြင့်မျှော်လင့်ပါသည်။

CVD SIC ရုပ်ရှင် CRYSTAL ဖွဲ့စည်းပုံ၏ SEM အချက်အလက်များ：

Aixtron ဂြိုဟ်တုသည်လေကြောင်းလိုင်းများထုတ်လုပ်မှုဆိုင်များ: