SIC coated e-chuck

Gallium Nitride (Gan) သည်တတိယမျိုးဆက် SemiconDuctor ၏အဓိကပစ္စည်းဖြစ်လာသည်နှင့်အမျှကြိမ်နှုန်းမြင့်မားသောစွမ်းအားနှင့် optoelelectronic နယ်ပယ်များတွင်၎င်း၏အသုံးချမှုများသည် 5G ဆက်သွယ်ရေးအခြေခံစခန်းများ, သို့သော် Semiconductor Troachuring တွင်အထူးသဖြင့်စွဲမြဲစွာ actching process တွင်ရှိသော sofers များသည်အပူချိန်မြင့်မားခြင်း, မြင့်မားသောဓာတုချေးညှိနှိုင်းမှုများနှင့်အလွန်မြင့်မားသောတိကျသောလုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကိုခံရရန်လိုအပ်သည်။

က semiconductor၏ SIC ကြွေထည်များသည် Gan Wafer Pallets များကိုဒီဇိုင်းဆွဲပြီးသင်၏ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်ကိုထောက်ပံ့ရန်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်း, ၎င်းသည် Plasma etching (ICP / RIE) လုပ်ငန်းစဉ်အတွက်သင့်တော်သည်။ ခေတ်မီ semiconductor ထုတ်လုပ်ရေးကိရိယာများတွင်အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။

core ကိုအားသာချက်များ

1 ။ မြင့်သောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောပစ္စည်း

ဓာတုတည်ငြိမ်မှု - ပစ္စည်း၏သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် 99.5% ကျော်ရှိပြီး Gan Wafer တွင်ညစ်ညမ်းမှုမရှိပါ။

မြင့်မားသောခဲယဉ်းနှင့်ဝတ်ဆင်ခုခံ - စိန်နှင့်နီးစပ်သောမာကျောခြင်း, မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်းအသုံးပြုမှုကိုအသုံးပြုခြင်း, မမြင်ရသောအပြောင်းအလဲများနှင့်ခြစ်ရာများကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

2 ။ အလွန်အစွမ်းထက်တဲ့အပူစွမ်းဆောင်ရည်

မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု, Gan နှင့်ကိုက်ညီသောမြင့်မားသောမြင့်မားသောမြင့်မားသောမြှောက်ဖော်ကိန်း (CTE) - စွဲမှုဖြစ်စဉ်တွင်ပျော့ပြောင်းမှုအန္တရာယ်ကိုလျှော့ချပါ။

3 ။ Superic ဓာတုချေးခြင်းခံနိုင်ရည်

၎င်းသည်ဖလိုရိုဒ်, ကလိုရိုက်နှင့်အခြား corrosive gas enformation ်ဌာန်းသည့်သဘာဝဓာတ်ငွေ့ပတ် 0 န်းကျင်တွင်အလွန်အမင်းအာရုံစူးစိုက်မှုတွင်အလုပ်လုပ်နိုင်သည်။

4 ။ တိကျစွာဒီဇိုင်းနှင့်စက်

မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်းနှင့်ပြားခြင်းများသည်ချောမွေ့ချောမွေ့နေရာချထားမှုနှင့်မြင့်မားသောတိကျသောလုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်ချောမွေ့သောချောမွေ့မှုနှင့်တူညီမှုကိုသေချာစေသည်။

ဖောက်သည်များ၏လိုအပ်ချက်များနှင့်အညီအမြင်များ,

SIC coated e-Chuck application ၏လယ်ပြင်

● Plasma etching (ICP / RIE)

၎င်းသည် Gan, Sic နှင့်အခြားပစ္စည်းများအတွက်သင့်လျော်သောအပူချိန်မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့်မြင့်မားသောဓာတုချေးပတ် 0 န်းကျင်တွင်အထောက်အပံ့များပေးသည်။

● wafer လွှဲပြောင်းခြင်းနှင့်သိုလှောင်ခြင်း

ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် Wafer ၏လုံခြုံမှုကိုကာကွယ်ရန်မြင့်မားသောပြားချပ်ချပ်နှင့်ညစ်ညမ်းမှုကင်းသောပလက်ဖောင်းတစ်ခုပေးပါ။

စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ

က semiconductorသည်သင်၏တိကျသောလုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန်စိတ်ကြိုက် 0 န်ဆောင်မှုပေးသည်။

●စိတ်ကြိုက်စိတ်ကြိုက်: Pallet အရွယ်အစားကို Wafer Size (ø4 ~ 12 လက်မ) အရစိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်နိုင်သည်။

●ဖွဲ့စည်းပုံ optimization: Support Groove Groove, နေရာချထားသည့်အပေါက်, ပုံသေအမှတ်နှင့်အခြားဖွဲ့စည်းပုံစိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း။

က semiconductorSIC coated e-chuck ထုတ်ကုန်များဆိုင်များ -