TaC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ်

Vetek Semiconductor သည်ပရော်ဖက်ရှင်နယ် TAC ဖုံးအုပ်ထားသောလမ်းညွှန်လက်စွပ်တစ်ခုဖြစ်ပြီး TAC ဖုံးအုပ်ထားသော Crucible, မျိုးစေ့ကိုင်ဆောင်သူထုတ်လုပ်သူနှင့်ကုန်ပစ္စည်းပေးသွင်းသူ။

TAC COTARING COCETION, မျိုးစေ့ကိုင်ဆောင်သူနှင့် TAC ဖုံးအုပ်ထားသောလမ်းညွှန်ကွင်းကို PVT နည်းလမ်းဖြင့်စိုက်ပျိုးခဲ့သည်။

SiC ကိုပြင်ဆင်ရန်အတွက် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအငွေ့သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနည်းလမ်း (PVT) ကိုအသုံးပြုသောအခါ၊ မျိုးစေ့ပုံဆောင်ခဲသည် အပူချိန်နိမ့်သောနေရာတွင်ရှိပြီး SiC ကုန်ကြမ်းသည် အပူချိန်အတော်လေးမြင့်သောဒေသ (2400 ℃ အထက်) တွင်ရှိသည်။ ကုန်ကြမ်းပြိုကွဲမှုသည် SiXCy (အဓိကအားဖြင့် Si၊ SiC₂၊ Si₂C စသည်ဖြင့်) ကိုထုတ်လုပ်သည်။ အခိုးအငွေ့အဆင့်ပစ္စည်းကို အပူချိန်မြင့်မားသောဒေသမှ အပူချိန်နိမ့်သောဒေသရှိ မျိုးစေ့ပုံဆောင်ခဲသို့ သယ်ယူသွားပြီး နူကလိယိုက်ပြီး ကြီးထွားသည်။ တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းရန်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင်အသုံးပြုသည့် အပူအကွက်များ၊ စီးဆင်းမှုလမ်းညွှန်ကွင်း၊ မျိုးစေ့ပုံဆောင်ခဲကိုင်ဆောင်ထားသူများသည် မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသင့်ပြီး SiC ကုန်ကြမ်းများနှင့် SiC တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲများကို ညစ်ညမ်းစေမည်မဟုတ်ပါ။ အလားတူ၊ AlN တစ်ခုတည်းပုံဆောင်ခဲများ၏ ကြီးထွားမှုတွင် အပူဒြပ်စင်များသည် Al vapor, N₂ corrosion ကိုခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်ပြီး crystal ၏ပြင်ဆင်မှုကာလကိုတိုစေရန်အတွက် မြင့်မားသော eutectic temperature (နှင့် AlN) ရှိရန်လိုအပ်ပါသည်။

TaC coated graphite thermal field ပစ္စည်းများဖြင့် ပြင်ဆင်ထားသော SiC နှင့် AlN တို့သည် သန့်ရှင်းသည်၊ ကာဗွန် (အောက်ဆီဂျင်၊ နိုက်ထရိုဂျင်) နှင့် အခြားသော အညစ်အကြေးများ မရှိသလောက်၊ အစွန်းပိုင်းချို့ယွင်းချက် နည်းပါးလာကာ ခုခံနိုင်မှု သေးငယ်ပြီး ဒေသတစ်ခုစီတွင် micropore density နှင့် etching pitsity တို့သည် တွေ့ရှိရပါသည်။ သိသိသာသာ လျော့ကျသွားသည် (KOH etching ပြီးနောက်) နှင့် crystal quality သည် အလွန်တိုးတက်ခဲ့ပါသည်။ ထို့အပြင်၊ TaC crucible အလေးချိန်လျော့ကျမှုနှုန်းသည် သုညနီးပါးဖြစ်ပြီး အသွင်အပြင်သည် ပျက်စီးခြင်းမရှိ၊ (200 နာရီအထိ သက်တမ်းကို ပြန်လည်အသုံးပြုနိုင်သည်)၊ ထိုကဲ့သို့ တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲပြင်ဆင်မှု၏ ရေရှည်တည်တံ့မှုနှင့် ထိရောက်မှုကို တိုးတက်စေနိုင်သည်။

TAC Coating လမ်းညွှန်လက်စွပ်၏ထုတ်ကုန် parameter:

ထုတ်လုပ်မှုဆိုင်များ

semiconductor chip epitaxy လုပ်ငန်းကွင်းဆက်၏ ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်-